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[发明专利]一种硅MEMS压阻式加速度传感器-CN200710139407.2有效
发明人：杨拥军;徐淑静;吕树海 -专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2007-09-13 - 公布日： 2008-02-06 - 主分类号： G01P15/12 文献下载
摘要：本发明包括硅框架、质量块、扭转梁、敏感梁和压敏电阻，在质量块的左右两侧设置有互相对称的、和硅框架连接的敏感梁，敏感梁上表面的端部制作有压敏电阻；在质量块的前后两侧设置有一对对称的、和硅框架连接的扭转梁，其垂直方向的高度大于敏感梁的高度。该传感器还具有体积小、质量轻、交叉耦合小、可靠性高、成本低和易于集成的特点。
一种 mems 压阻式加速度传感器

[发明专利]一种用于角速度敏感的仿生毛发式硅微陀螺仪-CN201510247649.8有效
发明人：杨波;胡迪;戴波;王行军 -专利权人：东南大学
申请日： 2015-05-15 - 公布日： 2019-04-30 - 主分类号： G01C19/5656 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于角速度敏感的仿生毛发式硅微陀螺仪，由上层聚合物毛发、中层硅微传感器和设有电路的底层玻璃衬底组成，所述中层硅微传感器包括圆形质量块以及与圆形质量块同圆心的环形质量块，所述圆形质量块和环形质量块之间设置有两个扭力梁，所述上层聚合物毛发粘合在圆形质量块中心，所述环形质量块的圆周侧部均匀的设置有若干梳齿组和方波支撑梁，所述梳齿组和方波支撑梁相互交错排列。
一种用于角速度敏感仿生毛发式硅微陀螺仪

[实用新型]一种高精度高共振频率的温度与振动传感器结构-CN201920933735.8有效
发明人：陆云才;王同磊;蔚超;陶风波;吴益明;李建生;王胜权;关为民;林元棣;李栋;张知先 -专利权人：国网江苏省电力有限公司电力科学研究院;国家电网有限公司;江苏省电力试验研究院有限公司;重庆大学
申请日： 2019-06-20 - 公布日： 2020-04-07 - 主分类号： G01K11/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高精度高共振频率的温度与振动传感器结构，包括罩壳、振动膜片、质量块以及光纤；振动膜片固定在罩壳内部，质量块固定在振动膜片中间位置，光纤的一端穿过质量块后从再贯穿并超出所述罩壳的顶部并与所述罩壳固定连接，另一端从质量块下端伸出，位于罩壳内部；光纤与质量块固定连接；在罩壳内部位于质量块上方的光纤上设有第一光纤光栅，位于质量块下方的光纤上设有第二光纤光栅，本实用新型提供了一种高精度高共振频率的温度与振动传感器结构，相较于现有技术，本实用新型提出的结构设计传感器，具有较高的共振频率，且能同时测量温度与振动信号，可以很好的消除交叉敏感，具有较好的精度。
一种高精度共振频率温度振动传感器结构

[发明专利]一种温度自补偿的面内双轴加速度传感器及温度补偿方法-CN202010003090.5有效
发明人：韦学勇;王曙东;徐柳;朱威龙;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2020-01-02 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： G01P15/097 文献下载
摘要：本发明公开了一种温度自补偿的面内双轴加速度传感器及温度补偿方法，包括质量块，质量块的周围呈中心对称均匀布置有多组谐振敏感元件，当面内任意方向、任意大小的加速度施加于器件时，质量块同时对多组谐振敏感元件施加应力
一种温度补偿面内双轴加速度传感器方法

[发明专利]基于多梳齿阵列的MEMS电容式微力传感器及去耦合测试方法-CN202210028939.3有效
发明人：高文迪;刘存朗;赵立波;谭仁杰;刘晓明;韩香广;卢德江;杨萍;王小章;王久洪;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2022-01-11 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：基于多梳齿阵列的MEMS电容式微力传感器及去耦合测试方法，传感器包括通过支撑梁固定在边框上的质量块，质量块、支撑梁悬空，质量块外侧布置运动限位结构；质量块前端设置有一个凸起的探针，质量块末端布置有动梳齿阵列组，与动梳齿阵列组配合构成差分梳齿电容阵列的定梳齿阵列组连接在边框上；质量块由x方向刚度高的支撑梁支撑，y方向为其工作敏感方向，动梳齿阵列组、定梳齿阵列组偏离质量块中心布置；去耦合测试时，将定梳齿阵列中具有相同间距/面积变化趋势的阵列进行电气连接，其与质量块上的动梳齿阵列接入到常规电容检测方法进行差分检测；同时驱动定梳齿阵列施加不同的交流电势调整传感器的检测量程；本发明用于亚nN‑μN量级微力的测量。
基于梳齿阵列 mems 电容式微传感器耦合测试方法

[发明专利]一种T字型推挽流微机械三轴薄膜陀螺-CN202010584318.4在审
发明人：朴林华;王育新;朴然;李美樱;王灯山 -专利权人：北京信息科技大学
申请日： 2020-06-24 - 公布日： 2020-08-28 - 主分类号： G01C19/58 文献下载
摘要：本发明公开了一种“T”字型推挽流微机械三轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈“T”字型结构的三对加热器和三对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一“T”字型凹槽；三对加热器的通电方式为周期式推挽式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明继承了微型热流陀螺无固体敏感质量块，抗振动和冲击等优点。本发明采用的工艺与集成电路工艺兼容，很容易将驱动电路和提取电路制作在同一个芯片上，具有高集成度的潜力。由于其敏感质量不含固体质量块，较其他工作原理的微型惯性传感器，具有抗大冲击，结构简单，成本极低，可靠性高的优势。
一种字型推挽流微机械三轴薄膜陀螺

[发明专利]一种推挽流式微机械Z轴薄膜陀螺-CN202010584723.6在审
发明人：朴林华;王育新;朴然;李美樱;王灯山 -专利权人：北京信息科技大学
申请日： 2020-06-24 - 公布日： 2020-08-28 - 主分类号： G01C19/58 文献下载
摘要：本发明公开了一种推挽流式微机械Z轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈矩形结构的一对加热器和一对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一长方体凹槽；加热器的通电方式为周期式推挽式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明继承了微型热流陀螺无固体敏感质量块，抗振动和冲击等优点。本发明采用的工艺与集成电路工艺兼容，很容易将驱动电路和提取电路制作在同一个芯片上，具有高集成度的潜力。由于其敏感质量不含固体质量块，较其他工作原理的微型惯性传感器，具有抗大冲击，结构简单，成本极低，可靠性高的优势。
一种推挽流式微机械薄膜陀螺

[发明专利]一种单热源T字型微机械三轴薄膜陀螺-CN202010584662.3在审
发明人：朴林华;王育新;朴然;李美樱;王灯山 -专利权人：北京信息科技大学
申请日： 2020-06-24 - 公布日： 2020-08-28 - 主分类号： G01C19/58 文献下载
摘要：本发明公开了一种单热源“T”字型微机械三轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈“T”字型结构的一个隔离电阻，三个加热器和三对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一“T”字型凹槽；三个加热器的通电方式为周期方波式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明继承了微型热流陀螺无固体敏感质量块，抗振动和冲击等优点。本发明采用的工艺与集成电路工艺兼容，很容易将驱动电路和提取电路制作在同一个芯片上，具有高集成度的潜力。由于其敏感质量不含固体质量块，较其他工作原理的微型惯性传感器，具有抗大冲击，结构简单，成本极低，可靠性高的优势。
一种热源字型微机械三轴薄膜陀螺

[发明专利]一种T字型推挽流微机械双轴薄膜陀螺-CN202010584317.X在审
发明人：朴林华;朴然;王育新;李美樱;王灯山 -专利权人：北京信息科技大学
申请日： 2020-06-24 - 公布日： 2020-08-28 - 主分类号： G01C19/58 文献下载
摘要：本发明公开了一种“T”字型推挽流微机械双轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈“T”字型结构的三对加热器和两对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一“T”字型凹槽；三对加热器的通电方式为周期式推挽式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明继承了微型热流陀螺无固体敏感质量块，抗振动和冲击等优点。本发明采用的工艺与集成电路工艺兼容，很容易将驱动电路和提取电路制作在同一个芯片上，具有高集成度的潜力。由于其敏感质量不含固体质量块，较其他工作原理的微型惯性传感器，具有抗大冲击，结构简单，成本极低，可靠性高的优势。
一种字型推挽流微机械双轴薄膜陀螺

[发明专利]一种单热源“T”字型微机械双轴薄膜陀螺-CN202010584358.9在审
发明人：朴林华;李美樱;朴然;王育新;王灯山 -专利权人：北京信息科技大学
申请日： 2020-06-24 - 公布日： 2020-08-28 - 主分类号： G01C19/58 文献下载
摘要：本发明公开了一种单热源“T”字型微机械双轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈“T”字型结构的一个隔离电阻，三个加热器和两对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一“T”字型凹槽；三个加热器的通电方式为周期方波式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明继承了微型热流陀螺无固体敏感质量块，抗振动和冲击等优点。本发明采用的工艺与集成电路工艺兼容，很容易将驱动电路和提取电路制作在同一个芯片上，具有高集成度的潜力。由于其敏感质量不含固体质量块，较其他工作原理的微型惯性传感器，具有抗大冲击，结构简单，成本极低，可靠性高的优势。
一种热源字型微机械双轴薄膜陀螺

[发明专利]硅中空梁、基于硅中空梁的硅微加速度计及其制备方法-CN201710909259.1有效
发明人：肖定邦;吴学忠;侯占强;周剑;卓明;苗桐侨;李青松;欧芬兰 -专利权人：中国人民解放军国防科技大学
申请日： 2017-09-29 - 公布日： 2020-07-17 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅中空梁、基于硅中空梁的硅微加速度计及其制备方法，硅中空梁包括由SOI硅片采用干法腐蚀加工工艺形成的梁本体，且其横截面为中空形；微加速度计包括连接为一体的硅敏感结构和硅基板，硅敏感结构包括支撑梁以及敏感质量块组件，支撑梁的横截面为前述的硅中空形梁，敏感质量块组件通过支撑梁固定于固定锚点上；制备方法包括采用干法腐蚀加工制备的硅敏感结构；将硅敏感结构与带有电容板组件和引线电极的硅基板采用硅‑硅低应力键合，得到微加速度计本发明具有抗干扰能力强、器件面积小、成品率高、成本低、稳定性高、加工质量高、加工鲁棒性好、应用范围广的优点。
中空基于加速度计及其制备方法

[发明专利]一种轴对称硅微机械陀螺敏感结构及其制造方法-CN201711173188.X有效
发明人：朱新建;马格林;张旭;虢晓双 -专利权人：湖南天羿领航科技有限公司
申请日： 2017-11-22 - 公布日： 2018-10-26 - 主分类号： G01C19/5656 文献下载
摘要：本发明公开了一种轴对称硅微机械陀螺敏感结构及其制造方法，敏感结构包括两侧设有键合锚点的弹性框架，弹性框架上设有轴对称的通孔区域且其对称轴线处设有“H”型支撑梁，“H”型支撑梁的两侧各设有两个轴对称的两个敏感质量块，且敏感质量块布置于通孔区域内且一侧通过联接梁与“H”型支撑梁相连；制造方法包括采用干湿结合在单个硅片上制备敏感结构。本发明的轴对称硅微机械陀螺敏感结构实现了结构的完全轴对称分布，降低结构损耗，减小应力集中，降低运动耦合，提高结构的机械灵敏度；本发明制造方法具有加工工艺简单、加工质量高、结构鲁棒性好、稳定性好、应用范围广等优点
一种轴对称微机陀螺敏感结构及其制造方法

[实用新型]一种“T”字型推挽流微机械三轴薄膜陀螺-CN202021188143.7有效
发明人：王育新;朴林华;朴然;李美樱;王灯山 -专利权人：北京信息科技大学
申请日： 2020-06-24 - 公布日： 2020-12-04 - 主分类号： G01C19/58 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种“T”字型推挽流微机械三轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈“T”字型结构的三对加热器和三对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一“T”字型凹槽；三对加热器的通电方式为周期式推挽式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型继承了微型热流陀螺无固体敏感质量块，抗振动和冲击等优点。本实用新型采用的工艺与集成电路工艺兼容，很容易将驱动电路和提取电路制作在同一个芯片上，具有高集成度的潜力。由于其敏感质量不含固体质量块，较其他工作原理的微型惯性传感器，具有抗大冲击，结构简单，成本极低，可靠性高的优势。
一种字型推挽流微机械三轴薄膜陀螺

[实用新型]一种推挽流式微机械Z轴薄膜陀螺-CN202021188157.9有效
发明人：王育新;朴林华;朴然;李美樱;王灯山 -专利权人：北京信息科技大学
申请日： 2020-06-24 - 公布日： 2020-12-04 - 主分类号： G01C19/58 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种推挽流式微机械Z轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈矩形结构的一对加热器和一对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一长方体凹槽；加热器的通电方式为周期式推挽式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型继承了微型热流陀螺无固体敏感质量块，抗振动和冲击等优点。本实用新型采用的工艺与集成电路工艺兼容，很容易将驱动电路和提取电路制作在同一个芯片上，具有高集成度的潜力。由于其敏感质量不含固体质量块，较其他工作原理的微型惯性传感器，具有抗大冲击，结构简单，成本极低，可靠性高的优势。
一种推挽流式微机械薄膜陀螺

[实用新型]一种单热源微机械Z轴薄膜陀螺-CN202021188178.0有效
发明人：王育新;朴林华;朴然;李美樱;王灯山 -专利权人：北京信息科技大学
申请日： 2020-06-24 - 公布日： 2020-12-04 - 主分类号： G01C19/58 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单热源微机械Z轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈“十”字型结构的两对加热器和四对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一矩形凹槽；两对加热器的通电方式为周期方波式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型继承了微型热流陀螺无固体敏感质量块，抗振动和冲击等优点。本实用新型采用的工艺与集成电路工艺兼容，很容易将驱动电路和提取电路制作在同一个芯片上，具有高集成度的潜力。由于其敏感质量不含固体质量块，较其他工作原理的微型惯性传感器，具有抗大冲击，结构简单，成本极低，可靠性高的优势。
一种热源微机薄膜陀螺