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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]全尺寸扩散炉-CN202020414087.8有效
发明人：陈庆敏;吴晓松;刘永法;李丙科 -专利权人：无锡松煜科技有限公司
申请日： 2020-03-27 - 公布日： 2020-07-14 - 主分类号： C30B31/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种全尺寸扩散炉，包括工作台室、主机室及气源柜，工作台室内部设有一套机械驱动机构，机械驱动机构上安装至少一个推拉舟，推拉舟上放置有一个石英舟，石英舟内承载多片硅片，主机室内至少具有一个工艺腔室，工艺腔室的第一端为进石英舟的炉口，第二端与气源柜以及外部的尾气处理装置连通，石英舟包括底部的舟托和上部的舟架，舟架包括位于工艺腔室轴线方向的两侧支架以及将两侧支架垂直相连的多个横杆，横杆四个为一组构成一个立方形的载片单元，硅片摆放在石英舟上时与工艺腔室的轴线方向平行，扩散反应的气体穿流式流过硅片之间。
尺寸扩散

[实用新型]一种冰龙舟-CN201820291668.X有效
发明人：罗忠义 -专利权人：罗忠义
申请日： 2018-03-01 - 公布日： 2018-11-06 - 主分类号： B63B35/73 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种冰龙舟，包括舟体、前滑行装置、后滑行装置、转向装置及刹停装置；在舟体前、后端分别加装有龙头、龙尾；前滑行装置和后滑行装置分别安装在舟体下部的前、后端，刹停装置安装在后滑行装置的下部，转向装置置于舟体后端并与后滑行装置连接，转向装置包括转向连杆套筒、方向舵、转向连杆、转板以及两个推拉杆，转向连杆通过转向连杆套筒安装在舟体后端，方向舵一端具有连接头，另一端置于舟体一侧上方，连接头与转向连杆上部固定连接，转向连杆下端固定连接有转板，两个推拉杆两端分别与转板的两端和后滑行装置枢接，所述转板、两个推拉杆与后滑行装置组成平行框架结构。
滑行装置转向连杆舟体转板转向装置推拉杆龙舟方向舵连接头本实用新型平行框架套筒安装装置安装龙尾枢接套筒下端龙头加工

[实用新型]一种冰舟-CN201820043295.4有效
发明人：罗忠义 -专利权人：罗忠义
申请日： 2018-01-10 - 公布日： 2018-09-18 - 主分类号： B62B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种冰舟，包括舟体、连接装置、滑行装置、刹停装置以及转向装置，滑行装置包括一对冰刀组件和冰刀架，舟体通过连接装置安装在冰刀架上，刹停装置安装于滑行装置下部，转向装置包括方向舵、转向连杆、转板以及两个推拉杆，转向连杆通过轴承安装在舟体后端，转向连杆上端固定连接有方向舵，转向连杆下端固定连接有转板，两个推拉杆一端分别与转板的两端枢接，另一端与滑行装置枢接。该冰舟具有操作方便，装配简单等优点。
滑行装置转向连杆舟体转板连接装置转向装置冰刀架方向舵推拉杆枢接本实用新型冰刀上端固定轴承安装装置安装下端装配

[实用新型]一种晶片加工用推拉舟调节装置-CN201920966522.5有效
发明人：李丙科 -专利权人：无锡松煜科技有限公司
申请日： 2019-06-26 - 公布日： 2020-04-21 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶片加工用推拉舟调节装置，包括推拉舟底板，推拉舟底板一侧表面下部设置调节组件，调节组件包括支撑顶块以及第一定位螺栓，支撑顶块焊接固定在推拉舟底板一侧表面下部，支撑顶块中部设置第一调节螺杆
一种晶片工用推拉调节装置

[发明专利]一种12管高产能PECVD设备-CN201811571879.X在审
发明人：崔慧敏;林罡;王鹏 -专利权人：无锡华源晶电科技有限公司
申请日： 2018-12-21 - 公布日： 2019-03-08 - 主分类号： C23C16/513 文献下载
摘要：该12管高产能PECVD设备，通过加热炉体、自动送取料系统和推拉舟使得载有待镀膜晶片的石墨舟传送给上下料机械手，通过这个全自动机械手的精准定位，把石墨舟放到每管对应的推拉舟上，然后再由推拉舟送入工艺管内
加热炉体工作台框架推拉舟主机工艺管气源柜石墨舟高产太阳能电池技术全自动机械手上下料机械手自动控制系统活动连接有表面固定镀膜晶片工艺气体精准定位炉门机构密封炉门取料系统真空系统晶片送入

[实用新型]一种12管高产能PECVD设备-CN201822156366.4有效
发明人：崔慧敏;林罡;王鹏 -专利权人：无锡华源晶电科技有限公司
申请日： 2018-12-21 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： C23C16/513 文献下载
摘要：该12管高产能PECVD设备，通过加热炉体、自动送取料系统和推拉舟使得载有待镀膜晶片的石墨舟传送给上下料机械手，通过这个全自动机械手的精准定位，把石墨舟放到每管对应的推拉舟上，然后再由推拉舟送入工艺管内
加热炉体工作台框架推拉舟主机本实用新型工艺管气源柜石墨舟高产太阳能电池技术全自动机械手上下料机械手自动控制系统活动连接有表面固定镀膜晶片工艺气体精准定位炉门机构密封炉门取料系统真空系统晶片送入

[实用新型]推拉舟上专用碎片接收装置-CN200620148204.0无效
发明人：郑建宇;宋晓彬;郝晓明;盛金龙 -专利权人：北京七星华创电子股份有限公司
申请日： 2006-10-31 - 公布日： 2007-10-24 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种推拉舟上专用的碎片接收装置，包括有固定座，所述固定座为框式结构，固定在可移动的支座的下端。本实用新型改进后固定座为口字形，力臂从两侧导出，中间沿运动方向增加了碎片槽，固定在推拉舟左右两端罩上，既能充当推拉舟骨架的盖板，又能用于接收硅片的碎片，保证设备正常运转；满足规模化生产的要求。
推拉专用碎片接收装置

[实用新型]提高卧式扩散炉非悬臂桨作业下进出舟稳定性的锁扣装置-CN202320809116.4有效
发明人：朱显;丁飞;马金磊;沈锋;刘庆霞 -专利权人：江苏新顺微电子股份有限公司
申请日： 2023-04-13 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种提高卧式扩散炉非悬臂桨作业下进出舟稳定性的锁扣装置，属于集成电路或分立器件芯片制造技术领域。包括固定底座，所述固定底座与机械手固定连接，所述固定底座上开设孔凹槽，推拉棒一端底部设于所述孔凹槽内，所述推拉棒一端顶部露出孔凹槽，所述固定底座上设置竖向布置的导杆，所述导杆和推拉棒一端顶部通过锁扣固定连接，使得所述推拉棒与固定底座连接。本申请结构简单、巧妙，使用后能够避免进出舟过程中推拉棒与机械手脱钩，提高了进出舟的稳定性，提高了产品质量。
提高卧式扩散悬臂作业进出稳定性装置

[实用新型]一种冰舟转向装置-CN201820040741.6有效
发明人：罗忠义 -专利权人：罗忠义
申请日： 2018-01-10 - 公布日： 2018-09-14 - 主分类号： A63B69/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种冰舟转向装置，包括，方向舵、转向连杆、转板以及两个推拉杆，所述转向连杆包括上端的第一连接部、中间的第二连接部和下端的第三连接部，所述第一连接部与所述方向舵固定连接且所述方向舵置于冰舟的舟体尾部上方，所述第二连接部通过轴承安装在冰舟的尾部，所述第三连接部与所述转板的中心固定连接，所述两个推拉杆的一端分别与所述转板的两端活动连接，另一端分别与冰舟的冰刀架的两端活动连接。该转向装置能够轻松的实现冰舟转向，且具有结构简单操作方便。
转向装置方向舵转板第二连接部第一连接部活动连接转向连杆推拉杆本实用新型中心固定轴承安装冰刀架上端舟体

[实用新型]扩散舟-CN201620958809.X有效
发明人：葛宜威;顾延桃;王毅 -专利权人：扬州杰盈汽车芯片有限公司
申请日： 2016-08-26 - 公布日： 2017-03-08 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：扩散舟。涉及扩散舟，尤其涉及半导体晶圆扩散舟。提供了一种结构简单，提高圆晶片压紧可靠性，提高产品加工质量的扩散舟。所述舟体的中间设有容置槽、两端分别设有推拉槽；还包括压紧组件，所述压紧组件包括压块、推杆和定位杆，所述推杆可拆卸连接在压块上，所述压块垂直设在容置槽内，所述推拉槽的端部设有水平通孔和垂直通孔，所述垂直通孔连接水平通孔
扩散

[实用新型]具有温度补偿的管式PECVD装置-CN202020545590.7有效
发明人：陈庆敏;吴晓松;李丙科;蔡宗捷;刘永法 -专利权人：无锡松煜科技有限公司
申请日： 2020-04-14 - 公布日： 2020-11-03 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有温度补偿的管式PECVD装置，包括工作台室、主机室及气源柜，工作台室内部设有一套机械驱动机构，机械驱动机构上安装至少一个推拉舟，推拉舟上放置有两个以上对接的石墨舟，主机室内至少具有一个工艺腔室，工艺腔室的内壁为石英管，石英管的外周沿轴向套设石英套管，石英套管外部为加热炉体，石墨舟进入工艺腔室后，加热炉体对应石墨舟对接的部位设置有加热电阻丝和对接部温度控制系统。
具有温度补偿 pecvd 装置

[实用新型]一种高温氧化石英舟-CN201720878028.4有效
发明人：徐明星;张朝奇 -专利权人：山东芯诺电子科技股份有限公司
申请日： 2017-07-19 - 公布日： 2018-02-13 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高温氧化石英舟，其内装舟有晶片并放置于炉管的恒温区内，包括由上边框、下边框组成的上宽下窄的镂空舟体，所述舟体的底部设有舟底接触棒，所述上边框与下边框之间设有舟体连接棒，所述上边框和下边框横向设有舟体固定棒，舟体下边框侧部设有舟体推拉把手。高温氧化石英舟为镂空状态前后无挡板防止对气流量影响，本装置能够为生产线提供均匀的氧化膜，增加生产效率，满足了生产需求，提高了产量。利用本装置进行热处理生产其效果完全满足工艺要求。
一种高温氧化石英

[发明专利]一种卧式扩散炉的自动送料装置-CN201410637488.9在审
发明人：郝晓明;桂晓波;肖东辉 -专利权人：北京七星华创电子股份有限公司
申请日： 2014-11-06 - 公布日： 2015-02-04 - 主分类号： C30B31/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种卧式扩散炉的自动送料装置，通过升降机构操控悬臂下降，可在推拉舟将悬臂及其装载的晶舟水平送入扩散炉的炉管后，将晶舟卸于炉管内的支撑平台上，使悬臂可退出炉管，只留晶舟单独接受扩散工艺，从而提高了扩散工艺质量和生产效率
一种卧式扩散自动装置

[实用新型]一种太阳能电池硅片扩散用立式石英舟-CN202320084399.0有效
发明人：李秀霞;常永喜;汤芳 -专利权人：浙江浩锐石英科技有限公司
申请日： 2023-01-29 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体技术领域，且公开了一种太阳能电池硅片扩散用立式石英舟，包括五边形板、推拉环、顶杆、上开槽棒、下开槽棒、侧板、底板、底杆、舟槽、卡套以及沟槽，在使用时，首先将卡套卡接在沟槽内，之后将硅片放置在上开槽棒以及下开槽棒上开设的舟槽中，通过钩杆钩住推拉环将其推入加热区进行加热，卡套与硅片厚度相契合，可以保证硅片扩散加工时不会出现晃动剐蹭，导致残次品增多，而卡套在多次使用后可以进行更换，不需要经常更换石英舟，变相减少了硅片的加工成本。
一种太阳能电池硅片扩散立式石英

[发明专利]一种管式电窑炉的双层料舟结构-CN201810970528.X有效
发明人：范胜军 -专利权人：范氏炉业（洛阳）有限公司
申请日： 2018-08-24 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： F27B3/10 文献下载
摘要：一种管式电窑炉的双层料舟结构，涉及一种管式电窑炉的料舟配合结构，料舟A（3）套接在加热管（1）内的上部，料舟A（3）能够在加热管（1）内滑动，料舟B（7）套接在加热管（1）内的下部，料舟B（7）能够在加热管（1）内滑动，球头（20）置于其中的一个通孔（13）内，方形豁口（8）套在推拉杆（4）上；本发明通过在加热管内设置弧形通槽和方形突出条，在料舟A和料舟B上设置与其对应的弧形突出条和方形通槽，并将料舟A和料舟B设置为独特的结构，实现了双层料舟可以加热不同的物体且取放时不易泄露的目的。
一种管式电窑炉双层结构

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