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- [发明专利]太鼓环取环装置-CN202210815504.3在审
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孙运龙;肖酉;许有超;朱田
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华虹半导体(无锡)有限公司
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2022-07-08
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2022-11-01
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H01L21/683
- 本申请涉及半导体集成电路制造技术领域,具体涉及一种太鼓环(Taiko)取环装置。太鼓环取环装置包括:能够与保护膜的裙边下表面处接触的保护膜紧张度调节环和入刀角度调节环;所述保护膜能够粘附在带有太鼓环的晶片表面,且所述保护膜的裙边延伸出所述太鼓环外;所述保护膜紧张度调节环位于所述入刀角度调节环外,能够上下移动调节所述保护膜的张紧程度;所述入刀角度调节环位于所述保护膜紧张度调节环所在水平方向的上侧,能够上下移动调节所述保护膜的裙边与太鼓环下表面之间的夹角,所述夹角为入刀角度。本申请提供的太鼓环取环装置,可以解决相关技术中入刀角度和保护膜的紧张程度难以兼顾的问题。
- 太鼓环取环装置
- [发明专利]太鼓环移除方法-CN202210191578.4有效
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高金龙;葛凡;张宁宁;周鑫;蔡国庆
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江苏京创先进电子科技有限公司
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2022-03-01
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2022-06-03
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H01L21/66
- 本发明揭示了太鼓环移除方法,该方法在通过移除机构进行太鼓环的移除之前,通过检测装置检测太鼓环,控制装置根据检测装置的检测信号来判断所述太鼓环是否是一个整体;当确定太鼓环不是一个整体时,控制装置发出警报且控制移除机构不进行太鼓环的移除;当确定太鼓环是一个整体时,控制装置控制移除机构进行太鼓环的移除。本方案采用先进行太鼓环完整性检测,再进行移除的方式,能够有效地根据太鼓环的实际情况来控制移除机构的动作,可以在太鼓环不是一个整体的情况下进行报警,提醒人工处理,以避免由于太鼓环损坏无法移除,导致晶圆无法顺利进行后续加工的问题同时可以避免太鼓环异常情况下,移除机构的无效动作,有利于及时减小损失。
- 太鼓环移方法
- [实用新型]太鼓环去除装置-CN202222004528.9有效
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于光明;周鑫;孙志超;葛凡;蔡国庆
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江苏京创先进电子科技有限公司
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2022-08-01
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2022-11-15
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H01L21/67
- 本实用新型揭示了太鼓环去除装置,包括晶圆供给回收机构,包括晶圆存储仓及驱动所述晶圆存储仓升降的升降机构;至少两根接料杆,平行且等高地设置在所述晶圆存储仓的进出口处;载料工位,具有承载及固定晶圆的结构;废料收纳箱;多功能机器人,具有将晶圆在晶圆供给回收机构及接料杆之间移动、将晶圆在接料杆和载料工位之间移动以及调整晶圆在载料工位上的位置的结构;去环机器人,具有将载料工位处的晶圆上的太鼓环从晶圆上剥离并移载到所述废料收纳箱中的结构本方案的结构能够独立、有效地对切割后的太鼓环进行去除,上料、移载、取环及下料过程全自动实现,有效保证了加工效率,且设备成本更低,更能满足中小企业的加工需要。
- 太鼓环去除装置
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