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[实用新型]垃圾焚烧炉的脱酸装置-CN202021442614.2有效
发明人：魏建华;杨兵 -专利权人：潍坊碧城环境科技有限公司
申请日： 2020-07-21 - 公布日： 2021-05-18 - 主分类号： B01D50/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种垃圾焚烧炉的脱酸装置，涉及垃圾焚烧技术领域，包括反应室及与反应室相连接的除尘装置，反应室的下方设有布风装置，反应室的侧壁上设有进料口，布风装置设有进气口。尾气进入布风装置后，在布风装置作用下，使在布风装置上的脱酸剂反应室内处于流化状态，尾气在反应室中与脱酸剂充分混合，尾气中的SO2、HCl等酸性气体与脱酸剂反应，实现尾气脱酸。同时因为垃圾焚烧热解经过余热回收和冷却处理后的尾气温度小于200摄氏度，水分在反应室内能完全蒸发，从而不产生废水。反应物由烟气从反应室上部携带出去，经过除尘装置分离杂质，得到达标气体直接排放到空气中，不需要另外增加除尘设备，经济效益好。
垃圾焚烧脱酸装置

[发明专利]感性耦合反应器及其工作方法-CN202010732092.8在审
发明人：吴堃;杨猛 -专利权人：上海邦芯半导体设备有限公司
申请日： 2020-07-27 - 公布日： 2020-10-20 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种感性耦合反应器及其工作方法，感性耦合反应器包括：反应腔主体；位于所述反应腔主体上方的感性耦合射频单元；所述感性耦合射频单元包括：屏蔽罩；位于所述屏蔽罩内部的反应室介质管，所述反应室介质管的侧壁倾斜且反应室介质管的顶部横截面小于底部横截面；位于所述屏蔽罩内部且分布于所述反应室介质管侧部的上射频天线和下射频天线，所述上射频天线和下射频天线相互分立，所述上射频天线馈入的射频功率和所述下射频天线馈入的射频功率分别可调。所述感性耦合反应器能加强对等离子体分布的控制能力。
感性耦合反应器及其工作方法

[实用新型]感性耦合反应器-CN202021506953.2有效
发明人：吴堃;杨猛 -专利权人：上海邦芯半导体设备有限公司
申请日： 2020-07-27 - 公布日： 2021-01-08 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种感性耦合反应器，感性耦合反应器包括：反应腔主体；位于所述反应腔主体上方的感性耦合射频单元；所述感性耦合射频单元包括：屏蔽罩；位于所述屏蔽罩内部的反应室介质管，所述反应室介质管的侧壁倾斜且反应室介质管的顶部横截面小于底部横截面；位于所述屏蔽罩内部且分布于所述反应室介质管侧部的上射频天线和下射频天线，所述上射频天线和下射频天线相互分立，所述上射频天线馈入的射频功率和所述下射频天线馈入的射频功率分别可调。所述感性耦合反应器能加强对等离子体分布的控制能力。
感性耦合反应器

[发明专利]热裂解一体化设备-CN201810587123.8在审
发明人：王焕升 -专利权人：江苏联合创业环保有限公司
申请日： 2018-06-06 - 公布日： 2018-10-09 - 主分类号： B01J19/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种热裂解一体化设备，其包括热裂解室、设于所述热裂解室下方的加热装置、设于所述热裂解室上的注入口、填料口以及出料口，所述热裂解室内部设有多块分隔板，每个分隔板与所述热裂解室的侧壁之间形成注入腔，所有分隔板之间或所有分隔板与所述热裂解室之间形成反应腔，所述分隔板上设有多个喷口，每个喷口上设有一个阀门。利用分隔板将热裂解室分割为注入腔和反应腔，催化剂在注入腔内分散，待热裂解室内温度达到设定值，阀门打开，催化剂迅速分散进入反应腔内，同时注入室与反应室同样设于热裂解室内，在反应室加热同时注入室也随之升温，不仅节能、反应所需热能少且反应迅速彻底。
热裂解分隔板反应腔注入腔一体化设备反应室注入室催化剂喷口室内阀门打开加热装置出料口室内部填料口注入口侧壁多块阀门加热节能分割

[实用新型]一种多腔室化学气相沉积反应室及沉积系统-CN202122181578.X有效
发明人：张明倩;于金凤 -专利权人：安徽光智科技有限公司
申请日： 2021-09-10 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： C23C16/54 文献下载
摘要：本实用新型属于化学气相沉积领域领域，公开了一种多腔室化学气相沉积反应室及沉积系统，所述反应室为石墨板侧壁组成的直棱柱结构，所述反应室的底面为底板，所述反应室内设有垂直并紧挨底板设置的多个石墨隔板，所述石墨隔板将所述反应室分隔成多个小的反应腔室，位于每个所述反应腔室内的底板上均设有喷嘴装置，所述喷嘴装置包括硫化氢或硒化氢蒸汽喷嘴和围绕所述硫化氢或硒化氢蒸汽喷嘴的设置锌蒸汽喷嘴。本实用新型沉积室结构的设计可同时大规模生产硫化锌或硒化锌平板和整流罩，提高沉积室的利用率。喷嘴装置结构的设计可以使沉积室内气流分布均匀，提升生产的平板和整流罩的质量，节约成本。
一种多腔室化学沉积反应系统

[发明专利]一种ALD加工设备以及加工方法-CN202110075328.X在审
发明人：万军;王辉;廖海涛;王斌 -专利权人：无锡市邑晶半导体科技有限公司
申请日： 2021-01-20 - 公布日： 2021-05-28 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：加工设备的反应器包括真空腔室以及内置于真空腔室内的反应腔室，反应腔室的底部开设有相对设置的进气通道及出气通道，反应腔室的侧壁上设置有第一料口，真空腔室的侧壁上设置有第二料口，送料腔室设置在反应器的外侧，送料腔室的侧面上设置有第三料口和第四料口，第三料口和第二料口之间设置有可开启的第三密封门，送料腔室上设置有可将第四料口开闭的第四密封门，输送装置设置在送料腔室内，输送装置包括输送机构、第一密封门以及第二密封门
一种 ald 加工设备以及方法

[实用新型]一种ALD加工设备-CN202120163328.0有效
发明人：万军;王辉;廖海涛;王斌 -专利权人：无锡市邑晶半导体科技有限公司
申请日： 2021-01-20 - 公布日： 2021-10-15 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：加工设备的反应器包括真空腔室以及内置于真空腔室内的反应腔室，反应腔室的底部开设有相对设置的进气通道及出气通道，反应腔室的侧壁上设置有第一料口，真空腔室的侧壁上设置有第二料口，送料腔室设置在反应器的外侧，送料腔室的侧面上设置有第三料口和第四料口，第三料口和第二料口之间设置有可开启的第三密封门，送料腔室上设置有可将第四料口开闭的第四密封门，输送装置设置在送料腔室内，输送装置包括输送机构、第一密封门以及第二密封门
一种 ald 加工设备

[实用新型]一种汞含量检测的前处理装置-CN202223252778.0有效
发明人：张维;费志军;张飞 -专利权人：贵州理工学院
申请日： 2022-11-28 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： G01N1/38 文献下载
摘要：本方案公开了重金属检测技术领域的一种汞含量检测的前处理装置，包括反应室，反应室的顶部连通有氩气通管、盐酸通管和硼氢化钠通管，反应室的顶部还设有样品添加口；所述反应室内设有混匀组件，所述混匀组件包括连接在反应室底部外侧的电机，电机的输出轴连接有转轴，转轴穿过反应室的底部，转轴的外周连接有扰流叶片，所述反应室的侧壁上端连通有输出管道，所述氩气通管、盐酸通管、硼氢化钠通管和输出管道与反应室的连通处设有阀体。
一种含量检测处理装置

[发明专利]一种环境功能材料气相法改性装置-CN202111387196.0有效
发明人：张亚涛;逯祯 -专利权人：郑州大学
申请日： 2021-11-22 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： B01J20/20 文献下载
摘要：该改性装置包括壳体其内部设有水平的隔板，隔板将壳体分隔为接料室和改性室，改性室内设有多个独立的改性仓，各改性仓均包括：仓体，沿其长度方向自上而下依次为第一反应段和第二反应段，第二反应段与第一反应段可拆卸连接，第一反应段为双层结构，其内层侧壁上设有若干进气口，外侧壁与高温气体供应装置连接，第一反应段与接料室连通；第二反应段自上而下分为多段，且各段的进料口口径自上而下依次缩小；抽气机构与第二反应段最底端连接。
一种环境功能材料气相法改性装置

[发明专利]基于电化学催化氧化的总有机碳分析仪及其方法-CN201310521214.9无效
发明人：雷乐成;杨彬;李浩;余青霓 -专利权人：浙江大学
申请日： 2013-10-30 - 公布日： 2014-04-23 - 主分类号： G01N21/3504 文献下载
摘要：它包括电化学反应池、非色散红外探测器、气体扩散膜、湿气交换器、气体收集室；分析仪本体从上到下顺次设有气体收集室、湿气交换器、气体扩散膜、电化学反应池；气体收集室中部插有非色散红外探测器，电化学反应池包括阳极、阴极、反应液和废液排放口，电化学反应池内侧壁相对设有阳极、阴极，电化学反应池侧壁设有废液排放口，电化学反应池内设有反应液；所述的湿气交换器采用Nafion或TEFLON聚合物管层材料。
基于电化学催化氧化有机分析及其方法

[实用新型]一种基于电化学催化氧化的总有机碳分析仪-CN201320673406.7有效
发明人：雷乐成;杨彬;李浩;余青霓 -专利权人：浙江大学
申请日： 2013-10-30 - 公布日： 2014-07-23 - 主分类号： G01N21/3504 文献下载
摘要：它包括电化学反应池、非色散红外探测器、气体扩散膜、湿气交换器、气体收集室；分析仪本体从上到下顺次设有气体收集室、湿气交换器、气体扩散膜、电化学反应池；气体收集室中部插有非色散红外探测器，电化学反应池包括阳极、阴极、反应液和废液排放口，电化学反应池内侧壁相对设有阳极、阴极，电化学反应池侧壁设有废液排放口，电化学反应池内设有反应液;所述的湿气交换器采用Nafion或TEFLON聚合物管层材料。
一种基于电化学催化氧化有机分析

[实用新型]一种生物表面活性剂的生产与分离装置-CN201320625212.X有效
发明人：陈亮;曲红涛 -专利权人：北京市捷博特能源技术有限公司
申请日： 2013-10-11 - 公布日： 2014-04-16 - 主分类号： C12M1/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种生物表面活性剂的生产与分离装置，包括反应釜、搅拌装置、入料管和出料管，所述反应釜顶部设有竖直安装的分布器，该分布器与入料管竖直连接，反应釜内设有分离器将反应釜分为液泡收集室和下部反应室，反应釜底部铺设有出料管，所述下部反应室的侧壁内设有一射流器，该射流器穿过侧壁与反应釜外的缓冲罐连接。
一种生物表面活性剂生产分离装置

[发明专利]一种用于含氯化氢气体的工业废气的处理设备-CN201810943849.0在审
发明人：郭玉连 -专利权人：郭玉连
申请日： 2018-08-18 - 公布日： 2018-12-07 - 主分类号： B01D53/81 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于含氯化氢气体的工业废气的处理设备，包括反应室，内部为中空设置，两端分别设有进口部和出口部；处理室，设于反应室内，至少部分侧壁上设有供气体通过的孔，设有与进口部相配合的进气端和与出口部相配合的出气端；进气管；出气管；设于反应室和处理室之间的间隙内的颗粒反应物；引流装置，设于所述处理室内，用于多次将由进气端进入处理室的部分气体引导分流至反应室和处理室之间的间隙内再进入至处理室内。本发明通过引流装置的设置，使得气体能够多次进入至处理室和反应室之间的间隙内与颗粒反应物进行反应吸收后，再进入至处理室内，从而保证气体能够在处理室内被良好的净化吸收，处理效果良好。
反应室室内含氯化氢气体处理设备工业废气颗粒反应引流装置出口部进气端气体引导中空设置出气端出气管供气体进气管侧壁吸收进口配合分流净化保证

[发明专利]一种应用于立式成膜设备的热场-CN202211545266.5在审
发明人：刘鹏;徐文立;沈磊 -专利权人：宁波恒普真空科技股份有限公司
申请日： 2022-12-05 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： C30B25/10 文献下载
摘要：本发明公开一种应用于立式成膜设备的热场，涉及半导体生产设备技术领域，包括进气室、反应室和基座；进气室底部设有反应室，且进气室与反应室相连通；基座位于反应室内下部，且基座位于进气室正下方；基座顶部用于承托晶片；基座内设有基座热场，基座热场用于对晶片加热；反应室底部设置有排气口；反应室内设置有套筒，套筒与反应室的侧壁之间设置有上部热场。通过上部热场对原料气体进行加热，通过基座热场对晶片的外圈和内圈进行加热，配合辐射温度计和温度控制模块，使晶片表面温度差处于合理范围内，避免由于内外圈温差使晶片发生形变甚至可能导致晶片破损影响成膜质量，并且，能够缩短晶片装载恢复至反应温度所需时间
一种应用于立式设备

[实用新型]一种甲烷水蒸气重整制氢反应装置-CN202021171984.7有效
发明人：朱锐斌;彭程;朱湛斌 -专利权人：广州汤姆逊电气有限公司
申请日： 2020-06-22 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： C01B3/38 文献下载
摘要：本实用新型公开一种甲烷水蒸气重整制氢反应装置，包括自下而上依次连通的反应物混合室、催化反应室、产物室和产物管道，反应物混合室与催化反应室的连通处设置第一滤片，反应物混合室内部侧壁相向设置有水蒸气喷头、高温甲烷气体喷头，反应物混合室的下方设置第一废物回收装置，催化反应室与产物室的连通处设置第二滤片，产物室与产物管道的连通处设置有第三滤片，产物管道的出口端与第二废物回收装置连通且在连通处设有第四滤片，第二废物回收装置上方设置有气体出口
一种甲烷水蒸气重整反应装置