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[发明专利]一种适用于剪切增稠抛光的抛光头及抛光方法-CN202010492399.5有效
发明人：郭江;朱志成;宋传平 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2020-06-03 - 公布日： 2021-07-02 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：一种适用于剪切增稠抛光的抛光头及抛光方法，包括抛光头基体、动压效应区、约束边界、装配孔；抛光头基体为类似圆盘结构。约束边界为外缘高内周低的倾斜形状，位于抛光头基体外缘。装配孔设于抛光头基体中间。动压效应区呈圆环状并占据抛光头的主要区域，形状为楔形、抛物线形、阶梯形中的一种。抛光头基体固定在抛光杆上，抛光杆与五轴联动数控机床连接，抛光头基体在抛光杆的驱动下旋转并随抛光杆可实现任意角度的倾斜。当抛光头运动到指定加工位置，抛光头旋转带动剪切增稠抛光液转动发生剪切增稠现象，实现材料的去除。本发明可以实现剪切增稠抛光的定点局部加工并且改变抛光头转速和与工件的距离实现抛光压力控制；适用范围广、效率高、加工质量高、装置简单。
一种适用于剪切抛光方法

[实用新型]一种数控抛光机的浮压补偿机构-CN202120915969.7有效
发明人：陈念泉;高明 -专利权人：肇庆市第二机床厂有限公司
申请日： 2021-04-30 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种数控抛光机的浮压补偿机构，包括电气比例阀、换向电控阀、调速阀和浮动气缸，所述浮动气缸的一侧外至少设置有两个调速阀，所述换向电控阀设置在调速阀的一侧外，所述电气比例阀设置在换向电控阀的一侧外，本实用新型旨在提供一种应用在数控抛光设备的工件和磨轮的动作控制，无需人工操作，抛光压力范围可控，极大程度磨轮损耗浪费，节约成本的浮压补偿机构。
一种数控抛光机补偿机构

[实用新型]一种光学零件平面研磨装置-CN201621262181.6有效
发明人：陈从贺 -专利权人：福州恒光光电有限公司
申请日： 2016-11-23 - 公布日： 2017-06-06 - 主分类号： B24B37/005 文献下载
摘要：旋转支撑主轴连接能够调节主轴转速及转向的变频电机，研磨上盘设于一个精密进给主轴上，精密进给主轴中设有导向定位套筒和精密进给滚珠丝杠副，精密进给滚珠丝杠副的输出端设有能够定位夹紧研磨上盘的压紧定位夹套，压紧定位夹套中设有压力检测传感器，精密进给滚珠丝杠副的输入端连接伺服电机，变频电机、压力检测传感器和伺服电机连接一个精密研磨控制器；本实用新型能够根据需要精密调节研磨速度、研磨压力和研磨进给量，研磨抛光压力和行程调节精密可控，确保研磨抛光精度高，尤其适合高精度、超薄、超小型的光学零件研磨抛光使用。
一种光学零件平面研磨装置

[发明专利]喷嘴环抛光夹具及采用该夹具抛光喷嘴环的方法-CN201310239034.1有效
发明人：赵涛;史耀耀;王怀亮;李婕;孙鹏程 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2013-06-17 - 公布日： 2013-10-02 - 主分类号： B24B31/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种喷嘴环抛光夹具及采用该夹具抛光喷嘴环的方法，用于解决现有方法抛光的喷嘴环质量差的技术问题。技术方案是包括上料盖（1）、下料盖（2）、侧壁（6）和支撑壁（11）；上料盖（1）、两个侧壁（6）和支撑壁（11）组成抛光夹具的上半部分，下料盖（2）、两个侧壁（6）和支撑壁（11）组成抛光夹具的下半部分由于上料盖和下料盖与喷嘴环形成过盈配合，将喷嘴环待抛区域封闭，通过环形引导孔，对喷嘴环的四个叶片进行抛光，抛光过程中，通过给定抛光压力和磨料，提高了喷嘴环抛光的质量。经测试，采用本发明方法抛光喷嘴环后，其叶片的表面质量得到显著地提升，粗糙度达到0.37μm，小于图纸要求的0.4μm。
喷嘴抛光夹具采用方法

[发明专利]一种棱镜精抛设备及工艺-CN201910405694.X有效
发明人：周兵 -专利权人：苏州奥博特光学科技有限公司
申请日： 2019-05-11 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： B24B13/00 文献下载
摘要：其技术方案要点是包括机架、抛光组件，抛光组件包括抛光液池、设置在抛光液池内顶壁上的转动主轴、设置于转动主轴顶面上的抛光盘以及贴合抛光盘设置的上盘，抛光盘包括抛光盘基体以及柏油抛光模层，柏油抛光模层上开设有若干散热槽；机架上还设置有喷淋组件以及提高抛光压力的加压组件。开设散热槽一方面可以进行散热，防止柏油变软，另一方面抛光液可以均匀地分布在抛光盘上；抛光液通过喷头洒在抛光盘上，使得抛光产生的热量可以及时散发，柏油抛光模层不易变软，达到提高面形精度的目的。
一种棱镜设备工艺

[发明专利]一种高精密陶瓷植入粒子的装置-CN202011153243.0在审
发明人：林建铃 -专利权人：苏州美丽澄电子技术有限公司
申请日： 2018-07-08 - 公布日： 2021-01-15 - 主分类号： G02B21/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种高精密陶瓷植入粒子的装置，所述装置包括光辐射压力机、操作箱和电子显微目镜，所述光辐射压力机的内部设置有光压空腔，所述光压空腔的内部设置有光压发生器一，所述光压发生器一的一侧设置有光压发生器二，所述光辐射压力机的顶部焊接有操控台，所述操作箱设置在光辐射压力机的底部。
一种精密陶瓷植入粒子装置

[发明专利]N-Si基板的化学机械抛光工艺-CN202211012333.7在审
发明人：黄安基 -专利权人：福建省南安市宏炜新材料有限公司
申请日： 2022-08-23 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： B24B37/04 文献下载
摘要：本发明提供了N‑Si基板的化学机械抛光工艺，包括以下步骤：S1：配置氧化铝抛光液，将需要抛光的N‑Si基板粗抛光置于氧化铝抛光液中，控制抛光压力为2.5g/cm2，抛光盘转速为60rpm/min；S2：配置PH为10.2，浓度为15％的硅溶液，并保证硅溶液内部硅物质的粒径为25nm，以高锰酸钾和硅溶液比为1:6的比例范围加入高锰酸钾，进行混合搅拌得到的溶液作为抛光液进行抛光，控制抛光机的压力为1.5g/cm2，抛光盘转速为80rpm/min；S3：对步骤S2得到的N‑Si基板进行进行切割，将切割后的N‑Si基板放置在装有丙酮溶液的烧杯中，通过超声波振荡器清洗30分钟；本发明实现对于N‑Si基板进一步精准抛光，增加抛光的平滑度，减小表面氧化物的产生，防N‑Si基板表面残留的废渣和氧化物降低N‑Si基板质量。
si 化学机械抛光工艺

[发明专利]一种FeCrAl材料的超光滑表面制备方法-CN202111043240.6有效
发明人：郭江;潘博;俞学雯;高菲 -专利权人：大连理工大学;大连理工大学宁波研究院
申请日： 2021-09-07 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： B24B37/10 文献下载
摘要：其次，将其置于粘接有抛光垫的抛光盘上进行粗抛，通过在载盘上添加配重的方式来设置工件的抛光压力，达到去除划痕的目的。最后，将抛光垫更换后进行精抛，达到抑制工件表面的晶间高差的作用。通过对FeCrAl合金的研磨与抛光，表面粗糙度达到1nm以下，研磨抛光总时间较短，可高效实现FeCrAl合金的超光滑表面加工。
一种 fecral 材料光滑表面制备方法

[发明专利]半导体元件的电感形成方法-CN200410061711.6无效
发明人：金亨俊;姜永守 -专利权人：海力士半导体有限公司
申请日： 2004-06-30 - 公布日： 2005-06-01 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：在该绝缘膜内形成电感图案的步骤；在包含上述电感图案的绝缘膜的表面形成阻挡金属膜的步骤；在上述阻挡金属膜上形成足以把上述电感图案埋起来的铜薄膜的步骤；通过使用具有10000/分钟或10000/分钟以上高抛光速度的浆液的平坦化工序使上述铜薄膜平坦化的步骤；通过使用阻挡金属抛光用浆液的平坦化工序除去上述绝缘膜上的上述阻挡金属膜的步骤。通过使用具有高抛光速度的浆液，即便是在与现有技术相同的抛光条件下或在低抛光压力条件下，也可以进行高速铜抛光。
半导体元件电感形成方法

[实用新型]一种升降主轴抛光机构-CN201721733911.0有效
发明人：王华;陈泊霖 -专利权人：东莞市玮明实业有限公司
申请日： 2017-12-13 - 公布日： 2018-07-13 - 主分类号： B24B27/033 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种升降主轴抛光机构，包括转动固定支架和气缸固定支架，气缸固定支架通过设置有支撑装置固定连接在转动固定支架上方，转动固定支架上表面设置有传动装置，转动固定支架上表面设置有抛光装置，抛光装置包括主轴驱动轴套设置在转动固定支架上表面，抛光装置还包括主轴固定套设置在转动固定支架下表面，主轴固定套下表面连接有轴保护套，支撑装置上设置有升降固定块，主轴驱动轴套上设置有主轴，主轴的一端与升降固定块连接，主轴的另一端伸出主轴保护套外并且连接有抛光器，本实用新型具备高效率、成本低的特点，还具有控制抛光压力、防止主轴受潮的功能。
转动固定支架抛光装置上表面气缸固定支架本实用新型抛光机构升降主轴支撑装置主轴固定主轴驱动固定块下表面轴套升降传动装置抛光压力轴保护套高效率抛光器受潮伸出

[发明专利]一种用于微水雾抛光的多工位自适应执行装置-CN201910266273.3有效
发明人：高航;刘子源 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2019-04-03 - 公布日： 2020-09-29 - 主分类号： B24B55/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于微水雾抛光的多工位自适应执行装置，包括多工位公转单元、自适应自转单元、加压夹持单元和供雾单元；所述的多工位公转单元安装在龙门装置的动横梁上；多工位公转单元下方由上至下布置有自适应自转单元本发明采用基于配重环的重力式加载方案使抛光压力均匀施加至晶体工件抛光表面，有效抑制了面形精度的恶化。本发明采用滚珠花键移动副实现了自转轴轴向位置自适应，避免了磨抛板自身平面度误差对抛光运动及压力平稳性的影响。本发明采用多个自适应自转单元，增加了抛光工位数量，显著提高了抛光效率。
一种用于水雾抛光多工位自适应执行装置

[发明专利]一种抛光头驱动装置及抛光设备-CN201911410317.1在审
发明人：杨兆明;颜凯;中原司 -专利权人：浙江芯晖装备技术有限公司
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2020-05-01 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本发明涉及抛光技术领域，公开一种抛光头驱动装置及抛光设备。抛光头驱动装置包括安装板、升降机构和动力机构。动力机构设置在升降板上，动力机构包括主轴、转动电机和分气块，转动电机位于主轴的一侧且能够驱动主轴转动，主轴的一端被配置为与抛光头组件固定连接，另一端与分气块固定连接，分气块通过主轴与抛光头组件连通，以使抛光头组件能够吸附硅片以及调节硅片的抛光压力该抛光头驱动装置不仅能精确控制升降速度和转速，还能够有效避免硅片变形和碎裂现象的发生，且结构简单紧凑，布局合理。
一种抛光驱动装置设备

[发明专利]一种往返式液压拉光机-CN202310151624.2在审
发明人：伍宜松;伍向南;吴梦瑶;伍红梅 -专利权人：广东鑫信智能装备有限公司
申请日： 2023-02-22 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： B24B21/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种往返式液压拉光机，包括机架，安装面板，用于装夹工件的工件定位夹具，用于带动工件定位夹具升降以调节工件位置的定位夹具升降机构，用于对工件进行拉动抛光的抛光带，两个用于安装抛光带的抛光带压紧机构，用于带动抛光带往返移动以实现工件的拉光的抛光带平移机构，以及液压站，定位夹具升降机构包括滑杆安装板、第一滑杆、第一安装支架和升降液压缸，抛光带平移机构包括双出平移液压缸和平移滑座。本发明能够实现工件的自动拉光，人工干预少，生产效率高，采用升降液压缸带动工件定位夹具升降，定位精度高，方便对抛光压力和工件位置进行控制和调整，成品的抛光质量和一致性好，使用寿命长。
一种往返液压拉光机

[发明专利]机器人抛光打磨系统-CN201810356324.7在审
发明人：周伟;冯杰恩;罗名辉;刘镜钊;胡尕磊 -专利权人：广东利迅达机器人系统股份有限公司
申请日： 2018-04-19 - 公布日： 2018-07-31 - 主分类号： B24B21/00 文献下载
摘要：一种机器人抛光打磨系统，包括打磨抛光机构和搬运机器人，打磨抛光机构上设置有磨抛光组件，其包括打磨轮、打磨抛光砂带、打磨抛光电机和从动轮，打磨抛光组件通过打磨臂设置于打磨抛光基座上，打磨轮和从动轮分别转动设置，打磨抛光砂带绕设于打磨轮和从动轮上，打磨抛光电机驱动打磨轮和/或从动轮转动；打磨抛光基座上设置有力控装置，其包括力控摆臂、弹性件、力控气缸和电气比例阀，力控气缸依次通过弹性件、力控摆臂和打磨臂驱动打磨抛光组件相对打磨抛光基座移动，电气比例阀控制力控气缸，以调整最终作用于工件上的打磨抛光压力。本发明具有打磨抛光效率高、质量好，操作维护更方便，稳定性强，自动化程度高，产品加工质量一致性好的特点。
打磨抛光从动轮打磨轮气缸电气比例阀抛光打磨弹性件摆臂砂带机器人打磨搬运机器人操作维护产品加工电机驱动基座移动抛光组件稳定性强一致性好转动设置控制力转动自动化电机驱动

[实用新型]机器人抛光打磨系统-CN201820568967.3有效
发明人：周伟;冯杰恩;罗名辉;刘镜钊;胡尕磊 -专利权人：广东利迅达机器人系统股份有限公司
申请日： 2018-04-19 - 公布日： 2018-11-13 - 主分类号： B24B21/00 文献下载
摘要：一种机器人抛光打磨系统，包括打磨抛光机构和搬运机器人，打磨抛光机构上设置有磨抛光组件，其包括打磨轮、打磨抛光砂带、打磨抛光电机和从动轮，打磨抛光组件通过打磨臂设置于打磨抛光基座上，打磨轮和从动轮分别转动设置，打磨抛光砂带绕设于打磨轮和从动轮上，打磨抛光电机驱动打磨轮和/或从动轮转动；打磨抛光基座上设置有力控装置，其包括力控摆臂、弹性件、力控气缸和电气比例阀，力控气缸依次通过弹性件、力控摆臂和打磨臂驱动打磨抛光组件相对打磨抛光基座移动，电气比例阀控制力控气缸，以调整最终作用于工件上的打磨抛光压力。本实用新型具有打磨抛光效率高、质量好，操作维护更方便，稳定性强，自动化程度高，产品加工质量一致性好的特点。
打磨抛光从动轮打磨轮气缸电气比例阀抛光打磨弹性件摆臂砂带机器人打磨搬运机器人本实用新型操作维护产品加工电机驱动基座移动抛光组件稳定性强一致性好转动设置控制力转动自动化电机驱动