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[实用新型]一种耙状悬臂梁结构的微探针-CN201620304865.1有效
发明人：朱干军 -专利权人：朱干军
申请日： 2016-04-12 - 公布日： 2016-10-12 - 主分类号： G01R1/067 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种耙状悬臂梁结构的微探针，该微探针包括一组悬臂梁和在微探针制程中在一组悬臂梁的末端保留或增设的连接结构，该连接结构用于对所述悬臂梁末端的侧向运动进行约束。采用本实用新型结构的微探针，通过连接结构来限制各悬臂梁的侧向抖动/振动，有效地实现对悬臂梁的抖动/振动控制，克服了测量结果不稳定性的问题。
一种悬臂梁结构探针

[实用新型]一种桁架机器人用悬臂梁机构-CN201921915006.6有效
发明人：刘金石;黄震;张江涛;吴臣宇;杨勇 -专利权人：金石机器人常州股份有限公司
申请日： 2019-11-07 - 公布日： 2020-06-26 - 主分类号： B25J9/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种桁架机器人用悬臂梁机构。所述桁架机器人用悬臂梁机构包括托板组件及悬臂梁，所述托板组件安装于横梁上，所述托板组件包括托板座与安装架，所述托板座滑动地安装于所述横梁上，所述安装架固定于所述托板座上，所述悬臂梁滑动地安装于所述安装架上并与所述横梁垂直，所述悬臂梁还与竖梁垂直，所述悬臂梁远离所述安装架的一端设置有吊挂器具，所述吊挂器具用于吊挂物件。所述桁架机器人用悬臂梁机构便于在第三轴方向上伸缩以利用吊挂器具吊起零部件。
一种桁架机器人悬臂梁机构

[发明专利]一种基于工业互联网的振动-磁场宽频复合能量采集器-CN202211166012.2在审
发明人：严冬;赵创亮;张佳佳;李雪峰;钱德胜;王平 -专利权人：重庆邮电大学
申请日： 2022-09-23 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： H02N2/18 文献下载
摘要：该能量采集器包括夹具，压电层，磁铁以及悬臂梁，其中悬臂梁包括水平悬臂梁和垂直悬臂梁，磁铁固定在垂直悬臂梁上，压电层在水平悬臂梁和垂直悬臂梁上均有设置，能量采集器通过夹具固定在输电线上。在输电线振动时，夹具跟随振动并带动与其连接的水平悬臂梁振动，压电层发生形变从而将振动能转化为电能；另外输电线周围磁场的变化使磁铁发生振动，同样带动垂直悬臂梁振动，其上设置的压电层发生变形从而实现将磁场能转化为电能
一种基于工业互联网振动磁场宽频复合能量采集

[发明专利]悬臂梁式压电发电机-CN201210195558.0无效
发明人：王秋军;梅术华;张曙光 -专利权人：广州市番禺奥迪威电子有限公司
申请日： 2012-06-14 - 公布日： 2012-10-24 - 主分类号： H02N2/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种悬臂梁式压电发电机，包括转子、定子及固定在定子上的可在转子转动带动下进行振动的悬臂梁，各悬臂梁上均设有若干压电片，压电片贴覆于悬臂梁的一侧面或者两侧面上。此悬臂梁式压电发电机通过可通过风力、水流或者车轮转动等多种动力源带动转子转动，并通过转子或转子上设置的其他装置拨动定子上设置的悬臂梁，使得悬臂梁振动，带动悬臂梁上的压电片产生压电效应进行发电，此悬臂梁式的压电发动机可将转子转动的机械能有效转化为电能
悬臂梁压电发电机

[实用新型]悬臂梁式压电发电机-CN201220279595.5有效
发明人：王秋军;梅术华;张曙光 -专利权人：广州市番禺奥迪威电子有限公司
申请日： 2012-06-14 - 公布日： 2012-12-26 - 主分类号： H02N2/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种悬臂梁式压电发电机，包括转子、定子及固定在定子上的可在转子转动带动下进行振动的悬臂梁，各悬臂梁上均设有若干压电片，压电片贴覆于悬臂梁的一侧面或者两侧面上。此悬臂梁式压电发电机通过可通过风力、水流或者车轮转动等多种动力源带动转子转动，并通过转子或转子上设置的其他装置拨动定子上设置的悬臂梁，使得悬臂梁振动，带动悬臂梁上的压电片产生压电效应进行发电，此悬臂梁式的压电发动机可将转子转动的机械能有效转化为电能
悬臂梁压电发电机

[实用新型]一种旋臂起重机-CN201521008492.5有效
发明人：黄浩奇 -专利权人：浙江协成起重机械有限公司
申请日： 2015-12-07 - 公布日： 2016-04-20 - 主分类号： B66C23/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种旋臂起重机，解决了电动葫芦吊起设备之后，电动葫芦沿着悬臂横梁持续行走会与悬臂横梁的端部发生碰撞，造成电动葫芦与悬臂横梁损坏的问题，其技术方案要点是一种旋臂起重机，包括悬臂梁和行走在悬臂梁上的起吊件，所述的悬臂梁的一侧设置有至少两个用于和起吊件接触的碰撞器，所述的碰撞器分别置于悬臂梁的两端，且与悬臂梁固定连接，通过使碰撞器与起吊件碰撞，从而避免起吊件与悬臂梁的直接接触，达到了保护起吊件和悬臂梁的目的
一种起重机

[发明专利]双层压电薄膜悬臂梁传感器结构及其制造方法-CN201410200445.4在审
发明人：杨冰 -专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
申请日： 2014-05-13 - 公布日： 2014-08-13 - 主分类号： H01L41/113 文献下载
摘要：本发明公开了一种双层压电薄膜悬臂梁传感器结构及其制造方法，包括：双面抛光的半导体衬底；位于半导体衬底正面的空腔，即牺牲层腔；一固定端位于半导体衬底正面而另一活动端向所述牺牲层腔内部延伸的悬臂梁支撑结构；位于悬臂梁支撑层上方的双层压电薄膜悬臂梁结构；包裹悬臂梁结构的释放阻挡结构。双层悬臂梁传感器结构的制造采用表面牺牲层工艺，从半导体衬底正面释放压电悬臂梁结构，与标准硅集成电路工艺充分兼容，工艺简单受控，解决了体硅工艺用湿法腐蚀从衬底背面释放悬臂梁存在的污染问题，提高了成品率。双层压电薄膜通过增大变形幅度增强了压电效应的灵敏度，提高了悬臂梁对外部激励的响应和信号输出。
双层压电薄膜悬臂梁传感器结构及其制造方法

[发明专利]涡电流传感器-CN201610784503.1在审
发明人：中村显 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2016-08-31 - 公布日： 2017-03-08 - 主分类号： B24B49/10 文献下载
摘要：芯部(1‑60)具有共通部(1‑65)、连接于共通部(1‑65)的四根悬臂梁状部(1‑66～69)。第一悬臂梁状部(1‑66)以及第二悬臂梁状部(1‑67)的端部彼此接近地邻接。第三悬臂梁状部(1‑69)以及第四悬臂梁状部(1‑68)的端部彼此接近地邻接。在共通部(1‑65)配置有励磁线圈。配置于第一悬臂梁状部(1‑66)的第一检测线圈(1‑631)、配置于第二悬臂梁状部(1‑67)的第二检测线圈(1‑632)检测涡电流。在第三悬臂梁状部(1‑69)配置有第一虚拟线圈(1‑642)，在第四悬臂梁状部(1‑68)配置有第二虚拟线圈(1‑641)。
电流传感器

[发明专利]内嵌通道微悬臂梁的一种并联结构及加工方法-CN201910036305.0在审
发明人：郝秀春;蒋纬涵 -专利权人：江苏大学
申请日： 2019-01-15 - 公布日： 2019-06-18 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了内嵌通道微悬臂梁的一种并联结构及加工方法，属于MEMS领域。本发明是在微悬臂梁的内部形成微通道，将微流控芯片集成于微悬臂梁传感器内，并且两个及以上微悬臂梁的自由度相连。此种微悬臂梁的并联结构是采用一种基于SON结构的加工方法来制造的，可以同时形成微通道和盖板。同时与微流控芯片技术结合起来，可以实现微纳粒子、细胞等的分离、监测与检测。微悬臂梁总体结构包括：微悬臂梁的固定端、内嵌通道、内嵌通道的衬底和盖板，以及内嵌通道的入口和出口。本发明是一种新型的微悬臂梁结构，加工方法更加简洁，将微流控芯片技术与微悬臂梁传感器技术相结合，应用领域大大增加，同时检测精度也极大地提高。
微悬臂梁内嵌微流控芯片并联结构微悬臂梁传感器微通道盖板加工技术结合固定端检测衬底粒子细胞监测出口制造

[发明专利]基于飞秒激光与高温成型悬臂梁探针的方法及悬臂梁探针-CN202010692685.6在审
发明人：刘红英;刘光献;顾春川;邓敏;樊凯;李杜娟;厉力华;陈建龙 -专利权人：杭州电子科技大学
申请日： 2020-07-17 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明属于微纳米制造领域，尤其涉及一种基于飞秒激光与高温成型悬臂梁探针的方法及悬臂梁探针。其成型方法包括步骤：S1、将尺寸为微纳米数量级的硅基板放置于显微镜下；S2、对所述硅基板的表面进行离子刻蚀，形成若干个孔；S3、对离子刻蚀后的硅基板进行高温成型，以在硅基板内部形成空腔，得到内部含有空腔的悬臂梁；S4、将所述内部含有空腔的悬臂梁的一端固定，调节飞秒激光性能参数，在悬臂梁的另一端利用飞秒激光进行探针的成型。本发明制造悬臂梁探针的方法简易有效，省去了采购昂贵的试验设备所需的成本，并且悬臂梁内部含有空腔，提高了悬臂梁探针的谐振频率，从而提高了悬臂梁探针的探测精度。
基于激光高温成型悬臂梁探针方法

[发明专利]MEMS器件及其形成方法-CN201410513657.8有效
发明人：阮炯明;张冬平 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2014-09-29 - 公布日： 2017-08-25 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：MEMS器件包括半导体基底、形成于半导体基底表面的凹槽和位于半导体基底上的悬臂梁。悬臂梁的悬空端悬空在半导体基底凹槽的上方，固定端固定在半导体基底表面；在悬臂梁的固定端上，由靠近凹槽至远离凹槽方向上至少设有两根固定齿，固定齿嵌于半导体基底表面以将悬臂梁固定在半导体基底内。使用时，悬臂梁的悬空端振动后，所产生的力分散至各个固定齿上，各个固定齿与半导体基底间形成多个受力点，且固定齿之间形成牵制，从而降低悬臂梁固定端出现振动，且可降低悬臂梁悬空端振动引起的力集中在固定端一个点上而致使该点受力过大而引起悬臂梁断裂的几率，提高悬臂梁的韧性，以及稳定性。
mems 器件及其形成方法

[发明专利]一种自升式钻井平台悬臂梁钻台称重试验系统及其方法-CN201810217477.3有效
发明人：曹凤丽;吴正峰;林海桥;季秋兵 -专利权人：南通振华重型装备制造有限公司
申请日： 2018-03-16 - 公布日： 2019-11-15 - 主分类号： E02B17/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种自升式钻井平台悬臂梁钻台称重试验系统及其方法，包括桩腿、主船体、悬臂梁、钻台、井架、顶升系统a、称重系统a、顶升系统b、称重系统b、悬臂梁滑移系统、悬臂梁基座和联接工艺轴，桩腿固定安装在主船体的下端部，悬臂梁水平安装在主船体的上端部，钻台、井架依次安装在悬臂梁的端部，井架安装在钻台的上端部，然后以钻台总成和悬臂梁总成为称重目标，采用常规化称重设备，将悬臂梁总成重量转移至可读数的称重设备上，所有数据汇总即为称重结果要求值，并与理论值进行比较得出结论；本发明在自升式钻井平台下水后，于船体甲板上进行，保证悬臂梁钻台以及井架安装完整性，与平台其他工程施工可以交叉进行，大大提高工作效率。
悬臂梁钻台自升式钻井平台主船体称重设备称重试验称重系统顶升系统井架安装上端部井架称重桩腿船体甲板工程施工工作效率滑移系统结果要求数据汇总水平安装重量转移常规化工艺轴下端部联接下水保证

[发明专利]一种高灵敏度MEMS压电式麦克风-CN201910799686.8有效
发明人：孙成亮;胡博豪;吴志鹏;林炳辉;朱伟;王磊;周禹 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2019-08-28 - 公布日： 2021-02-19 - 主分类号： H04R19/00 文献下载
摘要：一种高灵敏度MEMS压电式麦克风，包括具有空腔的晶圆衬底和多个具有压电叠层结构的悬臂梁，所述悬臂梁包括固定端和悬置于空腔上方的自由端，所述悬臂梁为一端窄另一端宽的结构，较窄的一端为固定端；所述空腔的底面中心设置有固定柱，多个所述悬臂梁的固定端均连接在所述固定柱的顶面，相邻的所述悬臂梁之间均设置有间隙，且相邻悬臂梁的自由端均连接有能使悬臂梁同步振动的柔性弹性件，其中一个所述间隙内设置有用于引出所述悬臂梁电信号的连接段。本发明通过改变MEMS压电式麦克风内悬臂梁的结构形式，提高了麦克风的灵敏度和信噪比。
一种灵敏度 mems 压电麦克风

[发明专利]一种基于悬臂梁的压电主动减振装置-CN201810805458.2有效
发明人：陈昊;王晓辉;沈景凤;金权;任文豹;何俊;徐海峰;杨友利 -专利权人：上海理工大学
申请日： 2018-07-20 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： F16F15/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于悬臂梁的压电主动减振装置，涉及悬臂梁技术领域，包括支撑模块，悬臂梁和控制模块；所述悬臂梁设置于所述支撑模块上，所述控制模块用于有效抑制所述悬臂梁的振动；所述支撑模块包括底座和支撑臂，所述支撑臂被设置于所述底座的上部；所述悬臂梁的第一端固定于所述支撑臂上；所述控制模块包括控制器，压电作动器和压电传感器，所述控制器设置于所述支撑臂上，所述压电作动器设置于所述悬臂梁的第二端上表面，所述压电传感器设置于所述悬臂梁的第二端下表面本发明的减振装置，设计合理，实用性强，且可以有效抑制悬臂梁的振动。
一种基于悬臂梁压电主动装置

[实用新型]一种悬臂梁结构的震动传感有机场效应晶体管-CN201520931728.6有效
发明人：钱宏昌;唐莹;韦一;彭应全 -专利权人：中国计量学院
申请日： 2015-11-20 - 公布日： 2016-05-18 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本实用新型提供的一种悬臂梁结构的震动传感有机场效应晶体管，其结构如图1所示，包括衬底(1)、悬臂梁(2)、源电极(301)、漏电极(302)、栅电极(303)、有机半导体层(4)、绝缘层(5)和过冲保护层(6)；绝缘层采用悬臂梁结构，在外力的作用下悬臂梁会发生形变；过冲保护层能防止悬臂梁在外力作用下超限制形变，当悬臂梁受到过大的向下方外力作用时，悬臂梁会受到过冲保护层的阻挡防止继续形变，从而保护悬臂梁使其不被损坏；有机半导体层覆盖于横梁上方，悬臂梁受到到震动影响时有机半导体层和绝缘层界面处发生变化，有机场效应晶体管迁移率发生改变。
一种悬臂梁结构震动传感有机场效应晶体管