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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种晶圆转移系统以及方法-CN202111090673.7在审
  • 吴功;倪萌;郑英杰;国建花;李国勇 - 上海大族富创得科技有限公司
  • 2021-09-17 - 2021-12-03 - H01L21/677
  • 本发明公开了一种晶圆转移系统，包括：晶圆盒取放单元，晶圆盒取放单元包括装载台一，装载台一用于接收并承载晶圆盒；开盒单元，开盒单元包括晶圆盒开关器和夹持机构，晶圆盒开关器用于承载和开闭晶圆盒，夹持机构用于夹持并提升位于晶圆盒开关器上的晶圆盒；晶圆盒转移机械手，晶圆盒转移机械手用于在晶圆盒取放单元和开盒单元之间转移晶圆盒。本发明通过晶圆盒取放单元、开盒单元和晶圆盒转移机械手的配合，实现对晶圆盒快速开闭作业，确保晶圆盒转移机械手的高效作业，同时也提供了多个晶圆盒缓冲暂存工位，从而避免晶圆盒载入或载出堵塞，提高了系统运行效率
  • 一种转移系统以及方法
  • [实用新型]冰箱鸡蛋储存盒-CN202020231688.5有效
  • 杨奕闽 - 杨奕闽
  • 2020-03-02 - 2020-09-25 - F25D25/02
  • 本实用新型公开一种冰箱鸡蛋储存盒，它由底盒和单圆盒构成，底盒为长方形空腔体，底盒表面设置两排各5个圆盒孔，每个圆盒孔中放置一个单圆盒，圆盒孔的内径略大于单圆盒的直径，单圆盒由圆盒盖和圆盒体组成，圆盒体为圆柱形空腔体，圆盒体表面开置蛋孔，圆盒盖盖在圆盒体上面。将鸡鸭蛋放置在圆盒体的置蛋孔中，在圆盒体上盖圆盒盖形成单圆盒，把放有鸡鸭蛋的单圆盒插入底盒的圆盒孔中，然后放置冰箱中储存保鲜。
  • 冰箱鸡蛋储存
  • [实用新型]一种晶圆转移系统-CN202122256258.6有效
  • 吴功;倪萌;郑英杰;国建花;李国勇 - 上海大族富创得科技有限公司
  • 2021-09-17 - 2022-04-12 - H01L21/677
  • 本实用新型公开了一种晶圆转移系统，包括：晶圆盒取放单元，晶圆盒取放单元包括装载台一，装载台一用于接收并承载晶圆盒；开盒单元，开盒单元包括晶圆盒开关器和夹持机构，晶圆盒开关器用于承载和开闭晶圆盒，夹持机构用于夹持并提升位于晶圆盒开关器上的晶圆盒；晶圆盒转移机械手，晶圆盒转移机械手用于在晶圆盒取放单元和开盒单元之间转移晶圆盒。本实用新型通过晶圆盒取放单元、开盒单元和晶圆盒转移机械手的配合，实现对晶圆盒快速开闭作业，确保晶圆盒转移机械手的高效作业，同时也提供了多个晶圆盒缓冲暂存工位，从而避免晶圆盒载入或载出堵塞，提高了系统运行效率
  • 一种转移系统
  • [发明专利]半导体晶圆盒仓储运输结构系统-CN202110178441.0在审
  • 邓羽辰 - 艾迪森科技有限公司
  • 2021-02-09 - 2021-06-01 - B65G1/04
  • 本发明公开一种半导体晶圆盒仓储运输结构系统。主要系由晶圆盒升降运输结构体、晶圆盒储架结构体、手臂结构体、手臂抓取晶圆盒结构体及晶圆盒仓储结构体组成，其中晶圆盒储架结构体系悬挂天花板上，利用晶圆盒升降运输结构体将晶圆盒作为升降至入、出料口，并以手臂结构体抓取晶圆盒利用轨道输送至晶圆盒仓储结构体作为精准晶圆盒的取放，由于晶圆盒储放至悬吊在天花板上的晶圆盒仓储结构体，使本发明系统具有节省空间、晶圆盒方便取放的特性。
  • 半导体晶圆盒仓储运输结构系统
  • [实用新型]半导体晶圆盒仓储运输结构系统-CN202120367987.6有效
  • 邓羽辰 - 艾迪森科技有限公司
  • 2021-02-09 - 2022-01-11 - B65G1/04
  • 本实用新型公开一种半导体晶圆盒仓储运输结构系统。主要系由晶圆盒升降运输结构体、晶圆盒储架结构体、手臂结构体、手臂抓取晶圆盒结构体及晶圆盒仓储结构体组成，其中晶圆盒储架结构体系悬挂天花板上，利用晶圆盒升降运输结构体将晶圆盒作为升降至入、出料口，并以手臂结构体抓取晶圆盒利用轨道输送至晶圆盒仓储结构体作为精准晶圆盒的取放，由于晶圆盒储放至悬吊在天花板上的晶圆盒仓储结构体，使本实用新型系统具有节省空间、晶圆盒方便取放的特性。
  • 半导体晶圆盒仓储运输结构系统
  • [实用新型]一种立柜式晶圆盒开盒设备-CN202220916274.5有效
  • 陈曙光;林坚;王彭 - 泓浒（苏州）半导体科技有限公司
  • 2022-04-20 - 2022-07-29 - H01L21/677
  • 本实用新型涉及一种立柜式晶圆盒开盒设备，支撑立板上从上往下依次设置有抬升框架、支撑座和移动底座，抬升框架上设置有晶圆盒组件，晶圆盒组件包括晶圆护罩、晶圆盒和晶圆盒底座，支撑座上设置有用于驱动抬升框架抬升操作的抬升驱动机构本实用新型一种立柜式晶圆盒开盒设备，通过开盒机构可以方便将晶圆盒组件中的晶圆护罩、晶圆盒和晶圆盒底座分离开来，方便对晶圆盒内的晶圆进行出料处理，且晶圆护罩通过抬升框架可以实现抬升操作，操作简单，使用方便，可以减少人力消耗，效率较高；通过压盒机构可以方便对晶圆护罩进行压盒操作。
  • 一种立柜式晶圆盒开盒设备
  • [发明专利]用于批处理半导体设备的晶圆调度方法及系统-CN202110594599.6在审
  • 周法福 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2021-05-28 - 2021-09-24 - H01L21/67
  • 本发明公开了一种用于批处理半导体设备的晶圆调度方法及系统，方法包括：获取存放于晶圆盒架上的所有晶圆盒的晶圆盒信息，晶圆盒包括填充假片晶圆盒和端置假片晶圆盒，晶圆盒信息包括对应晶圆盒中晶圆的数量和晶圆盒膜厚值，其中，晶圆盒膜厚值为对应晶圆盒内所有晶圆膜厚值的最大值；判断晶圆盒膜厚值小于最大膜厚设定值的填充假片晶圆盒和/或端置假片晶圆盒中对应的晶圆数量是否满足本次批处理工艺的需求，若满足，则选择晶圆盒膜厚值最小的晶圆盒中对应数量的晶圆参与本次批处理工艺实现基于晶圆的膜厚属性对参与批处理工艺的晶圆进行调度管理，并提升工艺质量。
  • 用于批处理半导体设备调度方法系统
  • [实用新型]一种小型晶圆盒开盒设备-CN202220918318.8有效
  • 陈曙光;林坚;王彭 - 泓浒（苏州）半导体科技有限公司
  • 2022-04-20 - 2022-08-02 - H01L21/677
  • 本实用新型涉及一种小型晶圆盒开盒设备，从上往下依次包括抬升框架、开盒机构和固定底座，抬升框架上设置有晶圆盒组件，固定底座上设置有抬升驱动机构，抬升驱动机构包括抬升电机、第一从动带轮、第二从动带轮和第三从动带轮本实用新型一种小型晶圆盒开盒设备，通过开盒机构可以方便将晶圆盒组件中的晶圆护罩、晶圆盒和晶圆盒底座分离开来，方便对晶圆盒内的晶圆进行处理处理，且晶圆盒通过晶圆盒底座可以实现抬升操作，操作简单，使用方便，可以减少人力消耗，效率较高；通过压盒机构可以方便对晶圆护罩进行压盒操作。
  • 一种小型晶圆盒开盒设备
  • [实用新型]晶圆盒自动开关装置-CN201720527980.X有效
  • 黄平;林保璋;计骏;唐黎华 - 中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
  • 2017-05-12 - 2018-03-02 - H01L21/673
  • 本实用新型提供了一种晶圆盒自动开关装置，用于开启和关闭晶圆盒，所述晶圆盒包括晶圆盒盒体和晶圆盒底座，所述晶圆盒自动开关装置包括底盘和第一动力装置，其中所述底盘包括第一底盘及第二底盘，所述第一底盘承载所述晶圆盒盒体，所述第二底盘承载所述晶圆盒底座；所述第一动力装置驱动所述第二底盘和/或所述第一底盘进行升降，从而使晶圆盒盒体和晶圆盒底座分开或者合起。本实用新型通过第一动力装置驱动所述第二底盘和/或所述第一底盘进行升降，防止手动操作开启和关闭晶圆盒造成的晶圆破损和污染，并且控制装置监测所述底盘以确保晶圆盒完全下降到目标位置，防止动作不到位引起的晶圆破损事故
  • 晶圆盒自动开关装置
  • [发明专利]晶圆盒开盒系统以及夹持机构、暂存装置-CN202111090805.6在审
  • 吴功;倪萌;李壮 - 上海大族富创得科技有限公司
  • 2021-09-17 - 2021-12-03 - H01L21/677
  • 本发明公开了一种晶圆盒开盒系统，包括：晶圆盒开关器，晶圆盒开关器包括装载台和开盒机构，装载台用于承载晶圆盒，开盒机构设置于装载台的侧边，并用于开闭晶圆盒；和，暂存装置，暂存装置靠近装载台设置，并用于将位于装载台上的晶圆盒提升至暂存位置，暂存装置包括夹持机构，夹持机构包括安装座、设置于安装座上的顶爪和至少两相对设置的下爪，下爪沿顶爪周向设置，下爪包括用于与晶圆盒连接头的底面相抵靠的倾斜抵靠面。本发明的晶圆盒开盒系统通过设置暂存装置与晶圆盒开关器进行配合，利用暂存装置提升位于晶圆盒开关器上的空盒或满盒，缩短了晶圆盒开关器的闲置时间，从而加快了晶圆盒转换流程。
  • 晶圆盒开盒系统以及夹持机构暂存装置
  • [实用新型]一种晶圆盒运送系统-CN201520569182.4有效
  • 邬璐磊;李广宁 - 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
  • 2015-07-31 - 2015-11-25 - H01L21/677
  • 本实用新型提供一种晶圆盒运送系统，包括：晶圆盒搬运车，用于装载并运输晶圆盒；所述晶圆盒搬运车上设有至少一个用于检测晶圆盒位置的传感器；搬运车传送装置，用于承载所述晶圆盒搬运车，并将所述晶圆盒搬运车传送至预设区域；晶圆盒取放装置，所述晶圆盒取放装置包括一对机械手，用于将晶圆盒放入或取出所述晶圆盒搬运车；其中：所述机械手连接有用于清洗所述传感器所在区域的颗粒清除装置。本实用新型的晶圆盒运送系统中，晶圆盒取放装置的机械手上连接有颗粒清除装置，在机械手移动的过程中，晶圆盒搬运车上的传感器所在区域的颗粒可以被有效清除，从而减少了信息误报的情况，减少当机时间，使得晶圆盒运送小车的使用效率得到提升
  • 一种晶圆盒运送系统
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