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- [发明专利]晶片级CSP的制造方法-CN200410078175.0无效
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村上武彦
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南株式会社
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2004-09-17
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2005-04-06
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H01L21/60
- 本发明提供一种晶片级CSP的制造方法,为了大幅地提高整体的制造效率以便更有效地进行热应力缓和柱、绝缘层和焊料块的形成。在晶片(1)上形成由电镀形成的再布线电路(3)的同时,在该再布线电路(3)上形成由焊料等导电材料形成的热应力缓和柱(4),另外,在这些再布线电路(3)和热应力缓和柱(4)的周围,除了该热应力缓和柱(4)的上面,形成由聚酰亚胺等构成的绝缘层(6),此外,在所述热应力缓和柱(4)上形成焊料块(7),而且,通过丝网印刷来形成所述热应力缓和柱(4)、绝缘层(6)和焊料块(7)。
- 晶片csp制造方法
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