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[发明专利]一种静电调谐分离式微机电加速度计及其闭环控制方法-CN202110637867.8有效
发明人：吴天豪;张晶;苏岩 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2021-06-08 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：本发明公开了一种静电调谐分离式微机电加速度计及其闭环控制方法，该加速度计包括至少一个敏感质量块、至少一对差分谐振器、驱动模块和检测模块；所述谐振器与敏感质量块非接触式连接，每个差分谐振器的两侧分别设置对应的驱动模块和检测模块所述加速度计控制方案包含两套闭环回路，其中所述差分谐振器受闭环驱动控制实现自激振荡，所述敏感质量块受电压反馈回路使得敏感质量块在加速度输入下不发生偏移。
一种静电调谐分离式微机电加速度计及其闭环控制方法

[发明专利]可调灵敏度的弱耦合谐振式微加速度计-CN201911097156.5有效
发明人：彭勃;张文明;胡开明;闫寒 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2019-11-11 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： G01P15/097 文献下载
摘要：一种可调灵敏度的弱耦合谐振式微加速度计，包括：第一质量块结构、第二质量块结构和谐振结构，谐振结构分别与第一质量块结构和第二质量块结构相连；所述的谐振结构包括：电压相同的第一敏感谐振器、第二敏感谐振器和耦合谐振器第一质量块结构包括：第一质量块、第一固定锚点和第一弹性梁；第二质量块结构包括：第二质量块、第二固定锚点和第二弹性梁。
可调灵敏度耦合谐振式微加速度计

[发明专利]一种MEMS高g值三轴加速度计-CN202111531486.8有效
发明人：郭小辉;邵爽;金程超;柳天琪;王思亮;曾玮;杨利霞;许耀华;黄志祥 -专利权人：安徽大学
申请日： 2021-12-14 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： G01P15/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种MEMS高g值三轴加速度计，其包括：外部矩形框架，设在外部矩形框架中心的质量块，设在外部矩形框架和质量块之间的回形梁；回形梁与质量块之间通过中间支撑梁连接；外部矩形框架、回形梁及质量块在四角位置通过对角支撑梁连接；在外部矩形框架和回形梁之间连接有敏感微梁，在敏感微梁上设置有压敏电阻。
一种 mems 值三轴加速度计

[实用新型]基于光纤光栅的输电线路舞动监测传感装置-CN201120035138.7有效
发明人：滕伟;叶煜明;李林;芮晓明;杨永昆;黄浩然;陈磊;王星 -专利权人：华北电力大学;云南电网公司
申请日： 2011-02-09 - 公布日： 2012-05-23 - 主分类号： G01P15/03 文献下载
摘要：该装置包括吊耳、外壳、质量块和敏感元件：吊耳与外壳固接为一个整体，外壳的内壁左侧有外伸弹性悬臂梁，梁右端有质量块，内壁底部有外伸弹性梁，端部有质量块，质量块与梁为一体，在两个梁的固定端附近沿伸展方向各附有一个光纤光栅应力敏感元件
基于光纤光栅输电线路舞动监测传感装置

[发明专利]一种双轴加速度传感器及其安装、测量方法-CN202311134691.X在审
发明人：曹光利;郇正利;徐俊飞 -专利权人：山东利恩斯智能科技有限公司
申请日： 2023-09-05 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： G01P15/09 文献下载
摘要：本发明涉及一种双轴加速度传感器及其安装、测量方法，属于加速度传感器技术领域，包括底座、敏感芯体、壳盖和接嘴；所述底座上端外壁套接壳盖，壳盖上端内部插接接嘴，接嘴下端连接有引线，引线与壳盖内部的敏感芯体相连接；敏感芯体包括水平陶瓷组、质量块和竖直陶瓷组，水平陶瓷组和竖直陶瓷组对称分布于质量块两侧，用于测量X轴、Y轴的双向加速度。本发明设置了一种新型的芯体结构，只采用一个质量块即可实现双轴的加速度测量，测量结果准确，且结构更小巧，可减小传感器整体的体积和质量，达到传感器小型化的目的。
一种加速度传感器及其安装测量方法

[发明专利]一种抗高过载硅敏感单元、微加速度计及其制备方法-CN202210018515.9在审
发明人：侯占强;吴学忠;肖定邦;李青松;席翔;张勇猛;刘高;单恒;苗桐侨;虢晓双;王北镇 -专利权人：中国人民解放军国防科技大学
申请日： 2022-01-07 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种抗高过载硅敏感单元、微加速度计及其制备方法，硅敏感单元包括外框、复合梁结构与质量块组件；复合梁结构包含梁应力释放结构、敏感梁和位移限制梁，梁应力释放结构的两侧通过敏感梁与外框相连、两端通过位移限制梁与外框相连；两个敏感梁、两个位移限制梁以梁应力释放结构为中心呈十字对称结构位于质量块组件间隔的镂空槽内；外框包含缓冲止挡结构。本发明应用于硅微传感器技术领域，增设位移限制梁与缓冲止挡结构，在不影响微加速度计工作模态下，位移限制梁可以在微加速度计受到冲击时提升敏感梁的刚度和整个敏感单元的刚性，外框上的缓冲止挡结构可在质量块与外框产生碰撞时进行阻挡与缓冲保护
一种过载敏感单元加速度计及其制备方法

[发明专利]一种杆环结构多方向压电发电装置-CN201610050377.7有效
发明人：刘祥建;鞠全勇;李晓晖;罗卫平;王珺 -专利权人：金陵科技学院
申请日： 2016-01-26 - 公布日： 2017-08-22 - 主分类号： H02N2/18 文献下载
摘要：本发明公开一种杆环结构多方向压电发电装置，包括支架、圆环、滑动端、滑杆、折线形压电换能器、大质量块、小质量块和中心连接块。圆环固定于支架，滑杆通过滑动端连接于圆环，大质量块和小质量块设置于滑杆上，且两端通过折线形压电换能器分别与滑动端及中心连接块相连；所述折线形压电换能器由折线形金属弹性基片和多片压电陶瓷片组成，所述大质量块所在滑杆和小质量块所在滑杆两两呈垂直分布此装置可以将外界环境中多个不同方向的振动转换为大质量块和小质量块的受迫振动，进而实现折线形压电换能器的机电能量转换，解决了现有压电发电装置只能敏感某个方向振动，发电效率低的缺点。
一种结构多方压电发电装置

[发明专利]电容式加速度计-CN200910198629.0无效
发明人：刘芳;张涛;孙明营;孙平平;朱健强 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2009-11-11 - 公布日： 2010-05-19 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：一种电容式加速度计，包括具有上端盖极板的上端盖、有下端盖极板的下端盖、具有质量块极板上极板和质量块下极板的质量块、圆筒体和八根弹性支杆，所述的上端盖和下端盖与圆筒体相结合，将所述的弹性支杆固定，所述的质量块通过所述的弹性支杆与所述的圆筒体连接，形成敏感运动机构；所述的上端盖极板、下端盖极板、质量块上极板、质量块下极板都具有多块相互间隔的扇形子电极，这些扇形子电极使所述的上端盖极板、下端盖极板分别和质量块上极板、质量块下极板构成差分电容式结构
电容加速度计

[实用新型]一种杆环结构多方向压电发电装置-CN201620073158.6有效
发明人：刘祥建;鞠全勇;李晓晖;罗卫平;王珺 -专利权人：金陵科技学院
申请日： 2016-01-26 - 公布日： 2016-08-31 - 主分类号： H02N2/18 文献下载
摘要：本实用新型公开一种杆环结构多方向压电发电装置，包括支架、圆环、滑动端、滑杆、折线形压电换能器、大质量块、小质量块和中心连接块。圆环固定于支架，滑杆通过滑动端连接于圆环，大质量块和小质量块设置于滑杆上，且两端通过折线形压电换能器分别与滑动端及中心连接块相连；所述折线形压电换能器由折线形金属弹性基片和多片压电陶瓷片组成，所述大质量块所在滑杆和小质量块所在滑杆两两呈垂直分布此装置可以将外界环境中多个不同方向的振动转换为大质量块和小质量块的受迫振动，进而实现折线形压电换能器的机电能量转换，解决了现有压电发电装置只能敏感某个方向振动，发电效率低的缺点。
一种结构多方压电发电装置

[实用新型]一种小型化低耦合效应压阻式加速度传感器-CN202223290825.0有效
发明人：盖广洪;李嘉骐;颜逊 -专利权人：苏州航凯微电子技术有限公司
申请日： 2022-12-08 - 公布日： 2023-03-17 - 主分类号： G01P15/12 文献下载
摘要：本实用新型适用于加速度传感器技术领域，提供了一种小型化低耦合效应压阻式加速度传感器，包括硅片层，所述硅片层的两侧均设置有保护层，所述硅片层包括支撑框，所述支撑框中安装有质量块，所述质量块的两侧分别通过一个S桥与支撑框的内壁连接；所述S桥包括两个桥墩和一个桥身，两个桥墩设置于桥身的两端，且其中一个桥墩与质量块连接，另一个桥墩与支撑框的内壁连接；所述S桥的桥身的两端分别设置有一个敏感梁，其中一个敏感梁与支撑框的内部连接，另一个所述敏感梁与质量块连接。该装置采用“悬臂梁（S桥）‑质量块”结构，能够有效解决压阻式原理灵敏度低的问题，低耦合效应能大大提高传感器的抗干扰能力，降低用户的误操影响。
一种小型化耦合效应压阻式加速度传感器

[发明专利]低侧向效应微压电加速度传感器芯片及其制作方法-CN201510825263.0在审
发明人：田边;刘汉月;杨宁 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2015-11-24 - 公布日： 2016-02-24 - 主分类号： G01P15/09 文献下载
摘要：本发明公开了一种低侧向效应微压电加速度传感器芯片及其制作方法，芯片由一对敏感梁与一对补充梁共同支撑悬空质量块并使其悬空，敏感梁上布置了压电薄膜，压电薄膜的上下表面都布置有上下电极，其中芯片的制作方法是通过干法刻蚀以及ICP等离子体刻蚀得到硅基底中的由悬空质量块、敏感梁和补充梁组成的可动结构，正面光刻并溅射形成芯片的上下电极，在硅质基底的背面粘结硼玻璃，硼玻璃与悬空质量块预留有一工作间隙，最后得到芯片，该芯片能够满足高灵敏度
侧向效应压电加速度传感器芯片及其制作方法

[发明专利]一种具有全桥微梁结构的压阻式加速度传感器-CN201310154469.6有效
发明人：陈学军 -专利权人：厦门乃尔电子有限公司
申请日： 2013-04-28 - 公布日： 2013-08-07 - 主分类号： G01P15/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有全桥微梁结构的压阻式加速度传感器，包括框架、悬臂梁、微梁和质量块，所述悬臂梁处于质量块对称轴线上；所述微梁共有四个，以悬臂梁所在轴线为轴对称地分布于质量块边缘。该结构设置四个微梁，并将压阻敏感电阻设于四个微梁上，四个压阻敏感电阻构成惠斯顿全桥电路，一方面使得悬臂梁的应变得到放大，提高了灵敏度；另一方面，四个压阻敏感电阻均处于芯片内，因测量环境温度变化引起的阻值漂移对电路的影响在全桥电路中相互抵消，提高了温度稳定性；而且四个微梁增加了对质量块振动的约束，提高了一阶谐振频率。
一种具有全桥微梁结构压阻式加速度传感器

[实用新型]一种低交叉轴串扰敏感结构-CN202022646355.1有效
发明人：王建波;王晨晟;耿安兵;姚远;董亭亭 -专利权人：华中光电技术研究所（中国船舶重工集团公司第七一七研究所）
申请日： 2020-11-16 - 公布日： 2021-08-10 - 主分类号： G01P15/093 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种低交叉轴串扰敏感结构，其在光学微加速度计中位于衍射光栅正下方，所述敏感结构包括：惯性质量块、硅基底、悬臂梁和带腔的玻璃衬底；所述的低交叉轴串扰敏感结构包括：惯性质量块、硅基底、悬臂梁和带腔的玻璃衬底；所述硅基底中部纵向设有空腔，所述惯性质量块设置在所述硅基底的空腔内；所述悬臂梁为蛇型蜿蜒结构，且包含有多根，每根所述悬臂梁的两端分别与所述惯性质量块和所述硅基底空腔的内壁连接；所述玻璃衬底的外沿与所述硅基底的外沿固定连接且
一种交叉轴串扰敏感结构

[发明专利]一种基于F-P传感原理的加速度传感器敏感结构-CN202310314237.6在审
发明人：付佳豪;陈爽;申雅峰 -专利权人：中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
申请日： 2023-03-28 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： G01P15/03 文献下载
摘要：本发明公开的一种基于F‑P传感原理的加速度传感器敏感结构，属于光纤加速度计领域。本发明包括惯性质量块、支撑梁、功能性配重支撑、封装边框。光信号通过光纤传输到质量块表面发生反射，入射光和反射光发生干涉，当质量块由于外界振动产生位移影响干涉，将振动信号转化为光信号。质量块作为惯性和光反射结构，通过对其表面处理以减少光信号反射的能量损失；功能性配重支撑能够增加振动感应方向的质量，提高灵敏度，同时保证该结构在其他方向上实现振动隔离；支撑梁作为弹性结构控制整个系统的刚度；封装边框便于质量块保护模块封装。本发明能够实现光纤加速度传感器在低频振动环境下的响应，具有灵敏度高，避免其他方向上的交叉敏感的优点。
一种基于传感原理加速度传感器敏感结构

[实用新型]一种迈克尔逊光纤干涉仪用的敏感元件-CN201320571206.0有效
发明人：赵曰峰;张童心;魏冬梅;陈兴海;季作亮 -专利权人：山东师范大学
申请日： 2013-09-13 - 公布日： 2014-03-05 - 主分类号： G01P15/03 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种迈克尔逊光纤干涉仪用的敏感元件，它结构简单，加工方便，灵敏度高。它包括一个缠绕着光纤的支撑柱体，在支撑柱体上套装至少一个质量块，质量块将光纤分为至少上下两层，质量块在力的作用下上下移动，使光纤形变。
一种迈克光纤干涉仪敏感元件