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[发明专利]智能变送器的多量程设定方法-CN202210685256.5在审
发明人：陈杰熙;于赫 -专利权人：长春大学
申请日： 2022-06-15 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： G01L19/00 文献下载
摘要：本发明涉一种智能变送器的多量程设定方法。智能变送器的多量程设定方法包括步骤：多次获取对量程按键进行按压操作后生成的按压次数信息；每获取一个按压次数信息后，向压力传感器依次施加一组数值不同的标准压力，并获取施加在压力传感器上的一组标准压力信息；根据施加在压力传感器上的一组标准压力，获得压力传感器输出的一组电流信息，并使一组电流信息中的每个电流均在预设数值范围内；获取一次按压次数信息后，将按压次数信息、一组标准压力信息及一组电流信息保存至存储器的预设存储单元通过上述智能变送器的多量程设定方法，可在压力变送器进行多个量程的设置，使得压力变送器兼顾较高的测量精度和较低的使用成本。
智能变送器多量设定方法

[发明专利]一种基于MSC的小量程SAW压力传感器-CN201911290365.1在审
发明人：李媛媛;杨刚;季雪咪;许浩源;马连杰;沈祥翼;杨健;武国飞 -专利权人：上海工程技术大学
申请日： 2019-12-16 - 公布日： 2020-04-03 - 主分类号： G01L1/25 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于MSC的小量程SAW压力传感器，包括设于压电基片上的双端口延迟线型叉指换能器和多条耦合器，叉指换能器为余弦平方函数加权的叉指换能器；耦合器设于声表面波的延迟路径上，输入叉指换能器接收信号传输天线模块发送的激励信号，且将该信号转化为声表面波信号并在压电基片底表面进行传输；耦合器改变表面波信号的传播声路，声表面波信号与压力信号进行叠加后经过耦合器耦合后进入输出叉指换能器，输出叉指换能器用于将该信号转化为电磁波信号并通过传输天线模块传输至阅读器中本发明在声表面波的延迟路径上设置多条耦合器，可实现0～0.2N的小量程压力的精确检测。
一种基于 msc 量程 saw 压力传感器

[发明专利]压力传感器及其制备方法-CN202210708560.7在审
发明人：赵利军;谢红梅;王一波;王曦 -专利权人：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
申请日： 2022-06-21 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： G01L1/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种压力传感器及其制备方法。根据SOI衬底中的第一氧化硅层的应力类型，在SOI衬底上设置应力类型相匹配的第二氧化硅层，有效平衡了含有压敏电阻的应变薄膜层其两侧的应力差异，提高应变薄膜层对压力的感应灵敏度，进而可实现小量程检测的目的同时，硅基盖板还可以和SOI衬底上的第二氧化硅层实现硅‑氧化硅键合，提高键合强度，并且硅基盖板和SOI衬底之间的键合内应力较低，进一步优化了器件的小量程检测的性能。
压力传感器及其制备方法

[发明专利]一种高温大量程硅-蓝宝石压力传感器结构-CN201610875795.X有效
发明人：郭占社;卢超;黄漫国;李欣 -专利权人：北京航空航天大学;中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所
申请日： 2016-09-30 - 公布日： 2020-07-24 - 主分类号： G01L1/22 文献下载
摘要：本发明提出了一种高温大量程硅‑蓝宝石压力传感器结构，包括钛合金壳体、两个钛合金膜片、连接柱体、蓝宝石膜片、单晶硅应变电阻和金属引线。其中一个钛合金膜片与蓝宝石膜片通过真空烧结的方式结合在一起，形成压力传感器的敏感元件。在蓝宝石膜片上，通过异质外延的方式生长出一层0.1‑0.5μm的单晶硅薄膜。本发明上下膜片组成分离式的双膜片结构，在测量小量程压力的时候具有高灵敏度的优点，同时也可以用于大量程压力的测量。
一种高温量程蓝宝石压力传感器结构

[发明专利]压力传感器及其制备方法-CN201811119704.5在审
发明人：吕元杰;宋旭波;谭鑫;韩婷婷;周幸叶;冯志红;梁士雄 -专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2018-09-25 - 公布日： 2019-01-15 - 主分类号： G01L1/16 文献下载
摘要：本发明适用于压力传感器技术领域，提供了一种压力传感器，包括硅衬底层、GaN外延层、压力测试电路、电路引脚和介质层；GaN外延层在硅衬底层上外延生长而成，GaN外延层上设有检测区，压力测试电路位于GaN外延层上的检测区内，电路引脚位于GaN外延层上的检测区外，介质层在GaN外延层上沉积而成并覆盖压力测试电路；硅衬底层设有通孔，通孔的横截面和检测区形状相同，通孔和检测区相对应。介质层的厚度影响压力传感器量程，通过改变介质层的厚度可以对压力传感器量程进行调节，降低了压力传感器量程控制难度。
检测区介质层压力传感器量程压力测试电路硅衬底层通孔压力传感器电路引脚压力传感器技术厚度影响外延生长沉积制备检测覆盖

[实用新型]大叶片重量矩超量程测试装置-CN200920266700.X有效
发明人：赵兴民;刘中华;陈贵林;万东强;张宁 -专利权人：西安航空动力股份有限公司
申请日： 2009-12-04 - 公布日： 2010-09-08 - 主分类号： G01L3/00 文献下载
摘要：本实用新型属于重量矩测试领域，涉及对小量程力矩秤的改进。它包括一个由油阻尼器[1]、滑动砝码[2]、力传感器[6]、支点[7]、秤杆[13]、转接法兰盘[14]、数据采集器[8]和计算机[9]组成的小量程力矩秤以及叶片夹具[10]，其特征在于，有一个由第二力传感器[3]、力值显示器[4]组成的辅助测试机构，第二力传感器[3]位于叶片夹具[10]的正上方或者正下方，第二力传感器[3]的力感应杆[11]与叶片夹具[10]垂直连接，第二力传感器[3]的壳体通过连杆[12]与小量程力矩秤的底座连接。本实用新型能扩展小量程力矩秤的测量量程，解决了某型航空发动机超量程叶片重量矩的测量难题，降低了测量费用，保证了测量进度，满足了某型航空发动机的研制要求。
叶片重量量程测试装置

[实用新型]粉末冶金多孔材料透油/透水度自动检测装置-CN200820222216.2无效
发明人：高晓丁;辛文辉 -专利权人：西安工程大学
申请日： 2008-10-31 - 公布日： 2009-08-05 - 主分类号： G01N15/08 文献下载
摘要：本实用新型公开的一种粉末冶金多孔材料透油/透水度自动检测装置，包括液体箱，与液体箱相通的管路上，按液体流动方向依次设置有高压泵、过滤器、节流阀、流量检测系统、压力传感器和粉末冶金多孔材料，液体箱还与溢流阀相连接，高压泵还分别与电动机和溢流阀相连接，流量检测系统包括两条以上并联设置的支路，每条支路中按液体流动方向依次设置有电磁阀、流量传感器和单向阀，各支路中的流量传感器为不同量程的流量传感器。本实用新型检测装置通过多个不同量程的流量传感器组成的流量测试自动转换系统进行水或油透过各种类型粉末冶金多孔材料的流量由微小量程流量测试到大量程流量测试，测量范围大，且体积小，使用方便。
粉末冶金多孔材料透水自动检测装置

[发明专利]电动缸和液压缸组合加载叠加式力标准机-CN201510252773.3在审
发明人：陶泽成 -专利权人：陶泽成
申请日： 2015-05-18 - 公布日： 2015-12-16 - 主分类号： G01L25/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种电动缸和液压缸组合加载叠加式力标准机，包括油缸，油缸的壁体上设置有活塞上升油孔和活塞下降油孔；活塞，设置于油缸内且在油缸内上下移动设置；电动缸，设置于活塞内；大传感器，设置于活塞顶部；小传感器，与电动缸的输出端连接，小传感器与电动缸之间还设置有导向托盘。本发明中电动缸驱动导向托盘向上移动，使得小传感器在活塞内向上移动给连接托盘施加一加载力用于测量小量程；油液进入油缸与活塞底部之间的空间内，使得大传感器在油缸内向上移动给连接托盘施加一加载力用于测量大量程，既可测量大量程，也可测量小量程，操作方便，而且小传感器保证小量程测试的稳定性，提高测试的精度。
电动液压缸组合加载叠加标准

[实用新型]一种软包电芯充放电寿命测量装置-CN201820309380.0有效
发明人：吉志宽 -专利权人：浙江衡远新能源科技有限公司;山东衡远新能源科技有限公司
申请日： 2018-03-06 - 公布日： 2018-10-12 - 主分类号： G01R31/36 文献下载
摘要：它解决了如何实现压力状态下的电芯充放电寿命测量的问题。该软包电芯充放电寿命测量装置包括上夹具、下夹具和连接电芯正负极的充放电装置，还包括用于对上夹具施压的可控量程气缸，上夹具上设置有压力传感器，压力传感器与电芯表面接触，压力传感器电连接有显示器。通过可控量程气缸对上夹具进行施压，电芯表面压力值由压力传感器进行检测，压力传感器检测的压力值由显示器进行显示，需要不同的压力环境时通过调整可控量程气缸动作来实现电芯表面的压力状态，通过显示器进行实时显示的同时，在设定好的压力状态下通过充放电装置进行充放电寿命测量试验。
充放电寿命上夹具压力传感器测量装置电芯表面软包电芯压力状态可控量程显示器充放电装置电芯气缸施压压力传感器检测检测技术领域本实用新型测量试验气缸动作软包电池实时显示压力环境电连接下夹具有压力正负极传感器测量检测

[实用新型]一种自补偿的用户管道无负压高效节电供水装置-CN201420553880.0有效
发明人：汪雄海;那京 -专利权人：杭州华孚环境工程技术有限公司
申请日： 2014-09-24 - 公布日： 2015-02-25 - 主分类号： E03B11/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种自补偿的用户管道无负压高效节电供水装置，包括气体罐、气控阀、用户供水管路、水箱、调速加压机泵、变频器、第一压力传感器、第二压力传感器、第三压力传感器和第四压力传感器；气控阀置于气体罐底端，与气体罐紧密衔接；用户供水管路的顶端与气控阀衔接，底端与水箱连接；调速加压机泵置于水箱内，与变频器电连接；第一压力传感器和第二压力传感器置于用户供水管路的下端近水箱处，第三压力传感器置于水箱内；第四压力传感器置于用户供水管路的上端；第一压力传感器的量程小于第二压力传感器的量程；本装置适用于居民区高、低楼群供水，具有用户管道负压自动补偿，避免负压带来的问题，供水耗能少、系统性能可靠、工程实施容易的特点。
一种补偿用户管道无负压高效节电供水装置

[发明专利]一种柔性压力传感器及其制作方法-CN201910440156.4在审
发明人：张旻;会丹丹;王晓浩;董瑛 -专利权人：清华大学深圳研究生院
申请日： 2019-05-24 - 公布日： 2019-08-02 - 主分类号： G01L1/22 文献下载
摘要：一种柔性压力传感器及其制作方法，该柔性压力传感器包括多孔材料层、设置在所述多孔材料层两侧的一对电极层以及设置在各电极层外侧的聚合物衬底，所述多孔材料层包括具有多孔结构的聚合物材料、吸附于所述多孔结构的孔隙内壁的具有压阻特性的导电聚合物、以及填充在所述多孔结构的孔隙内用于扩大所述压力传感器量程的填充材料。该柔性压力传感器在保持较高灵敏度的情况下获得较大的量程，且器件稳定性好。该制作方法方便根据应用调控传感器量程。
柔性压力传感器多孔材料层多孔结构电极层制作压力传感器量程传感器量程导电聚合物聚合物材料器件稳定性高灵敏度填充材料压阻特性聚合物衬底量程内壁吸附填充调控应用

[发明专利]一种传感器装置-CN201811225744.8在审
发明人：许建平;许文凯;徐美莲 -专利权人：许建平
申请日： 2018-10-21 - 公布日： 2019-02-26 - 主分类号： G01L1/00 文献下载
摘要：本发明涉及质量、重量、压力、触力、脉搏、血压、物体抵触位移、磁致伸缩位移等检测领域，以及精密控制、按键、开关等控制领域的载荷增强型微机械传感器装置；其技术方案是：传感器装置包括：压力传感器部件、力传递部件，其中，用弹性部件将外部输入力分别分解或转移到基体或壳体和力传递部件上，从而，其中的弹性膜片部分只接受到部分输入力；优点是：使用低承载压力、低量程的压力传感器芯片或薄膜型压力传感器亦能制造高性能、高承载压力或高量程传感器装置
传感器装置力传递部件压力传感器输入力压力传感器芯片高量程传感器微机械传感器磁致伸缩弹性部件弹性膜片检测领域精密控制薄膜型低量程高承载增强型按键壳体血压脉搏承载抵触分解外部制造

[实用新型]一种传感器装置-CN201821705087.2有效
发明人：许建平;许文凯;徐美莲 -专利权人：许建平
申请日： 2018-10-21 - 公布日： 2019-04-23 - 主分类号： G01L1/20 文献下载
摘要：本实用新型涉及质量、重量、压力、触力、脉搏、血压、物体抵触位移、磁致伸缩位移等检测领域，以及精密控制、按键、开关等控制领域的载荷增强型微机械传感器装置；其技术方案是：传感器装置包括：压力传感器部件、力传递部件，其中，用弹性部件将外部输入力分别分解或转移到基体或壳体和力传递部件上，从而，其中的弹性膜片部分只接受到部分输入力；优点是：使用低承载压力、低量程的压力传感器芯片或薄膜型压力传感器亦能制造高性能、高承载压力或高量程传感器装置
传感器装置力传递部件压力传感器输入力压力传感器芯片高量程传感器微机械传感器本实用新型磁致伸缩弹性部件弹性膜片检测领域精密控制薄膜型低量程高承载增强型按键壳体血压脉搏承载抵触分解外部制造

[发明专利]一种航空用高频响压力传感器芯片及制备方法-CN202011520792.7在审
发明人：李闯;涂孝军;黄平;陶捷铠 -专利权人：苏州长风航空电子有限公司
申请日： 2020-12-21 - 公布日： 2021-04-30 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种航空用高频响压力传感器芯片，该压力传感器芯片包括单晶硅保护层、单晶硅压力敏感膜和SOI硅结构支撑层。本发明所提供的航空用高频响压力传感器芯片，设有三层结构，三层结构使得上下两层之间对称，解决了现有技术中的满量程输出与谐振频率相互制约的问题、满量程输出与非线性固有矛盾问题和满量程输出与过载很难同步提升的问题
一种航空高频压力传感器芯片制备方法

[发明专利]一种压力传感器制作方法及其结构-CN201310185138.9有效
发明人：熊斌;徐德辉;王跃林 -专利权人：上海芯敏微系统技术有限公司
申请日： 2013-05-17 - 公布日： 2014-11-26 - 主分类号： G01L1/18 文献下载
摘要：本发明提供一种压力传感器制作方法及其结构，至少包括以下步骤：提供一硅衬底以及另一硅片结构；采用键合方法，将该硅片结构封在硅衬底的压力腔定位环上；硅片结构的氧化硅层与硅衬底接触；通过化学机械减薄方法将该顶层硅减薄抛光至所需厚度；在顶层硅上、压力腔定位环围成的区域内制作压阻及金属引线；在所述硅衬底背面形成与压力腔定位环横截面图形相同的压力导入开口图形；用深反应离子刻蚀方法，利用压力导入开口图形形成通道，并使得该通道与压力腔区域贯通本发明提出的压力传感器利用封闭压力腔定位环确定弹性膜的长宽尺寸，可以方便制造小量程高灵敏度的压力传感器，不会因为刻蚀工艺的误差导致弹性膜尺寸和厚度的改变，改善器件的一致性和良率。
一种压力传感器制作方法及其结构