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[发明专利]一种微镜用扭梁及具有该扭梁的电磁式扫描微镜-CN202110852470.0有效
发明人：顾雯雯;涂旭 -专利权人：西南大学
申请日： 2021-07-27 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： G02B26/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种弯折梁及具有该弯折梁的电磁式扫描微镜，属于微光机电系统领域。该弯折梁的中间部分经多次弯折形成近回形结构。通过两个弯折梁将微镜板悬置连接在固定边框内侧，微镜板能够绕弯折梁轴线进行偏转。弯折梁能够有效降低梁的扭转刚度，提升扫描微镜的机械扫描性能，还能起到缓冲作用，提高了器件的抗振动和抗冲击能力，从而弯折梁可以支撑较大尺寸的扫描微镜。可以与微镜板的厚度相同，这不仅减小了器件的加工时间和加工难度，提高加工效率，同样有助于提高器件的结构可靠性。微镜板背面掏槽以减重，提高器件在环境振动中的稳定性，减少谐振频率。利用MEMS技术将固边边框、微镜板与弯折梁集成在一起，工艺简单。
一种微镜用扭梁具有电磁式扫描

[发明专利]一种探测方法及装置-CN202180002249.4有效
发明人：王洪亮;王伟;张爱娟;余安亮;王曰孟;安凯;苏日亮;杜秉乘 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2021-03-24 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： G01S7/481 文献下载
摘要：该探测装置包括扫描系统，该扫描系统包括微反射镜阵列，该微反射镜阵列包括M个微反射镜。该探测装置还包括P个收发模组，P个收发模组发送的光信号通过M个微反射镜反射，和/或，P个收发模组接收经由M个微反射镜反射的光信号。P个收发模组无需通过一个微反射镜来收发信号，而是可以通过M个微反射镜来收发信号，这样就减小了微反射镜所反射的光信号所构成的点云的畸变程度，提高了探测装置所收发的光信号的准确性。
一种探测方法装置

[发明专利]一种投影系统-CN202111434000.9有效
发明人：车玉彩;鲁公涛 -专利权人：歌尔光学科技有限公司
申请日： 2021-11-29 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： G02B27/01 文献下载
摘要：本申请实施例公开了一种投影系统，包括第一数字微反射镜、第二数字微反射镜、光轴、第一镜片组、变光单元、第一投影像面和第二投影像面；所述第一数字微反射镜设置于所述光轴的第一侧，所述第二数字微反射镜设置于所述光轴的第二侧，所述第一数字微反射镜和所述第二数字微反射镜分别用于发出光束；所述第一镜片组设置于所述第一数字微反射镜和所述第二数字微反射镜的出光方向上；所述变光单元设置于所述第一镜片组的出光方向上。
一种投影系统

[发明专利]晶圆级光学窗口及制作方法和具有该光学窗口的微镜装置-CN201911256878.0有效
发明人：马宏 -专利权人：觉芯电子（无锡）有限公司
申请日： 2019-12-09 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G02B3/00 文献下载
摘要：相应地，本发明提供了一种具有晶圆级光学窗口的微镜装置。本发明还提供了一种具有晶圆级光学窗口的微镜装置，包括晶圆级光学窗口，还包括：基底；MEMS微镜，MEMS微镜设置于所述基底上；支撑架，支撑架设置于晶圆级光学窗口与MEMS微镜之间。本发明通过在晶圆级光学窗口的特定区域上集成光学元件层，利用该集成有光学元件层的晶圆级光学窗口与MEMS微镜形成微镜装置，并将该微镜装置应用于各类光学系统中，能够实现包括散斑抑制、光束准直、聚光和扫描角度增大等功能
晶圆级光学窗口制作方法具有装置

[发明专利]一种可变分辨率微镜阵列复用型光谱仪-CN201210534435.5无效
发明人：张智海;高玲肖;张文凯 -专利权人：重庆大学
申请日： 2012-12-12 - 公布日： 2013-02-27 - 主分类号： G01J3/28 文献下载
摘要：一种可变分辨率微镜阵列复用型光谱仪，包括光源、准直透镜、微镜阵列、分光成像系统和单点探测器；通过对微镜阵列进行区域划分，软件数控微镜阵元的开关，使得微镜阵列分别完成光谱仪器的入射狭缝控制与光谱调制功能；光源出射的光经准直透镜后到达微镜阵列构造狭缝区Ⅰ，选通的光经固定闪耀光栅分光后由第一成像透镜将色散光速成像到微镜阵列编码调制区Ⅱ，最后经第二成像透镜成像到单点探测器完成光谱的探测；通过软件数控微镜阵列两个区域
一种可变分辨率阵列复用型光谱仪

[发明专利]投影装置-CN201110183497.1无效
发明人：黄雍伦 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2011-07-01 - 公布日： 2013-01-02 - 主分类号： G03B21/20 文献下载
摘要：一种投影装置，其包括激光光源，与该激光光源相对设置的数字微镜装置，与该数字微镜装置相对设置的投影镜头，及设置在该激光光源与该数字微镜装置之间的透镜阵列。该激光光源用于发射激光至该数字微镜装置。该数字微镜装置包括呈阵列排布的多个微反射镜。每个微反射镜用于将激光反射至该投影镜头。该投影镜头用于将激光投影至屏幕。该透镜阵列用于将自该激光光源反出的激光均匀化。该透镜阵列包括透光基板，及形成在该透光基板上且朝向该数字微镜装置的呈阵列排布的多个圆台体。每个圆台体的中心轴线与该激光光源发射的激光平行。
投影装置

[发明专利]智能数字微镜驱动时序配置方法及装置-CN201210191757.4无效
发明人：刘一清;林新新;岳小龙 -专利权人：华东师范大学
申请日： 2012-06-12 - 公布日： 2012-10-17 - 主分类号： H04N9/31 文献下载
摘要：本发明公开了一种智能数字微镜驱动时序配置方法及装置，其装置包括PC机、数字微镜驱动板及数字微镜器件DMD，数字微镜驱动板分别连接PC机和数字微镜器件DMD；所述数字微镜驱动板包括ARM微控制器、FPGA及色轮，ARM微控制器分别连接FPGA及色轮，FPGA连接色轮及数字微镜器件DMD；其中：FPGA中设有驱动电路，该电路包括SPI接口模块、驱动序列表存储器及通用状态机，SPI接口模块连接驱动时序表存储器本发明解决了实现数字微镜器件驱动时序难度大的问题，它可以对DMD驱动时序进行灵活的配置，使DMD驱动时序的修改变得方便且灵活，大大提高了DMD驱动的开发效率。
智能数字驱动时序配置方法装置

[发明专利]一种微型单镜片多光源阵列式激光扫描投影装置-CN201210032639.9无效
发明人：徐英舜 -专利权人：凝辉(天津)科技有限责任公司
申请日： 2012-02-15 - 公布日： 2012-07-04 - 主分类号： G03B21/14 文献下载
摘要：一种微型单镜片多光源阵列式激光扫描投影装置，它包括视频分割模块、视频转换模块、激光光源模块、激光驱动调制模块、光学调整模块、单片MEMS微扫描镜模块、微扫描镜控制模块和屏幕，视频分割模块输出端与视频转换模块输入端连接，视频转换模块输出端分别与激光驱动调制模块和微扫描镜控制模块的输入端连接，激光驱动调制模块的输出端与激光光源模块的输入端连接，微扫描镜控制模块的输出端与单片MEMS微扫描镜的输入端连接，激光光源模块发出的激光经过光学调整模块投射在单片MEMS微扫描镜模块的可动反射镜面上，经可动反射镜面反射后，投射在屏幕上；本发明结构简单，采用单片MEMS微扫描镜取代MEMS微扫描镜阵列实现了对高清节目进行分区高分辨率、大屏幕投影效果。
一种微型镜片光源阵列激光扫描投影装置

[实用新型]一种三维成像激光雷达发射装置-CN201820941251.3有效
发明人：袁东;魏伟;胡倩倩;黄俊峰;安宏业;朱芹 -专利权人：南京华讯方舟通信设备有限公司
申请日： 2018-06-19 - 公布日： 2019-02-19 - 主分类号： G01S17/89 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种三维成像激光雷达发射装置，包括激光器，激光器产生激光，激光射入MEMS微镜的反射面，经过MEMS微镜反射的激光依次通过发射目镜和物镜射出，发射目镜与物镜共光轴，激光器的光轴与发射目镜的光轴之间的夹角为α，α的取值范围为α＜2(θ‑β)，其中θ为MEMS微镜反射率一致时的最大入射角，入射角为MEMS微镜上的反射面与法线的夹角，β为MEMS微镜相对于基准位置的最大机械偏角。本实用新型通过将激光器的光轴与发射目镜的光轴之间的夹角设置为一特定夹角α，使得激光器产生的激光经过MEMS微镜反射后，在MEMS微镜偏转范围内，激光与反射面处于最佳位置与角度，从而能够保证激光经MEMS微镜反射后在扫描范围内能量一致。
激光器激光光轴目镜反射面反射发射装置发射本实用新型激光雷达三维成像物镜法线偏转最大入射角基准位置夹角设置能量一致最佳位置反射率共光轴夹角为入射角偏角射出射入扫描保证

[实用新型]智能数字微镜驱动时序配置装置-CN201220274630.4有效
发明人：刘一清;林新新;岳小龙 -专利权人：华东师范大学
申请日： 2012-06-12 - 公布日： 2013-01-30 - 主分类号： H04N9/31 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种智能数字微镜驱动时序配置装置，该装置包括PC机、数字微镜驱动板及数字微镜器件DMD，数字微镜驱动板分别连接PC机和数字微镜器件DMD；所述数字微镜驱动板包括ARM微控制器、FPGA及色轮，ARM微控制器分别连接FPGA及色轮，FPGA连接色轮及数字微镜器件DMD；其中：FPGA中设有驱动电路，该电路包括SPI接口模块、驱动序列表存储器及通用状态机，SPI接口模块连接驱动时序表存储器，通用状态机连接驱动时序表存储器本实用新型解决了实现数字微镜器件驱动时序难度大的问题，它可以对DMD驱动时序进行灵活的配置，使DMD驱动时序的修改变得方便且灵活，大大提高了DMD驱动的开发效率。
智能数字驱动时序配置装置

[实用新型]一种微型单镜片多光源阵列式激光扫描投影装置-CN201220047632.X有效
发明人：徐英舜 -专利权人：凝辉(天津)科技有限责任公司
申请日： 2012-02-15 - 公布日： 2012-09-19 - 主分类号： G03B21/00 文献下载
摘要：一种微型单镜片多光源阵列式激光扫描投影装置，它包括视频分割模块、视频转换模块、激光光源模块、激光驱动调制模块、光学调整模块、单片MEMS微扫描镜模块、微扫描镜控制模块和屏幕，视频分割模块输出端与视频转换模块输入端连接，视频转换模块输出端分别与激光驱动调制模块和微扫描镜控制模块的输入端连接，激光驱动调制模块的输出端与激光光源模块的输入端连接，微扫描镜控制模块的输出端与单片MEMS微扫描镜的输入端连接，激光光源模块发出的激光经过光学调整模块投射在单片MEMS微扫描镜模块的可动反射镜面上，经可动反射镜面反射后，投射在屏幕上；本实用新型结构简单，采用单片MEMS微扫描镜取代MEMS微扫描镜阵列实现了对高清节目进行分区高分辨率、大屏幕投影效果。
一种微型镜片光源阵列激光扫描投影装置

[实用新型]数字微镜组件安装结构和图像显示装置-CN201620361997.8有效
发明人：杨义红;李屹 -专利权人：深圳市光峰光电技术有限公司
申请日： 2016-04-27 - 公布日： 2016-11-23 - 主分类号： G03B21/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种数字微镜组件安装结构和图像显示装置，数字微镜组件安装结构包括用于支撑数字微镜组件的壳体，用于与壳体配合压紧数字微镜组件的压板、弹性件和印制电路板；其中，压板与壳体刚性连接，且压板、弹性件和印制电路板依次连接上述数字微镜组件安装结构，由于压板与壳体刚性连接，则压板在压紧时会承受弯矩，产生弯曲应力，发生变形，又由于弹性件位于压板与印制电路板之间，则弹性件根据自身的弹性会补偿压板的变形，从而避免了印制电路板承受弯矩，即避免了印制电路板产生弯曲应力，进而避免了影响数字微镜组件的稳定性；同时，可通过弹性件控制压板施加到数字微镜组件上的压紧力，进一步地控制数字微镜组件的稳定性。
数字组件安装结构图像显示装置

[实用新型]微型投影机-CN201921794342.X有效
发明人：苗耘林 -专利权人：中强光电股份有限公司
申请日： 2019-10-24 - 公布日： 2020-05-05 - 主分类号： G03B21/14 文献下载
摘要：本实用新型提出一种微型投影机，其设置于车辆的车门上且包括光源、数字微镜装置、投影镜头、电源供应单元及处理电路。处理电路接收关机警示信号，传送复位信号到数字微镜装置以对数字微镜装置复位操作，并于传送复位信号后经过预定时间间隔通知电源供应单元切断提供给数字微镜装置的第一电源。本实用新型的微型投影机在处理电路接收关机警示信号时传送复位信号到微型投影机的数字微镜装置以对数字微镜装置复位操作，并于传送复位信号后经过预定时间间隔才通知电源供应单元切断提供给数字微镜装置的电源，如此可使数字微镜装置有足够时间进行复位操作而不容易损坏
微型投影机

[发明专利]一种同轴MEMS微镜及其制备方法-CN201810796901.4在审
发明人：程进;徐乃涛;孙其梁;汤红;臧寿兵 -专利权人：中科芯集成电路股份有限公司
申请日： 2018-07-19 - 公布日： 2018-12-18 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种同轴MEMS微镜及其制备方法，属于激光雷达探测技术领域。所述同轴MEMS微镜包括边框和边框内的第一微镜、第二微镜、转轴和多个梳齿。其中，转轴将边框分隔为两部分，第一微镜和第二微镜分别位于两部分中，并且通过连接梁连接，连接梁与转轴连接；多个梳齿在连接梁的两侧，梳齿一侧的定齿与边框连接，另一侧的动齿与连接梁连接。该同轴MEMS采用同轴双镜面结构，可以得到两个转角相同的微反射镜面，同时只需要采用一个MEMS微镜芯片，降低激光雷达的光学装配难度、电路控制难度及生产成本，同时利于激光雷达小型化的需求。
边框同轴连接梁微镜激光雷达梳齿转轴制备转角电路控制反射镜面探测技术转轴连接装配难度双镜面定齿动齿分隔生产成本芯片

[实用新型]微镜装置-CN202020579077.X有效
发明人：李帆雅;沈文江 -专利权人：苏州希景微机电科技有限公司
申请日： 2020-04-17 - 公布日： 2020-10-23 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种微镜装置，其包括：微镜、偏转轴和加强件，所述偏转轴连接到所述微镜，以使所述微镜绕所述偏转轴进行偏转，所述加强件设置于所述偏转轴上。本实用新型通过在偏转轴上设置加强件，可以在不影响偏转轴扭转刚度的前提下加强偏转轴的弯曲刚度，从而防止偏转轴发生弯曲变形的状况，进而提高微镜装置的可靠性。
装置