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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]晶圆盒清洗装置及其控制方法-CN202110902585.6有效
发明人：徐晨歌;李迎辉 -专利权人：徐州鑫晶半导体科技有限公司
申请日： 2021-08-06 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： B08B9/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆盒清洗装置及其控制方法，晶圆盒清洗装置包括腔体、旋转架和清洗组件，腔体内限定出清洗腔，旋转架可转动地设于清洗腔内，且用于固定晶圆盒，清洗组件设于腔体，清洗组件具有清洗区域，且用于向清洗区域喷清洗液，清洗组件在第一状态下的喷液量大于在第二状态下的喷液量，控制方法包括以下步骤：旋转架带动晶圆盒以使晶圆盒相对清洗区域转动，判断晶圆盒清洗装置是否满足预设条件，预设条件为清洗区域内具有晶圆盒的至少部分；如果是根据本发明的晶圆盒清洗装置的控制方法，可以在保证晶圆盒清洗效果的前提下，节省清洗液的用量，降低清洗成本。
晶圆盒清洗装置及其控制方法

[实用新型]一种催化剂生产用的分离装置-CN202121732907.9有效
发明人：孙泓;韩宝亭 -专利权人：山东高德鲁田催化剂有限公司
申请日： 2021-07-28 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： B01D29/03 文献下载
摘要：包括污水桶，污水桶顶端设有分离管，分离管下端位于污水桶内，分离管外侧固定安装有多个呈圆周阵列分布的连接杆，连接杆一端固连在污水桶上，污水桶底部固定安装有多个支撑柱，分离管内固定安装有磁性圆环，分离管内设有圆盒，圆盒放置在磁性圆环上且相互吸附在一起，圆盒底部开设有若干均匀分布的透水孔。通过将物料倒入分离管内，物料停留在圆盒上，物料内的液体可由圆盒上的透水孔排出，从而得到分离后的固态物料，磁性圆环可对圆盒进行支撑，圆盒与磁性圆环之间通过磁力吸附在一起，从而圆盒与磁性圆环之间分离便捷，取出圆盒可对分离管内部进行清理
一种催化剂生产分离装置

[实用新型]半导体设备及其前端模块-CN202223018239.0有效
发明人：李建银 -专利权人：北京七星华创集成电路装备有限公司
申请日： 2022-11-14 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提供一种半导体设备及其前端模块，前端模块设置有用于承载晶圆盒的承载装置，晶圆盒用于装载晶圆，晶圆盒的底部设置有进气口和排气口，承载装置集成有进排气结构，进排气结构包括本体、进气部件和排气部件，本体固定设置在承载装置上，用于承载晶圆盒，进气部件固定设置在本体上，且与晶圆盒的进气口对应连通，用于向晶圆盒内通入气体，排气部件固定设置在本体上，且与晶圆盒的排气口对应连通，用于排出晶圆盒内的气体。本实用新型提供的半导体设备及其前端模块能够便于进排气结构的使用，便于对晶圆盒内进行吹扫。
半导体设备及其前端模块

[发明专利]晶圆传输盒-CN202210528134.5有效
发明人：叶莹;张冬峰;鲍伟成;王文广;王旭晨;祝佳辉 -专利权人：上海果纳半导体技术有限公司武汉分公司
申请日： 2022-05-16 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明公开了晶圆传输盒，包括一侧开口的盒体，盒体限定形成一个主腔体。主腔体内部设置有用于晶圆存放的栅架，栅架将主腔体分隔成多个用于单个晶圆存放的晶圆插槽。盒体的开口处设置有固定在盒体上的开口板组，开口板组上开设有若干连通主腔体和外部空间的晶圆交流口，晶圆交流口的数量和位置与晶圆插槽匹配。每个晶圆交流口均能通过一个阀门组件启闭。盒体上还设置有晶圆检测装置，用于检测主腔体内的晶圆的位姿。阀门组件结构紧凑，可以省去晶圆加载机的开门装置，节约空间，简化结构的复杂程度。同时自带晶圆位姿检测功能，可以及时发现问题，避免对晶圆及其晶圆取放机械手手指的损伤。
传输

[实用新型]晶圆卡塞盒载具定位机构-CN202223365930.6有效
发明人：刘钦源;雷剑锋;郑少宇 -专利权人：普雷赛斯（苏州）智能科技有限公司
申请日： 2022-12-15 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶圆加工技术领域，涉及一种晶圆卡塞盒载具定位机构。本实用新型通过定位组件对卡塞盒顶部进行定位，压料组件将卡塞盒压紧在定位组件上，以此完成卡塞盒的周向和竖直方向定位，保证卡塞盒取放晶圆时的稳定性，支撑板上支撑槽与固定凹槽同步对卡塞盒上的晶圆进行平稳支撑，有效防止晶圆的移动，又可避免磨损晶圆的边缘，可保证晶圆在运输和取放料过程中的安全。
晶圆卡塞盒载具定位机构

[实用新型]一种晶圆盒-CN201120019650.2有效
发明人：高海林;赵庆国;许俊 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2011-01-21 - 公布日： 2011-09-07 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆盒，包括：盒体及盒盖，所述盒体底部具有底座，盒盖盖于所述盒体上，所述盒体底座上设置有交叉的凸起横梁，所述交叉的凸起横梁之间设置有凸起块，所述凸起横梁和所述凸起块相对于所述底座的高度相同本实用新型的晶圆盒在盒体和盒盖的两对对角上均分别设置有卡条和卡扣，起到加紧固定盒盖及盒体的作用，且使得置于晶圆盒内的晶圆能够受力均匀，进而可提高置于晶圆盒内的晶圆在运输过程中的安全性，降低晶圆破片情况发生的概率
一种晶圆盒

[实用新型]晶圆存储货架-CN201520334078.7有效
发明人：张学良;高海林 -专利权人：中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
申请日： 2015-05-21 - 公布日： 2015-09-30 - 主分类号： B65D61/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种晶圆存储货架，包括承载部以及位于所述承载部四周的止挡部，用以从四个方向固定承载晶圆的晶圆盒。此晶圆存储货架通过止挡部的可移动设计，能够承载不同大小的晶圆盒，由于可转动因而方便操作人员查看晶圆盒的各个面。相比于现有技术更为方便，也保证了晶圆盒的安全。
存储货架

[实用新型]一种晶圆盒-CN201620931692.6有效
发明人：张学良;高海林 -专利权人：中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2016-08-24 - 公布日： 2017-02-08 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种晶圆盒，所述晶圆盒包括盒体以及盖合于所述盒体上的盒盖，其中，盒体外侧的底部为一平面结构，于所述平面结构上具有至少一个由外向内凹陷的卡合槽；所述盒盖的外侧上具有至少一个凸起的固定块，当对多个所述晶圆盒进行堆叠时由于所述晶圆盒的底部不存在有凸起的结构，因此可改善晶圆盒的底部与放置台面之间产生较大的摩擦而损坏包装袋的问题，并且能够实现多个晶圆盒堆叠放置，有效利用空间。
一种晶圆盒

[实用新型]晶圆倒片装置及晶圆倒片组件-CN202320146539.2有效
发明人：吴汉勇;李登 -专利权人：英诺赛科（珠海）科技有限公司
申请日： 2023-01-19 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本实用新型公开一种晶圆倒片装置及晶圆倒片组件，该晶圆倒片装置包括底板，底板上设置有第一晶圆盒放置位以及第二晶圆盒放置位，第一晶圆盒放置位与第二晶圆盒放置位在底板上沿第一方向依次布置；第一晶圆盒放置位设置有第一定位槽，第二晶圆盒放置位设置有第二定位槽；底板在第一方向的第一端设置有滑动组件；并且，底板在第一方向的第二端设置有限位块，限位块自底板的上表面向上凸起，限位块设置在第二定位槽远离第一定位槽的一侧。该晶圆倒片组件包括上述的晶圆倒片装置。本实用新型能够可靠的将第二晶圆盒固定在底板上，避免晶圆转置时发生损坏的情况。
晶圆倒片装置组件

[发明专利]一种分选机-CN202211701258.5在审
发明人：刘志维;杨建;汪迪;张先俊 -专利权人：深圳市华芯智能装备有限公司
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开一种分选机，包括晶圆盒供料组件；晶圆台组件与晶圆盒供料组件连接，晶圆盒供料组件能够给晶圆台组件提供晶圆，晶圆能够移动至上料装置上，上料装置上的抓取装置能够抓取晶圆并带动晶圆进行旋转；晶圆拉料组件设置在晶圆盒供料组件和晶圆台组件之间，晶圆拉料组件能够拉取晶圆盒供料组件的晶圆放置至晶圆台组件上；输入视觉能够观察抓取装置上的晶圆旋转后的位置；视觉检测机构与上料装置连接，视觉检测机构能够获取晶圆的图像；控制器根据晶圆的图像控制顶针带动合格的晶圆进入与上料装置连接的卷盘内本发明方案可解决现有分选机仍需工人对晶圆进行归类放置，易造成晶圆被划伤导致晶圆的生产质量及产品合格率受到影响。
一种分选

[实用新型]一种用于半导体设备前端集成晶圆的分拣装置-CN202122641834.9有效
发明人：朱干军;王旭东;高昆;胡贇;吴洪坤;郭晋竹 -专利权人：中电科风华信息装备股份有限公司
申请日： 2021-11-01 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： B07C5/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于半导体设备前端集成晶圆的分拣装置，包括晶圆盒位置扫描台、位于晶圆盒位置扫描台一侧的晶圆检测承载台，所述晶圆盒位置扫描台上设置有至少一个待检晶圆盒，所述待检晶圆盒内放置有待检晶圆，所述晶圆盒位置扫描台和晶圆检测承载台之间设置有晶圆搬运机器人，所述晶圆搬运机器人的两侧分别设置有调整待检晶圆放置位置的晶圆位置预矫正器和放置已检晶圆的晶圆分拣模块。本实用新型通过设置晶圆搬运机器人实现待检测晶圆由上料、位置校正、检测、下料等工位的连续、自动取放及分类归集，极大提升了检测效率，减少了晶圆在分级分类等二次操作中被污染的风险。
一种用于半导体设备前端集成分拣装置

[实用新型]一种设备前端装置-CN202121368964.3有效
发明人：谢海波;高君 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2021-06-18 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本申请公开了一种设备前端装置，包括：晶圆装载单元，与晶圆传送室连通，用于承载晶圆传送盒；净化气体管道，设置于所述晶圆装载单元中并与所述晶圆传送盒连通，通过所述净化气体管道将净化气体输送至所述晶圆传送盒；风机过滤单元，用于向所述晶圆传送室内输送过滤气体；扰流结构，设置于所述晶圆传送室中并位于所述风机过滤单元和所述晶圆装载单元之间，用于防止所述风机过滤单元输送的过滤气体流入所述晶圆传送盒。
一种设备前端装置

[实用新型]一种带有多层切换功能的绘画颜料盒-CN202020321568.4有效
发明人：黄文娟;黄文婷 -专利权人：长沙环境保护职业技术学院
申请日： 2020-03-16 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： B44D3/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及颜料盒技术领域，尤其为一种带有多层切换功能的绘画颜料盒，包括底盘，底盘的上方依次设有第一圆盒、第二圆盒和密封盘；底盘顶部设有支撑柱，支撑柱的顶端设有圆盘，第一圆盒的底部开设有第一转动槽，第一转动槽的顶部开设有第一限位槽，第一圆盒内设有固定管，第二圆盒的底面开设有第二转动槽，第二转动槽的顶部开设有第二限位槽，固定管内设有弹簧，弹簧的上方设有圆柱；本实用新型通过设置的支撑柱、第一半圆槽、第一圆盒、第二圆盒、圆柱和固定块，用手旋转固定块，使第一圆盒在支撑柱和圆盘支撑下旋转；第二圆盒在圆柱的支撑下旋转；保证让较远颜料旋转至学生身边，让学生绘画笔都能蘸上颜料，确保学生们的正常绘画。
一种带有多层切换功能绘画颜料

[实用新型]一种乳化沥青存储盒-CN202020011878.6有效
发明人：周清华 -专利权人：徐州雷友信息科技有限公司
申请日： 2020-01-04 - 公布日： 2020-11-20 - 主分类号： B01F7/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种乳化沥青存储盒，包括圆型盒体、搅拌棒和加热腔，所述圆型盒体底部设置有电机底座，所述电机底座内部通过螺栓安装有电机，所述圆型盒体顶部开设有料口，所述圆型盒体表面顶部通过螺栓设置有温度测试仪，所述圆型盒体表面位于温度测试仪底部设置有观察窗，所述圆型盒体内层设置有加热腔，所述加热腔内通过螺栓安装有电加热管。
一种乳化沥青存储

[实用新型]半导体处理设备-CN202120581192.5有效
发明人：张龙;黄有为;陈鲁;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-03-22 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：第一装载装置位于壳体外，第一装载装置用于装载第一类晶圆盒并使第一类晶圆盒与壳体内部连通。第二装载装置位于壳体外，并与壳体内部连通，第二装载装置用于装载第二类晶圆盒，第一类晶圆盒与第二类晶圆盒不同。本申请实施方式的半导体处理设备，第一装载装置和第二装载装置能够装载不同的第一类晶圆盒和第二类晶圆盒，且第一装载装置和第二装载装置使第一类晶圆盒和第二类晶圆盒与壳体内部连通，以使半导体处理设备能够同时检测两种不同类的晶圆盒内的晶圆
半导体处理设备

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