“可容置晶舟盒”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网_专利查询网

首页在售求购查询申请展会资讯专利榜企服商城升级VIP

立即登录免费注册

在售专利
求购专利
查询专利
新闻资讯
技术展会
招商加盟
专利榜

本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

专利名称

专利名称
专利号码
专利分类
申请人
公布日期

农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

专利下载VIP

公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

钻瓜专利网为您找到相关结果1975775个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[实用新型]可容置晶舟盒的下沉式感应耦合电浆洁净机-CN202020579909.8有效
发明人：王辉 -专利权人：京隆科技(苏州)有限公司
申请日： 2020-04-17 - 公布日： 2020-08-28 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：一种可容置晶舟盒的下沉式感应耦合电浆洁净机，包括：腔体、晶舟盒、抽真空设备、气密门组件及电浆发射源，腔体内形成一腔室，腔体具有朝上的进入口，晶舟盒内承载着多片晶圆，由进入口下沉进入腔室内，气密门组件安装于腔体上且位于进入口处，用以开闭且维持腔室的密封，电浆发射源与抽真空设备分别连通腔室，抽真空设备使腔室内产生真空并维持腔室所需的真空度，电浆发射源对腔室内的晶舟盒发射感应耦合电浆，以轰击去除晶舟盒及晶圆表面的污染物。
可容置晶舟盒下沉感应耦合洁净

[发明专利]测量工具-CN200810204776.X有效
发明人：马彪;任晓栋;张卫民;施训志 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2008-12-17 - 公布日： 2010-06-23 - 主分类号： G01B5/30 文献下载
摘要：本发明提供一种测量工具，用于测量晶舟盒相对于标准形状的变形尺寸，所述晶舟盒包括一容置部，所述容置部具有一开口，所述测量工具包括第一测量部以及第二测量部，所述第一测量部与所述晶舟盒容置部的标准形状相匹配，用于测量所述晶舟盒容置部的变形情况，所述第二测量部与所述第一测量部连接，用于测量所述晶舟盒容置部的开口尺寸。本发明所提供的测量工具，可快速并准确地检测出所述晶舟盒是否变形，变形尺寸是否在可接受范围内，并且不受人为误差以及测量地点的影响，不同的测量人员测量同一待测晶舟盒可得出相同的测量结论，且可在制程设备内进行测量
测量工具

[实用新型]芯片间距转换装置-CN200920267197.X无效
发明人：钟德昱;黄元裕;吴功 -专利权人：台湾富创得工程股份有限公司
申请日： 2009-11-26 - 公布日： 2010-08-18 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型是有关于一种芯片间距转换装置，包括：一机台、一第一晶舟盒、一前推片装置、一可变间距机构、一过桥机构、及一第二晶舟盒。其中，前推片装置滑设于机台上并位于第一晶舟盒旁，第一晶舟盒、可变间距机构、过桥机构、及第二晶舟盒为依序直立排列固设于机台上，且皆包括有等间距上下水平排列的多个承置架，第二晶舟盒的多个承置架的间距与过桥机构的多个承置架的间距相同，且与第一晶舟盒不同。由此，本实用新型可使芯片在二种不同间距的晶舟盒间任意转换，以便能节省人力与时间。
芯片间距转换装置

[实用新型]晶舟盒-CN201320070938.1有效
发明人：罗孝嘉;林志铭;洪加恩;林添瑞 -专利权人：家登精密工业股份有限公司
申请日： 2013-02-06 - 公布日： 2013-11-13 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种晶舟盒，适于容置一晶舟，该晶舟盒包含一包括一底壁的底座、一可开启地盖合于该底座上的上盖。该上盖与该底座相配合界定出一供该晶舟放置的容室。该晶舟盒的特色是该底座还包括一自该底壁向上凸伸的定位凸肋。当该晶舟放置于该容室中，借该定位凸肋的设置，达到将该晶舟定位于该晶舟盒内的功效。
晶舟盒

[实用新型]晶舟-CN201620647353.5有效
发明人：牛刚 -专利权人：中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2016-06-22 - 公布日： 2016-11-09 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开一种晶舟，在壳体中设置承载所述托盘盒的若干托板，所述壳体内的空间被若干托板分隔为多层容置所述托盘盒的空间；所述托盘盒包括第一凹槽及设置于所述第一凹槽内的第二凹槽，所述第一凹槽用于容置第一规格的晶圆，所述第二凹槽用于容置第二规格的晶圆。通过将托盘盒设计为具有第一凹槽和第二凹槽的结构，使得同一托盘盒可同时容置两种规格的晶圆，增加了托盘盒的承载晶圆量，进而增加了晶舟承载晶圆的总量。与此同时，同一晶舟不局限于承载同一规格的晶圆，还可以承载其他规格的晶圆，满足实际量化生产的需求，提高了工作效率。
晶舟

[实用新型]晶圆装卸系统-CN202121786395.4有效
发明人：蔡易霖;蔡俊郎 -专利权人：合肥晶合集成电路股份有限公司
申请日： 2021-07-30 - 公布日： 2022-01-28 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种晶圆装卸系统，包括：晶舟盒，内部具有放置晶圆的容置空腔，端部具有和容置空腔连通的开口以及柜门；气体供应源，位于晶舟盒的外部，向容置空腔提供气体；第一气体传输管，位于容置空腔内并且与开口相对的一面设置，连通气体供应源；第二气体传输管，位于容置空腔内并且与开口相对的一面设置，连通第一气体传输管，第二气体传输管的管体上具有多个气体出口；晶圆装卸机，具有机械臂和空气吹淋器，机械臂用于拾取位于晶舟盒的内部的晶圆，空气吹淋器提供吹向机械臂的空气；机械臂拾取晶圆时，打开柜门的同时，气体供应源提供的气体通过气体出口流向容置空间，以增加容置空间的内部的气压，防止杂质进入容置空腔内。
装卸系统

[发明专利]一种晶圆升降台及其晶圆测试机-CN200810001905.5无效
发明人：林世芳;李沛勋 -专利权人：京元电子股份有限公司
申请日： 2008-01-03 - 公布日： 2009-07-08 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明一种晶圆升降台，包含：第一容置区与第二容置区，该第一容置区容置至少一晶圆盒，该晶圆盒具有一开口以容许承载晶圆片的晶舟自晶圆盒内移出至该第二容置区；一驱动模块，用以提供该晶舟的位置升降；一感测装置；以及一控制装置，用以接收来自该感测装置所传送的信号，根据该信号控制该晶圆升降台的作动；其特征在于：该感测装置的感测区在该第二容置区内形成至少一个基准面，该基准面邻近于晶圆片的外缘，且垂直于晶圆片的平面，当该晶舟内的晶圆片出现位置的偏移而与该基准面形成干涉而触发该感测装置时，该控制装置即停止晶圆升降台的运作。
一种升降台及其测试

[实用新型]晶圆测试机晶舟盒乘载平台-CN201420669400.7有效
发明人：周崇铭 -专利权人：江苏汇成光电有限公司
申请日： 2014-11-11 - 公布日： 2015-03-11 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种晶圆测试机晶舟盒乘载平台，晶舟盒乘载平台上与晶舟盒下方的凸缘相对应的位置安装有晶舟盒放置检知开关，晶舟盒放置检知开关设有触发其动作的弹片，弹片凸出于晶舟盒乘载平台的上表面，晶舟盒乘载平台上安装有多块限位挡板，各限位挡板的厚度相同且限位挡板的上表面高于弹片的上表面，各限位挡板之间缝隙的形状、大小和位置分别与晶舟盒下方凸缘的形状、大小和位置相适配。当晶舟盒放置位置正确时，其下方的凸缘正好嵌入到各限位挡板之间缝隙中，凸缘可以压下检知开关。当晶舟盒放置反向时，晶舟盒被搁置在各限位挡板上，凸缘无法压下检知开关，晶圆测试机就不能启动作业，也就不会造成晶舟盒倾倒，晶片滑出。
测试机晶舟盒乘载平台

[实用新型]金属晶舟盒固定装置及晶舟盒推车-CN201420553855.2有效
发明人：欧阳婧;徐波;赵娟 -专利权人：武汉新芯集成电路制造有限公司
申请日： 2014-09-24 - 公布日： 2015-02-11 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种金属晶舟盒固定装置及晶舟盒推车，金属晶舟盒固定装置包括：底板、底部表面固定在底板上的底座及首尾相连组成方形固定在底板上方的护栏，其中，底座顶部表面与水平面之间呈预定夹角。金属晶舟盒固定装置内设有顶部表面具有一定倾斜角度，并将金属晶舟盒固定装置固定在晶舟盒推车上，在金属晶舟盒放置在金属晶舟盒固定装置内时，位于金属晶舟盒内的晶圆也会倾向一侧，紧贴卡槽的一侧，从而避免在传输金属晶舟盒时晶圆在卡槽内发生剧烈晃动，防止晶圆破片。
金属晶舟盒固定装置推车

[实用新型]一种晶舟盒上料装置及晶舟盒-CN202222820595.8有效
发明人：邓臣飞;曹争取;孔露峰;胡恒;秦浩 -专利权人：昆山丘钛微电子科技股份有限公司
申请日： 2022-10-25 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本申请提出一种晶舟盒上料装置及晶舟盒，所述晶舟盒上料装置用于安装在晶舟盒本体上对晶舟盒本体中容纳的晶圆进行支撑定位，所述晶舟盒上料装置包括用于安放所述晶圆的治具本体以及将所述治具本体与所述晶舟盒本体可拆卸地连接的锁合机构；本实用新型可直接将治具本体安装在所述晶舟盒上，无需人工从晶舟盒中取出晶圆再放入提篮中，省去该人工取放步骤，能够有效避免接触晶圆导致不确定的刮伤风险，并提高了生产效率。
一种晶舟盒上料装置晶舟盒

[实用新型]一种晶舟盒-CN202020664068.0有效
发明人：邹小芬;陈少斌;曹如友;江强强 -专利权人：泉州三安半导体科技有限公司
申请日： 2020-04-27 - 公布日： 2021-02-12 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本申请公开了一种晶舟盒，用于半导体制作工艺中盛放和转移片源，例如在LED芯片前道制造中一般将同种条件一定数量的片晶片放置装在晶舟盒中进行站与站间传递，晶舟盒包括：具有容置空腔和开口的承载盒体、与承载盒体开口对应设置的盒盖，盒盖与承载盒体通过铰链连接，其中盒盖具有朝向承载盒体的内侧和远离承载盒体的外侧，内侧设置有用于固定晶片位置的弹性压条，压条内具有释放应力孔洞或者卡槽，本申请解决了压条内应力变形及容易损伤晶圆的问题。
一种晶舟盒

[实用新型]一种具有减振吸能效果的晶舟盒承载机构-CN202223060273.4有效
发明人：苏丽娜 -专利权人：苏州拓德机器人科技有限公司
申请日： 2022-11-17 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本申请涉及一种具有减振吸能效果的晶舟盒承载机构，承载面为高低不同的若干个，每个承载面均可放置晶舟盒，提高了晶舟盒承载数量，同时，承载面错落布置，晶舟盒置入承载面上时，部分被左侧面和右侧面以及上方的承载面或顶面所包围，同时，前端的开口也能够为晶舟盒的置入或取出提供让位空间，同时每个承载面上均设置缓冲垫，能够保护晶舟盒，防止晶舟盒发生振动。
一种具有减振吸能效果晶舟盒承载机构

[发明专利]晶圆转移方法以及晶圆装载系统-CN202210815390.2在审
发明人：吴政隆;黄志宏;朱延安;白峻荣 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2022-07-08 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明的实施例提供了一种晶圆转移方法以及晶圆装载系统。该方法包括在烘箱室的装载端口上设置晶圆盒。晶圆盒包含一个或多个带有半导体晶圆的晶舟。晶舟通过晶圆盒的壁槽支撑在晶圆盒中。使用推杆，转移一个或多个晶舟离开晶圆盒并且进入设置在装载端口上的晶圆盒夹具中。转移的一个或多个晶舟通过晶圆盒夹具的壁槽支撑在晶圆盒夹具中。在转移期间，当一个或多个晶舟通过插入在晶圆盒和晶圆盒夹具之间的舟桥的壁槽穿过晶圆盒和晶圆盒夹具之间的间隙时，支撑一个或多个晶舟。在转移和使用机器人后，将晶圆盒夹具中的一个或多个晶舟移动到烘箱室中。
转移方法以及装载系统

[实用新型]一种具有定位机构的晶舟盒运输载具-CN202223090815.2有效
发明人：柯杨 -专利权人：苏州拓德机器人科技有限公司
申请日： 2022-11-17 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本申请涉及一种具有定位机构的晶舟盒运输载具，载具车能够自主移动从而无需人工推动，载具车上的机械手保证了晶舟盒的抓取盒摆放能够由机械手来进行操作，避免了人工的操作，载具车上的晶舟盒装载机构能够装载晶舟盒，晶舟盒装载机构能够从安装到载具车或者从载具车上卸下，为了使晶舟盒装载机构稳定地由载具车负载，载具车顶部设置承载板，承载板上设置有呈矩形设置的缓冲柱和定位机构，通过定位机构保证了晶舟盒装载机构每次均位于相同的位置通过上述设置使得具有定位机构的晶舟盒运输载具能够方便、稳定地运输晶舟盒，降低了人工成本，提高了自动化程度。
一种具有定位机构晶舟盒运输

[实用新型]一种安全放置晶圆及晶舟盒工作推车-CN202122403401.X有效
发明人：吴灿煌;陈圣育;殷小罕;张福亮;王金永 -专利权人：合肥芯测半导体有限公司
申请日： 2021-09-28 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： B62B3/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶圆加工设备技术领域，且公开了一种安全放置晶圆及晶舟盒工作推车，包括支架、工作平台和万向轮，所述工作平台与支架固定连接，所述万向轮设置于支架的底部，所述工作平台的顶部开设有置物槽，所述置物槽前后两侧的内壁均为斜面，所述置物槽的内部设置有隔板，所述置物槽的内底壁开设有限制槽。该安全放置晶圆及晶舟盒工作推车，通过支架、工作平台、万向轮、置物槽、隔板、限制槽、限制杆、抵紧弹簧、滑套、压板和第一把手之间的相互配合，达到了便于拿取晶圆，降低晶元因真空吸取失误而破碎的概率的效果，解决了因晶元取放高度较高，若晶元在被吸取时意外掉落，晶元极易破碎的问题。
一种安全放置晶舟盒工作推车

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
下一页»
尾页
共 100000 条

友情链接：交换友情链接需要网站权重大于4，网站收录10W以上，如符合条件，请联系QQ：76009968。

关于我们寻求报道投稿须知广告合作版权声明网站地图友情链接企业标识联系我们

在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

版权所有钻瓜科技（天津）有限公司津ICP备15000985号津公网安备 12019202000206号http://www.vipzhuanli.com/公布日期

咨询在线客服

咨询在线客服

tel code back_top