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[实用新型]微位移驱动器-CN92207640.5无效
发明人：杨建忠;陶德华 -专利权人：电子工业部第四十五研究所
申请日： 1992-04-22 - 公布日： 1994-04-06 - 主分类号： H02K7/06 文献下载
摘要：本实用新型是一种能将旋转运动变为直线运动的微位移驱动装置，其特点是将一个步进电机的转子的转轴外径适当增大，并沿轴线方向加工一个螺纹盲孔，再将一根一部分带有导向平面或轴向键(槽)而另一部分带螺纹的推(拉)
位移驱动器

[实用新型]微位移驱动器-CN89212806.2无效
发明人：凌宁 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 1989-03-09 - 公布日： 1989-11-22 - 主分类号： H01L41/08 文献下载
摘要：本实用新型是一种微位移驱动器，适用于在精密驱动定位技术、自动控制技术、精密微调技术中产生所需的微米级和亚微米级变形量。采用压电陶瓷片迭加粘接、正负极并联结构，经密封而成。
位移驱动器

[发明专利]二维微镜-CN202111155662.2有效
发明人：谢会开;王鹏 -专利权人：北京理工大学;无锡微奥科技有限公司
申请日： 2021-09-29 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本公开公开了一种二维微镜。该二维微镜包括外框架及套设于所述外框架内侧的内框架；所述外框架与所述内框架之间设置有第一驱动器；所述内框架的内侧设置有第二驱动器；所述第一驱动器和所述第二驱动器均为电热驱动器，或者，所述第一驱动器为电热驱动器、所述第二驱动器为静电驱动器；所述第一驱动器包括支撑梁及驱动臂组件；所述支撑梁连接在所述内框架的外侧，所述驱动臂组件与所述支撑梁连接，所述驱动臂组件设置有多个，多个所述驱动臂组件沿第一方向排布，所述第一方向为所述支撑梁的长度方向
二维

[发明专利]一种用于提高静电MEMS微镜扫描角度的优化方法及系统-CN202310707084.1在审
发明人：彭安杰;乔大勇;陈真;何叶;袁仕俊 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2023-06-14 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于提高静电MEMS微镜扫描角度的优化方法及系统，包括建立静电MEMS微镜的动力学方程，获取驱动力矩，并建立驱动力矩表达式；建立不同梳齿到转轴距离的驱动器的有限元模型，并对有限元模型进行仿真，获取不同驱动器电容与角度的关系，并对获取的不同驱动器电容与角度的关系进行拟合，获取驱动器电容表达式；基于获取的驱动器电容表达式、驱动力矩表达式和静电MEMS微镜的动力学方程得到谐振振幅的表达式，并基于谐振振幅的表达式获取不同梳齿到转轴距离下静电MEMS微镜的谐振振幅；选取所有谐振振幅中的最大值对应的梳齿到转轴距离对MEMS微镜的驱动器进行优化。使得MEMS微镜能达到最大的扫描角度，进而满足静电MEMS微镜在大视场应用场景中的需求。
一种用于提高静电 mems 扫描角度优化方法系统

[发明专利]双微镜旋转扫描器件-CN201210166956.X有效
发明人：徐英舜 -专利权人：凝辉(天津)科技有限责任公司
申请日： 2012-05-28 - 公布日： 2012-09-19 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：一种双微镜旋转扫描器件，它包括微驱动器、平面弹簧、环形镜片和圆形镜片。微驱动器的输出端与平面弹簧的输入端相连，平面弹簧的输出端分别与环形镜片和圆形镜片的输入端相连；每个器件包括1个环形镜片、1个圆形镜片、8个平面弹簧和8个微驱动器，环形镜片和圆形镜片各与4个平面弹簧相连，每个平面弹簧与1个微驱动器相连；本发明基于目前现有材料和微加工工艺，可以获得90度的光学反射角度，并完成360度圆周扫描并且明显缩短了扫描器件的轴向长度。
双微镜旋转扫描器件

[发明专利]大转角压电扫描微镜-CN201010136889.8无效
发明人：温志渝;钱蓉蓉;陈李;温中泉;贺学锋 -专利权人：重庆大学
申请日： 2010-03-31 - 公布日： 2010-10-06 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种单片集成的大转角压电扫描微镜，包括微反射镜面、压电微驱动器、角度传感器以及支撑框架，所述反射镜面、压电微驱动器以及支撑框架均制作在同一片硅基底上，反射镜面、压电微驱动器位于支撑框架结构的内部；本发明采用压电驱动方式对微镜进行驱动，压电微驱动器包括多条压电折叠梁，可在较低的工作电压下实现微镜的大角度扫描；微镜中部由一对扭转梁进行支承，使微镜绕扭转梁转动，从而限制了微镜面外的平动，增加了系统的稳定性；同时集成了压电式角度传感器，实现扫描角度的精确测量，因此无需外加角度检测装置，从而减小系统体积，本发明成果可广泛应用于微型光谱仪、光学成像等领域。
转角压电扫描

[发明专利]一种伺服增量式高精度压力传感器及其使用方法-CN202110187585.2有效
发明人：刘延芳;齐乃明;穆荣军;倪晨瑞;佘佳宇;周芮;杨云飞;霍明英;赵钧;杜德嵩 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2021-02-18 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： G01L1/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种伺服增量式高精度压力传感器及其使用方法，属于压力传感器技术领域。伺服增量式高精度压力传感器包括加载台、压力传感器、气囊、微位移驱动器、微位移传感器和基座，气囊的下侧安装在基座的上表面上，气囊的上侧支撑加载台，微位移驱动器和微位移传感器以气囊为中心周向设置在基座的上表面上，压力传感器与微位移驱动器一一对应，且每个压力传感器均由对应的微位移驱动器支撑，压力传感器的上侧支撑加载台。
一种伺服增量高精度压力传感器及其使用方法

[实用新型]一种自动微板检测洗板机-CN201220120695.3有效
发明人：张传国 -专利权人：深圳市爱康电子有限公司
申请日： 2012-03-28 - 公布日： 2012-10-31 - 主分类号： G01N33/543 文献下载
摘要：一种自动化检测微板的洗板机，包括由外壳、底座、托盘、注液泵、注液阀、双排洗板头、控制驱动器、微板定位装置、带动洗板头左右方向和垂直方向运动的运动机构构成的洗板机，其特征在于：所述托盘上方设有微板检测传感器；所述微板检测传感器通过导线与控制驱动器连接。这种自动微板检测洗板机的利用设置在带自动排液功能的托盘上方设置的微板检测传感器来适时检测托盘中是否置有微盘，当微板检测传感器未检测到微板时，即可将获取的信息发送到接控制驱动器，由控制驱动器中断洗板机运行
一种自动检测板机

[实用新型]一种高分辨率和宽动态范围的MEMS谐振式电荷传感器-CN201520690372.1有效
发明人：谢金;赵久烜;倪晟;丁弘;傅立峰 -专利权人：浙江大学
申请日： 2015-09-08 - 公布日： 2016-03-02 - 主分类号： G01D5/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高分辨率和宽动态范围的MEMS谐振式电荷传感器。它包括微谐振器单元、柔性微杠杆、电荷输入极板和微驱动器四个模块，微谐振器单元一端固定，另一端与柔性微杠杆相连，柔性微杠杆与电荷输入极板间形成小电容值的固定电容，微驱动器与电荷输入极板间形成调节电容，所述的调节电容通过微驱动器的移动实现，微驱动器的移动部分与微谐振器单元共地。在输入电荷量大小不同的情况下，通过反馈控制改变调节电容值的大小，从而使电荷输入极板与柔性微杠杆之间始终保持大小合理的电势差，保证微谐振器单元输出信号强度的同时，避免了电压过高对器件的损坏，实现了高分辨率和宽动态范围的电荷测量
一种高分辨率动态范围 mems 谐振电荷传感器

[发明专利]灯管驱动电路-CN200710138026.2无效
发明人：辜正隆 -专利权人：辜正隆;昶龙光电国际有限公司
申请日： 2007-08-02 - 公布日： 2008-02-13 - 主分类号： H05B41/36 文献下载
摘要：本发明是有关于一种灯管驱动电路，包含一微处理单元、一浮动式电源驱动器及一驱动单元，其中该微处理单元及浮动式电源驱动器皆为独立的集成电路(IC)且以常压制程制出，该浮动式电源驱动器是通过至少一独立的高压耦合电容耦接至前述微处理单元，而无与微处理单元共用相同接地；微处理单元与浮动式电源驱动器是分别提供至少一低侧驱动脉冲输出接脚、一高侧驱动脉冲输出接脚以控制驱动单元中的功率晶体管，令功率晶体管适时导通/关闭而使得一连接于该驱动单元的灯管能顺利由一驱动高压点亮
灯管驱动电路

[发明专利]一种红外辐射场景转换系统和方法-CN201810775477.5有效
发明人：赵宏鸣;杜渐;张兴;高阳;杜惠杰;张盈;虞红 -专利权人：北京仿真中心
申请日： 2018-07-16 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： H04N5/33 文献下载
摘要：该系统包括：黑体辐射源、能量调制微镜阵列、能量调制微镜阵列驱动器、光学分束器、成像微镜阵列A、成像微镜阵列驱动器A、A波段滤光片、成像微镜阵列B、成像微镜阵列驱动器B、B波段滤光片、视频解码电路和光学合束器黑体辐射源提供红外辐射能量；能量调制微镜阵列在能量调制微镜阵列驱动器的驱动作用下对红外辐射能量进行调制，调制完成的红外能量经过光学分束器被分成透射光路和反射光路，分别进入成像微镜阵列A和成像微镜阵列B进行调制；调制后输出能量分别经A波段滤光片和B波段滤光片筛选输出，并经过光学合束器融合输出，获得所需的短积分时间高灰度级分波段红外辐射场景。
一种红外辐射场景转换系统方法

[实用新型]双微镜旋转扫描器件-CN201220240895.2有效
发明人：徐英舜 -专利权人：凝辉(天津)科技有限责任公司
申请日： 2012-05-28 - 公布日： 2013-04-17 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：一种双微镜旋转扫描器件，它包括微驱动器、平面弹簧、环形镜片和圆形镜片。微驱动器的输出端与平面弹簧的输入端相连，平面弹簧的输出端分别与环形镜片和圆形镜片的输入端相连；每个器件包括1个环形镜片、1个圆形镜片、8个平面弹簧和8个微驱动器，环形镜片和圆形镜片各与4个平面弹簧相连，每个平面弹簧与1个微驱动器相连；本实用新型基于目前现有材料和微加工工艺，可以获得90度的光学反射角度，并完成360度圆周扫描并且明显缩短了扫描器件的轴向长度。
双微镜旋转扫描器件

[发明专利]外壳提供轴向磁场的带有二级微位移放大机构的促动器-CN201910715691.6在审
发明人：郝宏波;乔禹;张光睿;梁雨萍;王婷婷;田若楠 -专利权人：包头稀土研究院;瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司
申请日： 2019-08-05 - 公布日： 2019-11-22 - 主分类号： H02N2/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种外壳提供轴向磁场的带有二级微位移放大机构的促动器，包括：不导磁外壳、导磁框架、励磁线圈、组合体、二级微位移放大机构、输出杆、上端盖。本发明采用了基于柔性铰链的二级微位移放大机构，对原驱动器的位移进行了放大，有效地增加了驱动器的输出位移，在同等输出条件的前提下减小了驱动器的体积，使得驱动器小型化。
驱动器微位移放大机构不导磁外壳导磁框架励磁线圈柔性铰链输出条件输出位移轴向磁场促动器上端盖输出杆有效地组合体减小放大

[发明专利]外壳提供轴向磁场的带有三级微位移放大机构的促动器-CN201910715679.5在审
发明人：乔禹;郝宏波;田若楠;王婷婷;梁雨萍;张光睿 -专利权人：包头稀土研究院;瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司
申请日： 2019-08-05 - 公布日： 2019-11-12 - 主分类号： H02N2/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种外壳提供轴向磁场的带有三级微位移放大机构的促动器，包括：不导磁外壳、导磁框架、励磁线圈、组合体、三级微位移放大机构、输出杆、上端盖。本发明采用了基于柔性铰链的三级微位移放大机构，对原驱动器的位移进行了放大，有效地增加了驱动器的输出位移，在同等输出条件的前提下减小了驱动器的体积，使得驱动器小型化。
微位移放大机构驱动器轴向磁场促动器不导磁外壳导磁框架励磁线圈柔性铰链输出条件输出位移上端盖输出杆有效地组合体减小放大

[发明专利]具有飞行高度调节装置的磁头折片组合、硬盘驱动器及其制造方法-CN200410037171.8无效
发明人：姚明高;白石一雅 -专利权人：新科实业有限公司
申请日： 2004-06-05 - 公布日： 2005-12-14 - 主分类号： G11B21/21 文献下载
摘要：在本发明中，所述磁头折片组合进一步包括一个用以在水平方向上调整磁头的位置的微驱动器。所述微驱动器为收缩型微驱动器或金属框架型微驱动器。本发明同时公开了该磁头折片组合的制造方法，及使用该磁头折片组合的硬盘驱动器结构及其制造方法。
具有飞行高度调节装置磁头组合硬盘驱动器及其制造方法