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[发明专利]多压头精密泵-CN200880106306.8有效
发明人：雷蒙德T·萨维德;格雷格·戈瑞;杰克·莱斯利 -专利权人：集成设计有限公司
申请日： 2008-07-08 - 公布日： 2010-09-29 - 主分类号： F04B13/02 文献下载
摘要：一种用于输送一种或多种不同工艺流体的泵，包括：若干增压室，所述增压室具有一个工艺流体入口和一个工艺流体出口，所述工艺流体出口耦合至每个增压室的工艺流体阀，所述工艺流体阀用于选择性地阻止和允许工艺流体流经所述增压室；驱动机构，用于将驱动流体泵送至若干驱动流体室，所述驱动机构与所述驱动流体室流体连通，从而允许驱动流体流入每个驱动流体室；至少一个膜片，所述膜片分开每个增压室和相连的驱动流体室，用于分开工艺流体和驱动流体所述驱动机构排放驱动流体的操作使驱动流体仅流入具有开式工艺流体阀的各个驱动流体室，从而产生泵送。
压头精密

[发明专利]流体区域控制装置及其操作方法-CN200710186748.5无效
发明人：施惠绅;简佑芳 -专利权人：联华电子股份有限公司
申请日： 2007-11-16 - 公布日： 2009-05-20 - 主分类号： C25D7/12 文献下载
摘要：本发明是提供一种流体区域控制装置及其操作方法。流体区域控制装置包括有至少一基底承载基座、至少一工艺流体提供管线、至少一工艺流体回补管线、至少一控制流体提供管线与至少一控制流体回补管线。工艺流体提供管线提供至少一工艺流体，使工艺流体接触晶片的晶面。控制流体提供管线则持续提供至少一控制流体。控制流体不溶于工艺流体，其会流过晶片的晶边，使得工艺流体被局限于特定的空间之内。
流体区域控制装置及其操作方法

[发明专利]基板处理装置、工艺流体处理装置及臭氧分解方法-CN201711015273.3有效
发明人：尹遵喜;赵乘桓 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2017-10-26 - 公布日： 2021-08-24 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：公开的是一种基板处理装置和工艺流体处理装置。基板处理装置包括：工艺腔室，该工艺腔室利用包含臭氧的工艺流体处理基板；排放管道，连接至工艺腔室以排放用来处理基板的工艺流体；和工艺流体处理装置，该工艺流体处理装置与排放管道连接。工艺流体处理装置包括：具有内部空间的壳体，该内部空间具有容纳工艺流体的设定容积；和喷嘴，该喷嘴与排放管道和壳体的内部空间连接。
处理装置工艺流体臭氧分解方法

[发明专利]用于在LDPE反应器中混合工艺流体与引发剂的装置-CN202080070614.0在审
发明人：克里斯托夫·乌尔尼奇;维尔纳·比利纳 -专利权人：博里利斯股份公司
申请日： 2020-10-01 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： B01J4/00 文献下载
摘要：本发明涉及用于将引发剂与工艺流体混合的引发剂注射喷嘴(1)。该引发剂注射喷嘴1包括主体(10)，该主体(10)包括(i)用于接收工艺流体的工艺流体进口(11)和出口(17)，(ii)工艺流体流动通道(13)，工艺流体沿着工艺流体进口(11)和出口(17)之间的工艺流体中心流动轴线(15)穿过该工艺流体流动通道(13)，其中该工艺流体流动通道(13)至少部分地由收缩部(12)、喉部(14)和扩张部(16)限定，(iii)用于接收引发剂的引发剂进口(30)和引发剂出口(32)，和(引发剂注射喷嘴(1)的特征在于，多个细长的叶片(20)设置在收缩部(12)内并沿着工艺流体中心流动轴线(15)延伸，并且在于每个叶片(20)具有前端(22)、尾端(26)和弯曲叶片表面(21)。多个叶片(20)被配置成使得与工艺流体中心流动轴线(15)垂直并包括工艺流体中心流动轴线(15)的通畅的工艺流体流动横截面A位于收缩部(12)内，并且通畅的工艺流体流动横截面A的面积随着距工艺流体进口(
用于 ldpe 反应器混合工艺流体引发装置

[实用新型]用于从待分配的工艺流体移除气体的自动式泵系统-CN201620825454.7有效
发明人： J·C·瓦因斯;J·莱斯利;D·K·曼扎雷克 -专利权人：集成设计有限公司
申请日： 2014-03-11 - 公布日： 2017-03-29 - 主分类号： F04B43/067 文献下载
摘要：本实用新型提供用于从待分配的工艺流体移除气体的自动式泵系统，包含工艺流体储集器，具有入口，耦接至远程工艺流体源；出口；排放口，耦接至排水管；驱动构件，间接地耦接至出口，以用于将工艺流体驱动至工艺流体储集器中或驱动出工艺流体储集器；阀门，耦接至入口及出口，以用于准许工艺流体流动至工艺流体储集器中或流动出工艺流体储集器，并耦接至排放口以将气体移除出工艺流体储集器并移除至排水管中；传感器，用于提供信号，信号对应于与工艺流体储集器中的气体的存在相关的泵系统中的参数；处理器，耦接至驱动构件、传感器及阀门，处理器使用信号以自动控制阀门及驱动构件，来迫使工艺流体储集器中的任何气体流过排放口并流入排水管。
用于分配工艺流体气体自动系统

[发明专利]引发剂注射喷嘴-CN202080070609.X在审
发明人：克里斯托夫·乌尔尼奇;维尔纳·比利纳 -专利权人：博里利斯股份公司
申请日： 2020-10-13 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： B01F25/433 文献下载
摘要：本发明涉及用于将引发剂与工艺流体混合的引发剂注射喷嘴(1)。该引发剂注射喷嘴包括主体(10)，该主体(10)包括(i)用于接收工艺流体的工艺流体进口(11)和出口(17)；(ii)工艺流体流动通道(13)，工艺流体沿着工艺流体进口(11)和出口(17)之间的工艺流体中心流动轴线(15)穿过该工艺流体流动通道(13)，该工艺流体流动通道13具有收缩部(12)、喉部(14)和扩张部(16)；(iii)用于接收引发剂的引发剂进口(30)和引发剂出口(32)；和(iv)引发剂流体流动通道(34)，引发剂沿着引发剂进口(30)和引发剂出口(32)之间的引发剂中心流动轴线(35)穿过该引发剂流体流动通道(34)，工艺流体流动通道(13)在喉部(14)处与引发剂流体流动通道(34)相交。具有前端(22)和尾端(26)的至少一个细长的叶片(20)设置在工艺流体流动通道(13)内并且沿着工艺流体中心流动轴线(15)延伸，其中引发剂出口(32)设置在叶片(20)的表面(24)上。
引发注射喷嘴

[实用新型]流体输送组件和用于处理半导体基板的装置-CN201920459396.4有效
发明人： A·古纳吉;T·A·(麦克)·恩古耶;M·G·库尔卡尼;S·巴录佳;K·朗厄兰德 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-04-04 - 公布日： 2020-01-07 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本公开内容涉及流体输送组件和用于处理半导体基板的装置。本公开内容关于用于与半导体工艺腔室一起使用的流体输送系统组件。一系列三通阀控制工艺流体导管之间的工艺流体流动，所述工艺流体导管通向所述工艺腔室和转向导管。
工艺流体导管半导体工艺腔室流体输送系统流体输送组件半导体基板工艺腔室三通阀流动

[发明专利]从热交换器排放的流体的温度控制-CN201480014046.7有效
发明人： G·A·巴腾伯格;J·J·科塔 -专利权人：西港电力公司
申请日： 2014-03-11 - 公布日： 2018-11-16 - 主分类号： F02M21/06 文献下载
摘要：往复活塞低温泵在从汽化器的工艺流体排放温度降低到阈值以下时暂停执行冲程，以防循环通过所述汽化器的热交换流体冻结并损害下游部件。所述泵的暂停会导致汽化器下游的工艺流体压力降低，这是不期望的。在本发明的技术中，监测与汽化器下游的工艺流体温度相关的温度。依据所述温度来调整每一循环中从所述泵排放的工艺流体量，从而使得随着排放量降低，所述工艺流体在所述汽化器中的平均停留时间增加，从而提高工艺流体排放温度。无论泵的排放量如何，通过所述汽化器的所述工艺流体的平均质量流速不变，从而得以维持所述汽化器下游的工艺流体压力。
热交换器排放流体温度控制

[发明专利]用于化学和/或电解表面处理的系统-CN201810847212.1在审
发明人：安德烈亚斯·格莱斯纳;奥利佛·克诺尔;托马斯·维恩斯贝格尔;赫伯特·奥茨林格 -专利权人：塞姆西斯科有限责任公司
申请日： 2018-07-27 - 公布日： 2019-02-05 - 主分类号： C23C18/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于基板在工艺流体中的化学和/或电解表面处理的系统，一种用于基板在工艺流体中的化学和/或电解表面处理的装置，以及一种用于基板在工艺流体中的化学和/或电解表面处理的方法。用于化学和/或电解表面处理的系统包括槽、流体通道、扩展箱和控制单元。槽被配置成用于基板在工艺流体中的化学和/或电解表面处理。流体通道连接槽和扩展箱。扩展箱被配置成容纳扩展量的工艺流体。控制单元和流体通道被配置成保持槽中的工艺流体的水平基本上恒定。
电解表面处理工艺流体基板流体通道扩展箱配置恒定连接槽容纳

[发明专利]模块化阀系统-CN201510612696.8有效
发明人：托马斯·哈姆;迈克尔·塔施;约亨·沃尔瑟 -专利权人：比尔克特韦尔克有限公司
申请日： 2015-09-23 - 公布日： 2018-09-04 - 主分类号： F15B13/08 文献下载
摘要：本发明提供一种待安装至支承件、特别是安装至电气控制柜中的支承件上的模块化阀系统(10)，其包括至少两个单独的阀模块(12)，所述至少两个阀模块可以流体连接至彼此并且可以分别与至少一个控制阀单元(16)联接模块化阀系统(10)包括工艺流体部段(90)、控制流体部段(32)和隔膜(80)，其中，工艺流体部段包括工艺流体可以流动穿过的工艺流体管线(78)，控制流体部段包括位于至少其中一些阀模块(12)中的可供控制流体流动穿过的流体管线，隔膜由至少其中一些阀模块(12)共用，并且隔膜设计成用于在形成隔膜阀(50)的同时对工艺流体部段(90)中的工艺流体进行控制、以及用于对控制流体部段进行密封。
模块化系统

[发明专利]用于管理螺杆泵系统内的流体流的方法和装置-CN201080030272.6有效
发明人： V·科特努尔;D·D·安德森;F·哈斯里普尔;M·V·德雷克塞尔;T·斯蒂恩;H·V·德奥 -专利权人：通用电气公司
申请日： 2010-03-11 - 公布日： 2012-11-28 - 主分类号： F04C2/16 文献下载
摘要：在一种泵系统中，在入口压力下将工艺流体引入泵壳体的入口室，并旋转设置在泵壳体内的多个转子从而将工艺流体从入口室泵送至位于入口室之间的出口室，其中出口室中的工艺流体处于出口压力下。工艺流体被从出口室引向分离器，分离器构造成从工艺流体分离颗粒物质，并且一部分分离的工艺流体被从分离器引向泵的齿轮室。用来自齿轮室的该部分分离的工艺流体润滑泵轴承。来自泵轴承的该部分分离的工艺流体的其中一些经由转子护罩泄漏至入口室，以减少入口室中颗粒物质的积聚。公开了一种泵系统和一种用于操作泵系统的方法。
用于管理螺杆系统流体方法装置

[发明专利]一种用于稠油油藏的多元热流体生产工艺以及热采工艺-CN201210069434.8有效
发明人：刘义刚;刘海涛;山金城;孙永涛;林涛;文权;顾启林;张玉久;马增华 -专利权人：中国海洋石油总公司;中海油田服务股份有限公司
申请日： 2012-03-15 - 公布日： 2012-07-25 - 主分类号： E21B43/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于稠油油藏的多元热流体生产工艺以及热采工艺，所述多元热流体生产工艺包括如下步骤：将空气加压并分离得到高纯氮气和富氧空气；将得到的富氧空气加压后用于产生部分多元热流体；将产生的部分多元热流体与得到的高纯氮气混合所述多元热流体生产工艺具有组分可调的特点，可根据不同油藏特点设计不同组成的多元热流体，拓宽了多元热流体热采工艺的应用范围。
一种用于油油多元流体生产工艺以及工艺

[实用新型]一种工艺简单的接线端子-CN201320199892.3有效
发明人：丁高松 -专利权人：宁波高松电子有限公司
申请日： 2013-04-19 - 公布日： 2013-11-13 - 主分类号： H01R13/02 文献下载
摘要：一种工艺简单的接线端子，包括有载流体，其特征在于：所述载流体包括有上层载流体和下层载流体，所述上层载流体和下层载流体之间通过中间延伸体相连为一体。与现有技术相比，本实用新型的优点在于：将上层载流体和下层载流体通过中间延伸体成型为一体件结构，进而实现两层载流体的上下相通，从而绕开了上层载流体和下层载流体之间通过高成本、低效率的焊接工艺实现连通的工艺，能够有效简化生产工艺，降低生产成本，并提高装配效率。
一种工艺简单接线端子

[发明专利]用于氯碱工艺的过滤器洗涤-CN201410483508.1有效
发明人： D·R·戴维斯;M·雷默 -专利权人：戈尔企业控股股份有限公司
申请日： 2008-07-14 - 公布日： 2014-12-24 - 主分类号： C25B15/08 文献下载
摘要：提供了用于氯碱工艺的过滤器洗涤方法和设备，以及一种对过滤过的盐水进行电解的方法。所述过滤器洗涤使用来自氯碱工艺的工艺中流体洗涤过滤器。可以从氯碱工艺中的某个位置将该工艺中流体引出，其中该工艺中流体包含一定的活性氯(如漂白剂)值。然后将过滤器与氯碱工艺隔离，使过滤器与包含活性氯值的工艺中流体接触，以洗涤过滤器。所述包含活性氯值的工艺中流体可以进行操作，使附着在过滤器上的有机物质氧化，从而清洗过滤器。洗涤之后，可以在引出工艺中流体之处或附近，使包含活性氯值的工艺中流体返回氯碱工艺。所述过滤器可以是膜过滤器。
用于工艺过滤器洗涤

[发明专利]用于氯碱工艺的过滤器洗涤-CN200880100507.7有效
发明人： D·R·戴维斯;M·雷默 -专利权人：戈尔企业控股股份有限公司
申请日： 2008-07-14 - 公布日： 2010-09-29 - 主分类号： C25B15/08 文献下载
摘要：提供了用于氯碱工艺的过滤器洗涤方法和设备。所述过滤器洗涤使用来自氯碱工艺的工艺中流体洗涤过滤器。可以从氯碱工艺中的某个位置将该工艺中流体引出，其中该工艺中流体包含一定的活性氯(如漂白剂)值。然后将过滤器与氯碱工艺隔离，使过滤器与包含活性氯值的工艺中流体接触，以洗涤过滤器。所述包含活性氯值的工艺中流体可以进行操作，使附着在过滤器上的有机物质氧化，从而清洗过滤器。洗涤之后，可以在引出工艺中流体之处或附近，使包含活性氯值的工艺中流体返回氯碱工艺。所述过滤器可以是膜过滤器。所述过滤器可以包含发泡聚四氟乙烯。
用于工艺过滤器洗涤

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