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[实用新型]微镜-CN200520005839.0无效
发明人：王升平;张毓华;陈斐筠;何大椿;陈加强 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2005-03-10 - 公布日： 2006-07-12 - 主分类号： G02B26/00 文献下载
摘要：一种微镜，包括一基板、一反射层以及一保护层。反射层成形于基板上，并且包括有纯铝。保护层成形于反射层上，并且包括有氮化钛。
微镜

[发明专利]微镜-CN201280063913.7有效
发明人： H·尼切;F·恩吉卡姆恩吉蒙齐;W·朔克;Z·莱什詹;J·穆霍;H·格鲁茨埃克 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2012-10-23 - 公布日： 2018-02-23 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种微镜，其具有第一层(200)和第二层(300)，所述第一层具有第一主延伸层面，所述第二层具有第二主延伸层面，其中所述第一主延伸层面与所述第二主延伸层面相互平行地设置；其中所述第一层(200)与所述第二层(300)通过至少一个连接区域(23)局部地相互连接；其中在所述第一层(200)中构造有至少一个弹簧元件(202)；其中在所述第二层(300)中构造有可移动地悬挂的镜板(305)；其中所述镜板305)在平行于所述主延伸层面的第一侧(30)上具有镜面并且在相对置的第二侧(20)上通过所述连接区域(23)与所述弹簧元件(202)的固定部(210)连接其中所述弹簧元件(202)的一部分能够相对于所述镜板(305)移动地设置在所述镜板(305)的第二侧(20)上。本发明也涉及一种具有这样的微镜的2镜系统。
微镜

[发明专利]一种光瞳监测系统-CN202310055356.4在审
发明人：胡敬佩;黄惠杰 -专利权人：上海镭望光学科技有限公司
申请日： 2023-01-16 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种光瞳监测系统，包括：平行光光源、第一微镜阵列、第二微镜阵列、光斑位置监测装置和光束吸收装置；第一微镜阵列将平行光光源照射的光束整体反射至第二微镜阵列；根据第二微镜阵列中的待调节微镜，控制第一微镜阵列中与第二微镜阵列中待调节微镜对应的微镜处于第一状态，控制第一微镜阵列中的其他微镜处于第二状态，使第一微镜阵列中处于第一状态的微镜将平行光光源照射的光束反射至第二微镜阵列中的待调节微镜上，及第一微镜阵列中处于第二状态的微镜将平行光光源照射的光束反射至光束吸收装置，以使光斑位置监测装置监测第二微镜阵列中的待调节微镜反射光束的光斑位置。
一种监测系统

[发明专利]一种二维MEMS微镜驱动控制系统和方法-CN201710796233.0有效
发明人：李志峰;张力;李建华;牛振红;束逸;孟刚;水涌涛;刘佳琪;刘鑫;刘洪艳;高路;赵巨岩;杜润乐;薛莲;薛峰;赵茜;蔡雯琳;方艺忠;尹含;张鹏;汪大鹏 -专利权人：北京航天长征飞行器研究所;中国运载火箭技术研究院
申请日： 2017-09-06 - 公布日： 2020-05-12 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种二维MEMS微镜驱动控制系统和方法，其中，所述系统包括：数字控制器、第一DAC、微镜偏转驱动回路和MEMS微镜芯片；MEMS微镜芯片，包括：MEMS微镜；数字控制器，用于从接收到的外部指令中提取得到偏转角度指令，对偏转角度指令进行解码，得到MEMS微镜驱动数字波形；第一DAC，用于将MEMS微镜驱动数字波形转换为MEMS微镜驱动模拟波形；微镜偏转驱动回路，用于将MEMS微镜驱动模拟波形，转换为MEMS微镜驱动电流；MEMS微镜，用于在MEMS微镜驱动电流的驱动作用下进行偏转。通过本发明提高了磁驱动模式MEMS微镜的指向控制精度。
一种二维 mems 驱动控制系统方法

[发明专利]基于MEMS微镜的车灯调光方法和系统、车灯总成及汽车-CN201710582024.6在审
发明人：戈斌;郭田忠;于世杰;朱明华 -专利权人：上海小糸车灯有限公司
申请日： 2017-07-17 - 公布日： 2017-11-24 - 主分类号： F21S8/10 文献下载
摘要：本发明涉及汽车车灯技术领域，尤其涉及一种基于MEMS微镜的车灯调光方法和系统、车灯总成及汽车。所述车灯调光方法为将光源发出的光线投射到MEMS微镜阵列上，使光线经来回转动的MEMS微镜反射后射出，通过调节MEMS微镜的预设振幅调节照明光型。所述车灯调光系统包括灯体，灯体内设有光源和MEMS微镜阵列，MEMS微镜阵列包括MEMS微镜座、多个呈阵列式分布且可活动地设于MEMS微镜座上的MEMS微镜以及驱动MEMS微镜在MEMS微镜座上转动的MEMS微镜驱动电路；光源发出的光线投射在MEMS微镜阵列上并经来回转动的MEMS微镜反射后射出。
基于 mems 车灯调光方法系统总成汽车

[发明专利]计算机存储介质、激光雷达系统及其同步方法-CN202011549175.X在审
发明人：沈文江;周鹏;李小光;史庆刚 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2020-12-24 - 公布日： 2021-04-23 - 主分类号： G01S7/481 文献下载
摘要：本发明提供了一种计算机存储介质、激光雷达系统及其同步方法，激光雷达系统包括激光源、第一MEMS微镜、第二MEMS微镜以及探测器，所述同步方法包括：将第一MEMS微镜和第二MEMS微镜平行放置；实时获取第一MEMS微镜、第二MEMS微镜的反馈信号；判断第二MEMS微镜的反馈信号与第一MEMS微镜的反馈信号是否相同；若第二MEMS微镜的反馈信号与第一MEMS微镜的反馈信号不同，则调节第一MEMS微镜、第二MEMS微镜的驱动信号，以使得第二MEMS微镜的反馈信号与第一MEMS微镜的反馈信号相同。
计算机存储介质激光雷达系统及其同步方法

[实用新型]基于MEMS微镜的车灯调光系统、车灯总成及汽车-CN201720865149.5有效
发明人：戈斌;郭田忠;于世杰;朱明华 -专利权人：上海小糸车灯有限公司
申请日： 2017-07-17 - 公布日： 2018-02-06 - 主分类号： F21S41/36 文献下载
摘要：本实用新型涉及汽车车灯技术领域，尤其涉及一种基于MEMS微镜的车灯调光方法和系统、车灯总成及汽车。所述车灯调光方法为将光源发出的光线投射到MEMS微镜阵列上，使光线经来回转动的MEMS微镜反射后射出，通过调节MEMS微镜的预设振幅调节照明光型。所述车灯调光系统包括灯体，灯体内设有光源和MEMS微镜阵列，MEMS微镜阵列包括MEMS微镜座、多个呈阵列式分布且可活动地设于MEMS微镜座上的MEMS微镜以及驱动MEMS微镜在MEMS微镜座上转动的MEMS微镜驱动电路；光源发出的光线投射在MEMS微镜阵列上并经来回转动的MEMS微镜反射后射出。
基于 mems 车灯调光系统总成汽车

[发明专利]一种红外辐射场景转换系统和方法-CN201811301250.3在审
发明人：赵宏鸣;杜渐;张兴;杜惠杰;高阳;虞红;张盈 -专利权人：北京仿真中心
申请日： 2018-11-02 - 公布日： 2019-04-05 - 主分类号： G01M11/00 文献下载
摘要：该系统包括：黑体辐射源、能量调制微镜阵列、能量调制微镜阵列驱动器、成像微镜阵列、成像微镜阵列驱动器、视频解码电路；黑体辐射源，提供红外辐射能量；能量调制微镜阵列，在能量调制微镜阵列驱动器的驱动下，对来自黑体辐射源的红外辐射能量进行调制，将调制后的能量反射至成像微镜阵列；视频解码电路，向成像微镜阵列驱动器提供视频信号；成像微镜阵列驱动器，根据视频信号驱动成像微镜阵列；成像微镜阵列，在成像微镜阵列驱动器的驱动下，对来自能量调制微镜阵列的调制后能量进行调制
微镜阵列成像微镜阵列驱动器能量调制调制黑体辐射源红外辐射红外辐射能量视频解码电路场景转换红外图像模拟视频信号驱动驱动高灰度级能量反射视频信号场景申请

[发明专利]一种微机电系统微镜封装-CN201110234200.X有效
发明人：周亮;谢会开 -专利权人：无锡微奥科技有限公司
申请日： 2011-08-16 - 公布日： 2011-12-28 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公布了一种利用微机电系统微镜自身外围框架对微机电系统微镜进行圆片级的叠层密封封装，其特征在于：该封装包括顶层透光盖片，中间层微机电系统微镜，底层基底；所述微机电系统微镜包括微镜本体和微镜四周硅框架，所述顶层透光盖片下表面与所述微镜四周硅框架形成可容纳所述微镜本体活动的腔体，所述底层基底用于支持所述微机电系统微镜并与所述顶层透光盖片、微镜四周硅框架键和底层基底形成密闭腔体，所述微镜本体设置于上述密闭腔体内该封装结构为微机电系统微镜的最小封装结构，且生产效率高，成本较低，微镜抗干扰能力强，使用寿命长。
一种微机系统封装

[发明专利]MEMS微镜结构-CN201810379658.6在审
发明人：程进;徐乃涛;孙其梁;汤红;臧寿兵 -专利权人：中科芯集成电路股份有限公司
申请日： 2018-04-25 - 公布日： 2018-07-27 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种微镜结构，尤其是一种MEMS微镜结构，属于MEMS封装结构的技术领域。按照本发明提供的技术方案，所述MEMS微镜结构，包括制备于微镜框架内的微镜镜面，所述微镜镜面通过微镜驱动结构与微镜框架适配连接；还包括用于驱动控制微镜镜面的镜面驱动控制体，微镜框架通过框架锡球焊接固定在镜面驱动控制体上，镜面驱动控制体通过框架锡球、微镜框架以及微镜驱动结构与微镜镜面电连接。
微镜镜面镜面驱动控制体微镜驱动锡球封装结构工艺兼容焊接固定驱动控制适配连接电连接制备封装

[发明专利]数字微镜阵列芯片制备方法及数字微镜阵列芯片-CN202210914727.5有效
发明人：张炜 -专利权人：加维纳米（北京）科技有限公司
申请日： 2022-08-01 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本说明书实施例提供了一种数字微镜阵列芯片制备方法及数字微镜阵列芯片，其中，方法包括：根据所需要的入射光调制目标设计所需的微镜结构和阵列排布，并根据设计的所述微镜结构和阵列排布在纳米薄膜上加工数字微镜阵列；根据所述微镜结构、所述阵列排布以及所需的入射光调制目标在微镜结构处制备对单个微镜结构独立控制的外部驱动电路；将所述数字微镜阵列和所述外部驱动电路进行封装，形成数字微镜阵列芯片。
数字阵列芯片制备方法

[发明专利]一种高斯转平顶紫外激光整形镜头系统-CN202310651652.0有效
发明人：张博;刘玉伟;孙文俊;赵刚;陈龙飞;李晓营;王艳军;张品祥;刘琴;孟德文 -专利权人：河南百合特种光学研究院有限公司
申请日： 2023-06-05 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G02B27/09 文献下载
摘要：本发明公开了一种高斯转平顶紫外激光整形镜头系统，包括扩束镜组件、微透镜阵列组件和场镜组件，扩束镜组件包括扩束镜和扩束镜安装座，扩束镜固定在扩束镜安装座上，微透镜阵列组件包括不可调微透镜阵列镜座、可调微透镜阵列镜座、第一片微透镜阵列、第二片微透镜阵列和微透镜调节滑座，扩束镜出口端与不可调微透镜阵列镜座固定连接，第一片微透镜阵列安装在不可调微透镜阵列镜座内，第二片微透镜阵列安装在可调微透镜阵列镜座内；第一片微透镜阵列为固定状态，利用第二片微透镜阵列可做X\Y\Z三方向和旋转调整；并对光束进行校正，并通过对场镜镜筒X\Y方向位移及旋转方向的调整，来实现场镜与整形光路的光轴重合，使光束汇聚到同一个区域。
一种高斯转平顶紫外激光整形镜头系统

[实用新型]MEMS微镜结构-CN201820598607.8有效
发明人：程进;徐乃涛;孙其梁;汤红;臧寿兵 -专利权人：中科芯集成电路股份有限公司
申请日： 2018-04-25 - 公布日： 2018-11-16 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种微镜结构，尤其是一种MEMS微镜结构，属于MEMS封装结构的技术领域。按照本实用新型提供的技术方案，所述MEMS微镜结构，包括制备于微镜框架内的微镜镜面，所述微镜镜面通过微镜驱动结构与微镜框架适配连接；还包括用于驱动控制微镜镜面的镜面驱动控制体，微镜框架通过框架锡球焊接固定在镜面驱动控制体上，镜面驱动控制体通过框架锡球、微镜框架以及微镜驱动结构与微镜镜面电连接。
微镜本实用新型镜面镜面驱动控制体微镜驱动锡球封装结构工艺兼容焊接固定驱动控制适配连接电连接制备封装

[发明专利]具散热结构的数字微镜装置-CN201710576290.8有效
发明人：张盟胜;王晖雄 -专利权人：台达电子工业股份有限公司
申请日： 2017-07-14 - 公布日： 2021-05-04 - 主分类号： G03B21/16 文献下载
摘要：本发明为一种具散热结构的数字微镜装置，数字微镜单元设置在电路板的一侧面并具有受光面，数字微镜装置屏蔽框罩在受光面的外侧周缘上，隔热元件设置在数字微镜单元的外侧周缘及数字微镜装置屏蔽之间，数字微镜单元通过隔热元件而不致热导接数字微镜装置屏蔽，致冷芯片设置在电路板的另一侧面并热导接数字微镜单元，导热体接触致冷芯片的致热面；据此，隔热元件可阻隔温度传导至数字微镜单元，使致冷芯片及导热体可对数字微镜单元进行散热而符合安规标准，避免降低数字微镜单元的使用寿命
散热结构数字装置

[发明专利]电磁微镜及激光设备-CN201910316993.6有效
发明人：赵飞 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2019-04-19 - 公布日： 2022-02-15 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本申请提供一种电磁微镜及激光设备。磁微镜包括微镜芯片及磁体装置。微镜芯片包括支撑框架、微镜、三个悬臂及至少三个线圈。微镜通过三个悬臂与支撑框架连接。至少三个线圈设于微镜或者三个悬臂上。线圈在通电时产生的磁场与磁体装置产生的磁场相互作用，使得微镜相对支撑框架转动。由于微镜通过三个悬臂直接与支撑框架活动连接，减少了振动部分的等效质量，从而提高了微镜的谐振频率。
电磁激光设备

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