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[发明专利]含氟气的气体的供给方法和供给设备-CN201980056969.1有效
发明人：西尾勇弥 -专利权人：昭和电工株式会社
申请日： 2019-07-30 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： F17C7/00 文献下载
摘要：提供一种含氟气的气体的供给方法，其不会使含氟气的气体的供给设备的装置结构变复杂，并且不会降低含氟气的气体的氟气浓度。实行封闭工序，以压力低于填充容器(2)内的气压的方式向配管(4)中的容器阀(3)与压力调整器(7)之间的部分导入第2含氟气的气体，该第2含氟气的气体的氟气浓度相对于第1含氟气的气体的氟气体浓度在±10％封闭工序之后，将缓冲罐(9)设为打开状态，从填充容器(2)向配管(4)中的容器阀(3)与压力调整器(7)之间的部分导入第1含氟气的气体，然后将压力调整器(7)设为打开状态，在通过压力调整器(7)调整压力的同时向消费设备(20)供给第1含氟气的气体。
氟气气体供给方法设备

[发明专利]由质谱仪测定含卤素氟化物气体中的氟气浓度的测定方法-CN202080032719.7在审
发明人：铃木淳 -专利权人：昭和电工株式会社
申请日： 2020-11-12 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： G01N27/62 文献下载
摘要：本发明的目的是提供一种高精度的测定方法，其在使用质谱仪测定含卤素氟化物气体所含的氟气体浓度时，减少了因气体流路上的金属构件和杂质与氟气发生反应而被消耗所引起的氟气浓度的测定误差。本发明包含一种氟气浓度的测定方法，是使用具有含卤素氟化物气体供给源(16)、含氟气体供给源(14)、配管(24)、毛细管(28)和质谱仪(30)的分析装置(10)来测定含卤素氟化物气体所含的氟气(F2)的浓度的方法，其特征在于，在测定所述氟气浓度之前，利用包含从所述含氟气体供给源供给的含氟气体的钝化用气体，对所述配管和所述毛细管进行钝化处理。
质谱仪测定卤素氟化物气体中的氟气浓度方法

[发明专利]用于控制半导体生产过程中的含氟气体排放量的方法-CN201910570585.3在审
发明人：郭玥锋;姜涵 -专利权人：苏州五蕴明泰科技有限公司
申请日： 2019-06-27 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本公开的实施例公开了一种用于控制半导体生产过程中的含氟气体排放量的方法。该方法的一具体实施方式包括：确定目标区域内的半导体企业的数量；对于所确定数量的半导体企业中的每一个，确定该企业的四氟化碳、三氟甲烷、六氟乙烷、六氟化硫、三氟化氮的排放量，从而确定每个半导体企业的含氟气体排放量；汇总各个半导体企业的含氟气体排放量，确定目标区域内的半导体企业的含氟气体排放总量；根据该含氟气体排放总量和各个半导体企业的含氟气体排放量，控制目标区域内的半导体企业的含氟气体的排放。该实施方式实现了目标区域内的含氟气体的排放的确定和控制。
用于控制半导体生产过程中的氟气排放量方法

[发明专利]基于温等离子体喷口电弧的含氟气体降解装置及方法-CN202211290421.3在审
发明人：孙昊;荣命哲;吴翊;郭运顺;龙虎 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2022-10-20 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： B01D53/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于温等离子体喷口电弧的含氟气体降解装置及方法，基于温等离子体喷口电弧的含氟气体降解装置中，利用高压直流电源击穿载气产生温等离子体，使含氟气体进行电离分解，并与活性气体反应抑制含氟气体的复合反应该装置包括气体控制输入系统，控制载气、含氟气体、活性气体的输入流量；温等离子体发生器，产生直流电弧，得到的温等离子体喷流经过拉瓦尔喷口后快速冷却；尾气处理系统，产生的酸性气体产物被吸附剂吸收，并由缓冲罐连接尾气出口和循环泵，对含氟气体进行循环多次降解，待尾气检验合格后排放。
基于等离子体喷口电弧氟气降解装置方法

[发明专利]气体处理装置-CN202210229166.5在审
发明人：三枝裕司;半田达也;笹原丽红;旭健史郎;西村和晃;吉村章弘;古泽正树 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2022-03-10 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及气体处理装置。提供一种能够在使用含氟气体和碱性气体的气体处理时抑制由于微粒而在基板产生缺陷的气体处理装置。对基板实施气体处理的气体处理装置具有：腔室，其收容基板；气体供给机构，其将含氟气体和碱性气体独立地供给；以及气体导入构件，其使自气体供给机构供给来的含氟气体与碱性气体合流，并将含氟气体与碱性气体混合而成的混合气体向腔室导入，气体导入构件的包含含氟气体与碱性气体的合流部位的部分由铝类材料构成，至少在包含合流部位的部分形成有树脂涂层。
气体处理装置

[发明专利]蚀刻方法和蚀刻装置-CN202210647736.2在审
发明人：高桥信博;中込健 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2022-06-08 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：本发明提供一种蚀刻方法和蚀刻装置，使蚀刻后的含锗膜的形状成为期望的形状。所述蚀刻方法包括以下工序：将基板保存到处理容器内的工序，所述基板具备由是含锗膜的侧壁构成的凹部；蚀刻工序，向所述处理容器内供给包含第一含氟气体和第二含氟气体的蚀刻气体，来对所述侧壁进行蚀刻；以及形状控制工序，其包含于所述蚀刻工序，在该形状控制工序中，调整该处理容器内的所述第一含氟气体的分压或者向所述处理容器内供给的所述第二含氟气体相对于该第一含氟气体的流量的比例，来控制蚀刻后的所述侧壁的形状。
蚀刻方法装置

[发明专利]等离子体处理方法-CN201380039947.7有效
发明人：原田彰俊 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2013-08-07 - 公布日： 2016-12-07 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：本实施方式的等离子体处理方法，首先实施对等离子体处理空间供给第一含氟气体，使用第一含氟气体的等离子体对被处理基板进行蚀刻的蚀刻工序(S101)。接着，等离子体处理方法实施对等离子体处理空间供给O2气体，使用O2气体的等离子体除去蚀刻工序之后附着在表面与等离子体处理空间相对地配置的部件上的含碳物的含碳物除去工序(S102)。接着，等离子体处理方法实施对等离子体处理空间供给含氮气体和第二含氟气体，使用含氮气体和第二含氟气体的等离子体除去蚀刻工序之后附着在部件上的含钛物的含钛物除去工序(S103)。
等离子体处理方法

[发明专利]基于电感耦合热等离子体的含氟气体降解装置及方法-CN202211290970.0在审
发明人：孙昊;吴翊;荣命哲;郭运顺;龙虎 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2022-10-20 - 公布日： 2023-02-24 - 主分类号： B01D53/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于电感耦合热等离子体的含氟气体降解装置及方法，基于电感耦合热等离子体的含氟气体降解装置中，进气控制系统分别控制载气、冷却气、含氟气体与活性气体的流量；电感耦合等离子体反应器产生并约束热等离子体区域，并有腔体振动发生器固定在反应腔外壁以防止固体粉末附着；尾气处理系统由锥形粉末收集器处理固体产物，喷淋塔处理酸性气体产物，并在检测达标后排放，装置利用高频交流电源和感应线圈在反应腔内产生感应耦合热等离子体，在局部高温作用下使含氟气体彻底分解并与活性气体反应，从而抑制含氟气体的自恢复特性。
基于电感耦合等离子体氟气降解装置方法

[实用新型]一种氟化工业用材料存储装置-CN201920999196.8有效
发明人：汤峤永;贺光瑞 -专利权人：天津市长芦化工新材料有限公司
申请日： 2019-06-30 - 公布日： 2020-04-21 - 主分类号： F17C13/08 文献下载
摘要：一种氟化工业用材料存储装置，包括含氟气体存储罐、存储罐紧固套、紧固套支撑板、存储罐辅助紧固套、存储罐固定板、存放车载物板、存储罐存放车，所述含氟气体存储罐上部具有存储罐调节手轮,所述存储罐调节手轮左侧具有排气口,含氟气体存储罐下部连接存放车载物板,所述存放车载物板下部连接存储罐存放车,所述存储罐存放车下部具有两个固定支腿,所述固定支腿右侧具有两个万向轮,存放车载物板上部具有多个存储罐固定板,所述存储罐固定板均匀分布在存放车载物板上部，存储罐固定板内侧连接含氟气体存储罐,所述含氟气体存储罐外侧连接两侧存储罐紧固套。
一种氟化工业用材存储装置

[发明专利]一种八氟丙烷生产方法及应用其的生产线-CN202211577709.9在审
发明人：傅铸红;杨俊豪;陈艳珊;谢武中 -专利权人：广东华特气体股份有限公司
申请日： 2022-12-05 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： C07C17/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种八氟丙烷生产方法及应用其的生产线，方法包括下述步骤：电解获得氟气：取定量的氟化氢液体加入电解槽中，对氟化氢液体进行电解获得含杂质氟气；氟气纯化：对含杂质氟气进行增压、多级冷凝净化和多级吸附处理，获得纯化的氟气；制备八氟丙烷：将氮气、纯化的氟气、六氟丙烯和氟化液加入氟碳反应器内，纯化的氟气和六氟丙烯反应获得含八氟丙烷的混合工艺气体，获得粗制的含八氟丙烷的混合工艺气体；八氟丙烷纯化：对粗制的含八氟丙烷的混合工艺气体进行多级吸附处理、增压和冷凝处理，获得纯化的八氟丙烷；本发明旨在提供一种八氟丙烷生产方法及应用其的生产线，通过氟气和六氟丙烯反应制备八氟丙烷，生产工艺安全，生产效率高。
一种丙烷生产方法应用生产线

[发明专利]供等离子体浸没枪(PFG)操作的使用含氟和惰性气体的方法和组件-CN201880081071.5在审
发明人： J·R·德普雷;J·D·斯威尼;S·N·耶德卫;唐瀛 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2018-11-14 - 公布日： 2020-08-04 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明描述一种用于将包括惰性气体和含氟气体的气体递送至等离子体浸没枪的气体供应组件，其中所述组件被配置成将体积不超过所述含氟气体和所述惰性气体的总体积的10％的所述含氟气体递送至所述浸没枪。所述含氟气体可自所述等离子体浸没枪中的材料沉积物产生挥发性反应产物气体，且从而引起所述等离子体浸没枪中等离子体生成细丝的再金属化。与所述气体量组合，所述组件和所述方法可使用气体流动速率以使清理效果优化且减少使用期间细丝材料自所述等离子体浸没枪的损失。
等离子体浸没 pfg 操作使用惰性气体方法组件

[实用新型]流化氟吸收塔-CN201420378448.2有效
发明人：詹光健;江寿良;张运森;陈富祥 -专利权人：深圳市芭田生态工程股份有限公司
申请日： 2014-07-09 - 公布日： 2014-12-10 - 主分类号： B01D53/78 文献下载
摘要：本实用新型的吸收塔，工作时由进液口处向吸收室内注入吸收剂，同时在进风口处鼓入含氟气体，在旋流器的作用下，含氟气体与吸收剂在吸收室内充分接触，且在含氟气体吸收后生成的混合物可在重力作用下由塔壳底部的出液口排出，同时吸收室内剩余的无氟气体则由塔壳顶部的出气口排出，整个过程对含氟气体的吸收率比较高，且不会造成堵塞的情况，吸收剂与含氟气体之间的吸收过程可持续进行。
流化吸收塔

[发明专利]用于含氟气体分离的聚酰亚胺树脂及其制备方法-CN202111638518.4有效
发明人：王汉利;杨振东;王军;王俊莉;顾萍;殷莹莹;孙慧超 -专利权人：山东华夏神舟新材料有限公司
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： C08G73/10 文献下载
摘要：本发明属于功能高分子材料的技术领域，具体涉及一种用于含氟气体分离的聚酰亚胺树脂及其制备方法，作为气体分离膜材料主要用于氟化工行业中含氟气体回收循环再利用领域。采用本发明聚酰亚胺树脂制备的聚酰亚胺气体分离膜兼具高选择性和高渗透性，具有良好的耐热稳定性，玻璃化转变温度高于300℃，R32的渗透系数≥100Barrer，对R32/R134a的选择系数≥50，提高气体渗透系数的同时，保持较高的选择性，并提高抗塑化性能，提高含氟气体分离效率，从而节约成本，高效回收含氟气体，减缓温室效应。
用于氟气分离聚酰亚胺树脂及其制备方法

[发明专利]反应室的清洁方法-CN200810042802.3有效
发明人：王炎雷 -专利权人：和舰科技（苏州）有限公司
申请日： 2008-09-11 - 公布日： 2010-03-17 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：一种反应室的清洁方法，首先，进行第一清洁步骤，包括将含氟气体及含氧气体通入反应室，其中含氟气体不包括含硫的氟化物；然后，进行第二清洁步骤，包括将O₂通入反应室。
反应清洁方法

[发明专利]一种制备氟气和含氟混合气的装置及方法-CN202011536388.9在审
发明人：林坤;王少波;徐海云;王亚峰;马朝选;鲁毅;耿谦;王斌 -专利权人：中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司
申请日： 2020-12-22 - 公布日： 2021-04-23 - 主分类号： C25B9/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种制备氟气和含氟混合气的装置及方法，属于氟气和含氟混合气制备技术领域。所述装置包括无水氟化氢储存钢瓶、连接管道、电解槽、微粒过滤器、一级冷凝器、二级冷凝器、气体混配器、配气储存瓶、充装压缩机、气体储罐、吸附塔和控制系统。在电解槽电解无水氟化氢生成氟气和氢气；进入微粒过滤器过滤；经过两级冷凝液化除杂；气体进入吸附塔，通过氟化钠化学吸附除去大部分气相氟化氢，获得纯度达到99.9％以上的高纯氟气；如需制备含氟混合气，使配气进入气体混配器中与所述高纯氟气混合得到含氟混合气所述装置及方法制得的氟气纯度高，可根据需求与配气混合，广泛用于电子、新材料、航空航天、医药卫生等领域。
一种制备氟气混合装置方法

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