专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种无接触破碎多晶硅的方法-CN201410057558.3无效
  • 季静佳;王体虎 - 亚洲硅业(青海)有限公司
  • 2014-02-20 - 2014-05-28 - B02C19/18
  • 本发明公开了一种无接触破碎多晶硅的方法,更具体的说,本发明公开了一种利用激光技术破碎多晶硅的方法。本发明的无接触破碎多晶硅的方法,把至少一束激光射向多晶硅棒或者多晶硅块,多晶硅棒或者多晶硅块的表面或者体内的局部区域吸收激光能量后,该多晶硅棒或多晶硅块的局部区域被瞬时加热。被加热的多晶硅棒或多晶硅块的局部区域膨胀,在多晶硅柱或多晶硅块的表面或体内产生热膨胀应力,致使多晶硅棒或多晶硅块破碎。
  • 一种接触破碎多晶方法
  • [发明专利]一种PIP多晶硅刻蚀工艺方法-CN201110360070.4无效
  • 黄志刚 - 上海华虹NEC电子有限公司
  • 2011-11-14 - 2013-05-15 - H01L21/3213
  • 本发明公开了一种PIP多晶硅刻蚀工艺方法,包括如下步骤:1)在硅基底上生长栅氧,在栅氧上沉积一层多晶硅,多晶硅光刻和刻蚀,形成多晶硅栅极作为PIP多晶硅的底部多晶硅;在全硅片上沉积一层侧墙氧化膜作为PIP多晶硅的中间绝缘层,然后再沉积一层多晶硅作为PIP多晶硅的顶部多晶硅,在PIP多晶硅的顶部多晶硅上沉积保护膜,然后进行PIP多晶硅光刻,保护膜和PIP多晶硅的顶部多晶硅刻蚀,光刻胶去除;2)氧化膜侧墙刻蚀和侧墙形成本发明在现有的PIP多晶硅结构的顶部淀积一层保护膜,来改善PIP多晶硅在侧墙刻蚀时候的损失,从而达到稳定晶片面内PIP多晶硅的阻值。
  • 一种pip多晶刻蚀工艺方法
  • [实用新型]一种光伏发电多晶硅片-CN201620334914.6有效
  • 孙显强;李莉花;陈德超 - 温州市赛拉弗能源有限公司
  • 2016-04-19 - 2016-08-31 - H01L31/04
  • 本实用新型公开了一种光伏发电多晶硅片,包括第一多晶单元行和第二多晶单元行,所述第一多晶单元行和第二多晶单元行均包含有多晶单元,所述多晶单元上层设有吸光层,所述吸光层下部设有P型多晶硅层,所述P型多晶硅层下部设有N型多晶硅层,所述P型多晶硅层与N型多晶硅层中间连接部分形成PN结,所述P型多晶硅层上设有上电极,所述N型多晶硅层上设有下电极,所述第一多晶单元行和第二多晶单元行均由多晶单元的上电极和下电极串联连接形成,所述第一多晶单元行的左端为下电极,所述第二多晶单元行的左端为上电极。
  • 一种发电多晶硅片
  • [发明专利]一种多晶硅破碎方法及设备-CN201910155929.4有效
  • 肖贵云;张涛;张坚;卢亮;邹江华;金浩 - 晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司
  • 2019-03-01 - 2021-03-09 - B02C19/18
  • 本申请公开了一种多晶硅破碎方法,包括将多晶硅置于密闭空间中;将所述多晶硅加热至预设温度;对加热后的多晶硅进行冷却,以使冷却后的多晶硅产生内应力;对所述冷却后的多晶硅进行破碎,以得到多晶硅碎料。本申请中将多晶硅放入密闭空间中加热至预设温度后,再对加热后的多晶硅进行冷却,使得多晶硅内部产生内应力,由于内应力的存在,对所述冷却后的多晶硅进行破碎时,只需要较小的冲击力即可将多晶硅击碎,得到多晶硅碎料,同时减少多晶硅粉末的产生,即减少多晶硅的损耗。此外,本申请还提供一种具有上述优点的多晶硅破碎设备。
  • 一种多晶破碎方法设备
  • [发明专利]一种单元栅蚀刻方法-CN201010002835.2无效
  • 陶志波;陈伏宏 - 和舰科技(苏州)有限公司
  • 2010-01-18 - 2011-07-20 - H01L21/28
  • 所述方法,包括:步骤(1):控制单元栅上多晶硅1结构与多晶硅1+氧化硅-氮化硅-氧化硅+多晶硅0结构的高度同步,同时蚀刻所述多晶硅1+氧化硅-氮化硅-氧化硅+多晶硅0结构的多晶硅1层和所述多晶硅1结构;步骤(2):同时蚀刻所述多晶硅1+氧化硅-氮化硅-氧化硅+多晶硅0结构的氧化硅-氮化硅-氧化硅层和所述多晶硅1结构;步骤(3):同时蚀刻所述多晶硅1+氧化硅-氮化硅-氧化硅+多晶硅0结构的多晶硅0层和所述多晶硅本发明的方法能够避免多晶硅残留,避免形成多晶硅桥,提高产品良率。
  • 一种单元蚀刻方法
  • [发明专利]电可编程的多晶硅熔丝器件结构-CN201810992764.1有效
  • 武洁 - 上海华虹宏力半导体制造有限公司
  • 2018-08-29 - 2020-08-11 - H01L23/522
  • 本发明公开了一种电可编程的多晶硅熔丝器件结构,包括多晶硅熔丝阳极、多晶硅熔丝阴极以及多晶硅熔丝三部分;中间的多晶硅熔丝两头分别连接多晶硅熔丝阳极以及多晶硅熔丝阴极;多晶硅熔丝的宽度远小于多晶硅熔丝阳极和多晶硅熔丝阴极所述多晶硅熔丝部分对应多晶硅宽度为设计规则允许最小宽度,多晶硅熔丝电阻方块数在8~13之间;多晶硅熔丝阴极与多晶硅熔丝连接处角度a为30~60度;多晶硅阳极打满接触孔,多晶硅阴极的接触孔只形成于最外围一圈本发明结构在多晶硅熔丝阳极灌入大的编程电流时,熔丝连接处有更大的温度梯度,更容易发生电迁移,编程后阻值标准偏差减小30%。
  • 可编程多晶硅熔丝器件结构
  • [发明专利]多晶硅破碎方法-CN202310495908.3在审
  • 闫家强;吴锋;田新;沙南雪;赵春梅;韩秀娟 - 江苏鑫华半导体科技股份有限公司
  • 2023-05-05 - 2023-08-15 - B02C19/18
  • 本发明公开了一种多晶硅破碎方法,该方法包括:(1)将多晶硅进行预降温,以便得到预降温后的多晶硅;(2)将所述预降温后的多晶硅进行冷冻,以便得到冷冻后的多晶硅;(3)将所述冷冻后的多晶硅进行加热,以便得到加热后的多晶硅;(4)将所述加热后的多晶硅进行破碎,以便得到破碎后的多晶硅。本发明的多晶硅破碎方法可以使多晶硅获得极大的晶间应力,从而使多晶硅容易破碎,提高多晶硅破碎的产品收率,延长设备破碎机构的使用寿命,并降低维护成本。
  • 多晶破碎方法
  • [发明专利]电极结构与太阳电池结构-CN202010072891.7在审
  • 廖士霆;罗俊杰;张瀚丞;黄建福;陈建勋 - 财团法人工业技术研究院
  • 2020-01-21 - 2021-06-11 - H01L31/0224
  • 本发明公开了一种电极结构,包括多层掺杂多晶结构与电极。多层掺杂多晶结构包括第一掺杂多晶层、第二掺杂多晶层与第一掺杂介电层。第二掺杂多晶层位于第一掺杂多晶层上。第一掺杂多晶层与第二掺杂多晶层为相同掺杂型。第二掺杂多晶层的掺杂浓度大于第一掺杂多晶层的掺杂浓度。第一掺杂介电层位于第一掺杂多晶层与第二掺杂多晶层之间。电极位于第二掺杂多晶层的远离第一掺杂介电层的一侧。电极电性连接至多层掺杂多晶结构。上述电极结构可优化场效应、提升隐开路电压与降低片电阻。
  • 电极结构太阳电池

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