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[发明专利]一种多光束准同步激光封装装置及方法-CN201410603985.7有效
发明人：朱树存 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2014-11-03 - 公布日： 2018-08-14 - 主分类号： H01L21/56 文献下载
摘要：本发明公开一种多光束准同步激光封装装置，其特征在于，包括：一激光光源，用于提供一激光光束；一双轴偏转微镜阵列，该双轴偏转微镜阵列包括若干绕X轴或Y轴转动的微反射镜面，该双轴偏转微镜阵列用于将该激光光束分为预设形状的多光束；一振镜，该多光束进入该振镜后形成多个封装光束至一工件表面；一控制单元，该控制单元与该双轴偏转微镜阵列和振镜连接，用于控制所述双轴偏转微镜阵列和振镜输出。
一种光束同步激光封装装置方法

[发明专利]双轴阵列反射式MEMS芯片及照明系统-CN201911006037.4在审
发明人：郭田忠;戈斌;朱明华 -专利权人：华域视觉科技（上海）有限公司
申请日： 2019-10-22 - 公布日： 2021-04-23 - 主分类号： G03B21/00 文献下载
摘要：本发明涉及智能照明技术领域，尤其涉及一种双轴阵列反射式MEMS芯片及一种包括该双轴阵列反射式MEMS芯片的照明系统。该双轴阵列反射式MEMS芯片包括多个呈阵列式分布的MEMS微镜和多个MEMS微镜驱动电路，MEMS微镜对投射光线进行反射，多个MEMS微镜驱动电路与多个MEMS微镜一一对应地相连接并驱动每个MEMS微镜单独绕MEMS微镜与投射光线相垂直的横向轴或纵向轴转动。每个MEMS微镜均可在相应MEMS微镜驱动电路的驱动下实现双轴转动，由此可改变各个MEMS微镜的镜面方向，由光源发出的光线投射在MEMS微镜阵列上并经MEMS微镜阵列反射后射出，形成照明光型，通过改变各个MEMS微镜的镜面方向，即可改变照明光型的上下高度或左右位置，从而实现上下调光和左右调光功能。
阵列反射 mems 芯片照明系统

[实用新型]双轴阵列反射式MEMS芯片及照明系统-CN201921777150.8有效
发明人：郭田忠;戈斌;朱明华 -专利权人：华域视觉科技（上海）有限公司
申请日： 2019-10-22 - 公布日： 2020-04-28 - 主分类号： G03B21/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及智能照明技术领域，尤其涉及一种双轴阵列反射式MEMS芯片及一种包括该双轴阵列反射式MEMS芯片的照明系统。该双轴阵列反射式MEMS芯片包括多个呈阵列式分布的MEMS微镜和多个MEMS微镜驱动电路，MEMS微镜对投射光线进行反射，多个MEMS微镜驱动电路与多个MEMS微镜一一对应地相连接并驱动每个MEMS微镜单独绕MEMS微镜与投射光线相垂直的横向轴或纵向轴转动。每个MEMS微镜均可在相应MEMS微镜驱动电路的驱动下实现双轴转动，由此可改变各个MEMS微镜的镜面方向，由光源发出的光线投射在MEMS微镜阵列上并经MEMS微镜阵列反射后射出，形成照明光型，通过改变各个MEMS微镜的镜面方向，即可改变照明光型的上下高度或左右位置，从而实现上下调光和左右调光功能。
阵列反射 mems 芯片照明系统

[发明专利]基于双旋转微镜的光学扫描探针-CN201210167500.5有效
发明人：徐英舜 -专利权人：凝辉(天津)科技有限责任公司
申请日： 2012-05-28 - 公布日： 2012-09-19 - 主分类号： A61B5/00 文献下载
摘要：一种基于双旋转微镜的光学扫描探针，它包括双旋转微镜，微光学系统和硅光学平台，其中双旋转微镜包括微驱动器、平面弹簧、环形镜片和圆形镜片。微驱动器的输出端与平面弹簧的输入端相连，平面弹簧的输出端分别与环形镜片和圆形镜片的输入端相连；微光学系统包括自聚焦透镜和单模光纤；硅光学平台用于校准和固定微光学系统，并为双旋转微镜提供电气连接；经过微光学系统传输和聚焦的入射光束经双旋转微镜偏转90度后垂直入射到成像目标，由成像目标反射回来的光束经双旋转微镜偏转90度后由微光学系统收集并传输到外部光学成像系统。
基于旋转光学扫描探针

[实用新型]基于双旋转微镜的光学扫描探针-CN201220241785.8有效
发明人：徐英舜 -专利权人：凝辉(天津)科技有限责任公司
申请日： 2012-05-28 - 公布日： 2013-05-08 - 主分类号： A61B1/05 文献下载
摘要：一种基于双旋转微镜的光学扫描探针，它包括双旋转微镜，微光学系统和硅光学平台，其中双旋转微镜包括微驱动器、平面弹簧、环形镜片和圆形镜片。微驱动器的输出端与平面弹簧的输入端相连，平面弹簧的输出端分别与环形镜片和圆形镜片的输入端相连；微光学系统包括自聚焦透镜和单模光纤；硅光学平台用于校准和固定微光学系统，并为双旋转微镜提供电气连接；经过微光学系统传输和聚焦的入射光束经双旋转微镜偏转90度后垂直入射到成像目标，由成像目标反射回来的光束经双旋转微镜偏转90度后由微光学系统收集并传输到外部光学成像系统。
基于旋转光学扫描探针

[实用新型]一种水冷式双压电变形镜-CN201420010286.7有效
发明人：张凯;徐宏来;雒仲祥;何忠武;李国会;关有光;杨媛;杜应磊;向汝建 -专利权人：中国工程物理研究院应用电子学研究所
申请日： 2014-01-08 - 公布日： 2014-07-09 - 主分类号： G02B26/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种水冷式双压电变形镜，包括水冷式双压电变形镜主体和水冷式双压电变形镜镜架，所述的水冷式双压电变形镜主体设置于水冷式双压电变形镜镜架内，水冷式双压电变形镜包括反射镜一、反射镜二、压电晶片一、压电晶片二、电极引线、变形镜支撑件、微通道一；水冷式双压电变形镜镜架包括前盖板、后盖板和微通道二，镜架前盖板上设置的微通道二与反射镜二上的微通道一一对应，通水后，通过流水带走反射镜一外表面上的热量，即可实现变形镜的水冷功能；通过采用主动冷却控制技术，实现了强光系统中校正激光束像差的功能，该变形镜可拟合不同类型的像差，波前校正空间分辨率高，结构简单，成本低、工艺简单。
一种水冷压电变形

[发明专利]双极型电磁式扫描微镜-CN201210170261.9无效
发明人：尚正国;李东玲;温志渝;陈李;温中泉 -专利权人：重庆大学
申请日： 2012-05-29 - 公布日： 2012-10-03 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种双极型电磁式扫描微镜，是以硅基材料为衬底，采用MEMS工艺，加工出含有微反射镜面2、双极型电磁微驱动器4、扭转梁1、角度传感器3、双极型电磁微驱动器线圈连接极5以及支撑框架6的双极型电磁式扫描微镜本发明采用双极型驱动方式对微镜进行驱动，可实现吸引力和排斥力同时作用于扭转梁上，在较低的驱动电压下实现微镜的大角度扫描；由于采用双极型电磁式驱动的结构，使得其响应时间大大缩短，极大地提高了微镜的工作频率；同时集成了电磁式角度传感器，实现扫描角度的精确测量，因此该扫描微镜外围信号处理电路简单易行，其成果可广泛应用于医学成像、投影仪、光谱仪及图形码阅读器等领域。
双极型电磁式扫描

[发明专利]一种基于数字微镜器件的微流控芯片加工与检测实验装置-CN201210517515.X有效
发明人：丁翔宇;任煜轩;卢荣德 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2012-12-06 - 公布日： 2013-03-13 - 主分类号： G01N21/17 文献下载
摘要：一种基于数字微镜器件的微流控芯片加工与检测实验装置，包括紫外LED光源、第一双凸透镜、第一反射镜、DMD器件、双色镜、第一显微镜物镜、三维电动平台、第二显微镜物镜、第二双凸透镜、白光LED光源、第二反射镜、滤光镜、第三双凸透镜、CCD相机以及计算机。该实验装置能够有效的工作在光刻胶曝光、微流控芯片可见光和紫外荧光检测两个模式；所述的计算机通过信号线分别与紫外LED光源、白光LED光源、DMD器件、三维电动平台、CCD相机相连。本发明既可以实现微流控芯片制作过程中微流道图样的软光刻曝光，也可以实现对微流控芯片中微量样品的可见光和紫外荧光实时检测。
一种基于数字器件微流控芯片加工检测实验装置

[实用新型]一种基于MEMS微振镜技术的激光散斑消除装置-CN201920045431.8有效
发明人：金传广;杜先鹏;郭俊兴;代启强;周印伟 -专利权人：青岛小优智能科技有限公司
申请日： 2019-01-11 - 公布日： 2019-08-23 - 主分类号： G02B27/48 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于MEMS微振镜技术的激光散斑消除装置，包括外壳和沿光路依次分布设置的半导体激光器、激光整形系统、双轴MEMS微振镜、反馈系统和驱动控制系统，半导体激光器产生的光束，通过激光整形系统整形后通过双轴MEMS微振镜对外进行投射。双轴MEMS微振镜消除激光散斑，结构简单，而且对激光光源的波长没有要求，任意波长的激光均可实现消散斑效果；双轴MEMS微振镜的X轴做扫描运动，获得所需模式的结构光，结构光模式不限；双轴MEMS微振镜的Y
微振双轴激光散斑消除装置半导体激光器激光整形系统波长量级波长镜面法线方向驱动控制系统本实用新型结构光模式消散斑效果反馈系统分布设置高频振动激光光源激光散斑扫描光栅扫描模组扫描运动振动幅度振动频率高光束结构光整形光路建模投射激光

[发明专利]一种压电驱动的真空密封微镜-CN202110166995.9有效
发明人：彭磊;白民宇;李晓晓;周少玮;刘青峰;刘超;周翔;马力;雷洁 -专利权人：西安知象光电科技有限公司
申请日： 2021-02-05 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种压电驱动的真空密封微镜，自下而上依次由基板、背腔板、隔离层、结构层以及前腔板连接构成。微镜内部具有真空腔体，结构层中的可动部分位于该真空腔体内；可动部分的振动均发生在真空环境中，不产生结构与空气相互作用的噪声，同时结构内部的微弱振动由于处于真空环境而无法通过空气传导至微镜外。微镜的结构层包括单轴和双轴两种形式，分别对应单轴微镜和双轴微镜。微镜采用压电驱动。本发明微镜采用一体化微纳制造工艺制备，实现了芯片级的真空密封，极大降低乃至消除了噪声，同时芯片体积小，结构紧凑，适用范围大。
一种压电驱动真空密封

[发明专利]一种基于激光共聚焦和明场显微镜的多功能粒子图像测速仪-CN201210173965.1有效
发明人：任煜轩;龚雷;何立群 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2012-05-30 - 公布日： 2012-10-03 - 主分类号： G01P5/20 文献下载
摘要：一种基于激光共聚焦和明场显微镜的多功能粒子图像测速仪，该仪器包括激光器、第一双凸透镜、第二双凸透镜、扫描反射镜、第三双凸透镜、小孔、第四双凸透镜、可翻转反射镜、第一显微镜物镜、二维电动平台、第二显微镜物镜、第五双凸透镜、光发射二极管、第六双凸透镜、相机以及计算机，该装置能够有效地工作在激光共聚焦和明场照明两个模式；所述的计算机通过信号线分别与微流道样品池控制台、相机相连。本发明既可实现对微流体进行明场成像，也可实现对微流体中某个微区的荧光示踪粒子进行激光共聚焦成像。
一种基于激光聚焦显微镜多功能粒子图像测速

[发明专利]基于数字微镜器件衍射效应的微透镜阵列制备与检测装置-CN201910670607.3在审
发明人：方兆翔;卢荣德 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2019-07-24 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于数字微镜器件衍射效应的微透镜阵列制备与检测装置，该装置包括紫外LED光源、氦氖激光器光源、DMD器件、扩束器、第一双凸透镜、空间滤波器、第二双凸透镜、第三双凸透镜、双色镜、显微镜物镜、三维电动平台、第四双凸透镜以及CCD相机。该装置能有效地工作在光刻胶曝光和微透镜光学性能检测两个模式；所述的计算机通过信号线分别与紫外LED光源、氦氖激光器光源、DMD器件、三维电动平台、CCD相机相连。本发明既可以实现在光刻微加工中的微透镜阵列制备，也可以实现对微透镜阵列结构的光学性能进行检测。
双凸透镜微透镜阵列制备氦氖激光器光源三维电动平台数字微镜器件紫外LED光源检测装置衍射效应微透镜阵列结构光学性能检测空间滤波器显微镜物镜光学性能光刻胶扩束器双色镜微加工微透镜信号线有效地光刻曝光计算机检测

[发明专利]一种基于双光纤椭圆光斑准直器的2×2MEMS光开关-CN200810203285.3有效
发明人：吴亚明;黄占喜 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2008-11-25 - 公布日： 2009-04-15 - 主分类号： G02B6/35 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于双光纤椭圆光斑准直器的2×2MEMS光开关。其特征在于：(1)光开关采用一对双光纤椭圆光斑准直器和MEMS微镜耦合而成；(2)双光纤椭圆光斑准直器的出射光束束腰光斑为椭圆形光斑，即在两个互相垂直方向上的光斑半径不相等；(3)双光纤椭圆光斑准直器的准直透镜包含柱面，将圆形光斑变成椭圆光斑；(4)准直透镜表面镀增透膜以增加回波损耗；(5)椭圆光斑准直器为双光纤准直器，输入光纤为双光纤；(6)MEMS微镜为MEMS梳齿驱动平动微镜；(7)MEMS微镜放置在椭圆光斑准直器出射光束的束腰位置本发明可以大大减小2×2光开关对MEMS微镜驱动行程的要求，几十微米的行程即可获得足够低的光信号串扰。
一种基于光纤椭圆光斑准直器 mems 开关

[发明专利]基于MEMS扫描微镜的双通过光栅单色仪光路结构-CN201610308908.8在审
发明人：张尹馨;庞亚军;黄战华;赵健;盖叶 -专利权人：天津大学
申请日： 2016-05-10 - 公布日： 2016-10-12 - 主分类号： G01J3/18 文献下载
摘要：本发明属于光谱测量仪器领域，为提供一种基于MEMS扫描微镜的双通过光栅单色仪光路结构。本发明‑基于MEMS扫描微镜的双通过光栅单色仪光路结构，由光环形器，光纤信号输入端口，入射光纤端口，准直与聚焦镜，MEMES微镜，光栅，平面反射镜和出射光纤端口组成；光纤信号输入端口连接光环行器的第一端口,光信号经过光环行器的第二端口从入射光纤端口进去自由空间，经过双胶合透镜准直以后照射到MEMS微镜上，MEMS微镜将光信号反射到光栅上进行第一次衍射分光，紧接着平面反射镜将光信号按原路反射回光栅进行第二次衍射
基于 mems 扫描通过光栅单色仪结构

[发明专利]光开关和光开关阵列-CN201310318016.2在审
发明人：张鹏;章春晖 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2013-07-25 - 公布日： 2015-02-11 - 主分类号： G02B6/35 文献下载
摘要：该光开关包括：双光纤准直器、单光纤准直器和可调微镜，可调微镜设置在双光纤准直器与单光纤准直器之间；双光纤准直器包括双光纤尾纤和第一微透镜，双光纤尾纤包括第一光纤和第二光纤；单光纤准直器包括单光纤尾纤和第二微透镜，单光纤尾纤包括第三光纤；在第一光纤为输入光纤、第二光纤为输出光纤、第三光纤为输出光纤的情况下，若可调微镜处于第一状态，则第一光纤输出的光信号入射至第三光纤，若可调微镜处于第二状态，则第一光纤输出的光信号反射至第二光纤
开关阵列

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