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- [发明专利]运动机构-CN96195786.7无效
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柳泽健
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柳泽健
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1996-07-17
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2000-10-11
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B25J9/02
- 一对移动体（１４ａ、１４ｂ）可沿导杆（１２ａ、１２ｂ）向第１方向（Ｘ）移动。第１、第２旋转导杆（１８ａ、１８ｂ）设置在各移动体上。第１、第２卷挂构件（２０、２２）受到张力并卷挂在第１、第２旋转导杆上，第１卷挂构件的一端部（２０ａ）从第１旋转导杆拉出并固定于基座（１０ａ）上，另一端部（２０ｂ）从第２旋转导杆向与一端部相反的方向拉出并固定在基座（１０ｂ）上。第２卷挂构件的一端部从第１旋转导杆向与第１卷挂构件一端部的拉出方向相反的方向拉出并固定在基座上，另一端部（２２ｂ）从经２旋转导杆向与一端部相反的方向拉出并固定在基座上。驱动装置（１１）使移动体向第１方向移动。
- 运动机构
- [实用新型]运动机构-CN202223359502.2有效
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刘俊丰;姜保彧;张豹
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北京华卓精科科技股份有限公司
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2022-12-12
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2023-05-30
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H01L21/68
- 本实用新型提供了一种运动机构，包括：底座；运动台，位于底座的上方，运动台能够在底座的上方运动；限位结构，设置在运动台上，限位结构能够将运动台悬浮在底座上方，并限定运动台在底座上方的移动轨迹；驱动组件，设置在底座上，且与运动台连接，驱动组件用于驱动运动台沿移动轨迹移动。基于本实用新型的技术方案，由于限位结构能够将运动台悬浮在底座上方，这样避免了运动台与底座直接接触，从而降低了运动台移动时的阻力，进而提高了运动台的移动效率，以满足运动机构对晶圆进行高精度的微小移动的要求而且，限位结构能限定运动台在底座上方的移动轨迹，这样能够实现对晶圆进行高精度的微小移动。
- 运动机构
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