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[发明专利]一种基于微波透射法的金属薄膜厚度测量方法-CN201610825264.X有效
发明人：叶鸣;贺永宁;王怡然;张松昌;赵小龙;王露 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2016-09-14 - 公布日： 2019-05-24 - 主分类号： G01B15/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于微波透射法的金属薄膜厚度测量方法，包括如下步骤：选取与待测样品工艺参数相同的样品作为校准样品；测量校准样品的方块电阻、膜厚、插损；依据校准样品测试数据获得金属薄膜插损‑膜厚关系曲线；测量待测样品的插损；依据插损‑膜厚关系曲线和待测样品的插损计算得到待测样品的金属薄膜厚度。本发明实现无损测量金属膜厚，而且能广泛应用于集成电路、太阳能电池、探测器等领域，具有一定的普适性。
一种基于微波透射金属薄膜厚度测量方法

[实用新型]电子元器件检测样品减薄定厚装置-CN201820224582.5有效
发明人：刘陵刚;刘本强 -专利权人：山东汉旗科技有限公司
申请日： 2018-02-08 - 公布日： 2018-11-16 - 主分类号： G01B5/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了电子元器件检测样品减薄定厚装置，包括减薄定厚主架，所述减薄定厚主架底端内部安装有主架固定通孔，且减薄定厚主架前端外部连接有电子元器件定位板，所述电子元器件定位板内部安装有支撑固定环柱，且支撑固定环柱底端连接有减薄定厚主架，所述减薄定厚主架上方内部安装有活动定位槽，且活动定位槽内部连接有样品减薄定厚板，所述样品减薄定厚板内部安装有样品顶端定厚槽，且样品减薄定厚板底端连接有支撑固定环柱，所述活动定位槽左右两侧均安装有对比标尺该电子元器件检测样品减薄定厚装置可以方便的提示检测人员电子元器件的实时厚度，且可以防止电子元器件到处晃动，避免检测人员磨削过度。
定厚电子元器件减薄主架内部安装活动定位检测样品样品减薄支撑固定定厚板底端环柱定位板本实用新型固定通孔提示检测外部连接左右两侧槽内部晃动磨削标尺检测

[发明专利]一种大气暴晒样品测厚装置及方法-CN202110817532.4在审
发明人：李伟光;潘吉林;楚鹰军;鹿中晖;夏永生;李英志 -专利权人：电信科学技术第五研究所有限公司
申请日： 2021-07-19 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： G01B21/08 文献下载
摘要：本发明提供一种大气暴晒样品测厚装置及方法，所述大气暴晒样品测厚装置包括辅助定位装置、测厚传感器和多个光束发射装置；所述辅助定位装置具有上开口的放置槽，所述放置槽用于放置样品；所述多个光束发射装置分为两组；两组光束发射装置均安装在辅助定位装置的侧壁上，并且两组光束发射装置的发射光朝向不同，使得两组光束发射装置的发射光在样品表面交汇后形成若干个光交叉定位点；所述测厚传感器用于对光交叉定位点处的样品进行测厚本发明可以不破坏样品表面状态情况下进行测厚点准确定位，可以保证样品腐蚀减薄速率的准确性。
一种大气暴晒样品装置方法

[发明专利]薄膜样品测量方法和设备及薄膜样品制备方法和设备-CN200580049003.3有效
发明人：一宫丰;麻畑达也;铃木秀和 -专利权人：精工电子纳米科技有限公司
申请日： 2005-12-22 - 公布日： 2008-03-05 - 主分类号： G01B15/02 文献下载
摘要：在将电子束照射到薄膜样品、探测所产生的二次电子并通过利用二次电子来测量薄膜样品膜厚的薄膜样品测量方法中，实现了精确地在短时间内容易地测量该膜厚，即使当该照射的电子束电流量变化时。由第一计算装置(11)计算由在膜厚测量区域探测到的二次电子数量和在参考区域探测到的二次电子数量构成的计算值。基于标准薄膜样品的校准数据和从样品(5)获得的计算值，可以计算该膜厚测量区域的膜厚。
薄膜样品测量方法设备制备方法

[发明专利]测量单层或多层样品的层的层厚和声速的方法和测量装置-CN201880064992.0有效
发明人：斯文·埃伯特 -专利权人：弗莱克森柔性工业计量有限公司
申请日： 2018-10-04 - 公布日： 2022-02-25 - 主分类号： G01B17/02 文献下载
摘要：本发明涉及对无法达到其内侧或下侧的管道、容器或者板(以下称为样品)的壁厚的测量。除此之外，本发明还涉及这些样品的涂层或者衬里的层厚的测量。公开了借助于以一发一收和脉冲回波配置方式的超声波发射器和超声波接收器的专门测量装置以及用于在不预知样品中的声速的情况下确定壁厚的相关方法。本发明的目的在于，不依赖于对样品(例如管壁、容器壁或者板)的声速的认知，测量样品的壁厚。另一目的在于，在不预知其声速的情况下，测量多层系统(例如具有涂层或衬里的管壁)的单个层厚。该方法和测量装置使得能够不依赖于对样品(例如管壁、容器壁或板)的声速的认知，测量壁厚。这使得管道的壁厚和内径的测量不确定度得以降低，并且由此使得外夹式超声波流量计的测量不确定度得以降低。
测量单层多层样品声速方法装置

[发明专利]一种旋转镀膜机及其镀膜方法-CN202310679453.0在审
发明人：沈奕;张汉焱;郑丹旭;赵翔;吕岳敏 -专利权人：汕头超声显示器技术有限公司;汕头超声显示器（二厂）有限公司;汕头超声显示器有限公司
申请日： 2023-06-09 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及一种旋转镀膜机及其镀膜方法，旋转镀膜机包括真空腔室、溅射系统、样品旋转架和用于驱动样品旋转架转动的第一驱动装置；溅射系统的主体为溅射靶位结构，溅射靶位结构包括整流罩、溅射靶、用于驱动溅射靶转动的第二驱动装置、溅射口开关控制机构，溅射口正对样品旋转架；所述旋转镀膜机还包括控制装置、膜厚传感器和用于感应样品旋转架起始角度的起始角度感应器，膜厚传感器、起始角度感应器分别与控制装置相应的输入端电连接，第一驱动装置本发明能够精确地控制样品的镀膜膜厚，并使同一样品旋转架上各样品的最终膜厚具有较好的一致性。
一种旋转镀膜及其方法

[发明专利]一种二次谐波测量方法及测量仪器-CN202110139360.X在审
发明人：李博;赵泓达;王磊;王然;张紫辰;张昆鹏;滕瑞;刘海南;赵发展 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-02-01 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： G01N21/63 文献下载
摘要：本申请公开一种二次谐波测量方法及测量仪器，方法包括：获取第一光信号，所述第一光信号通过滤掉经过待测样品反射回来的反射基波光信号获得；获取第二光信号，所述第二光信号包括经过所述待测样品反射回来的反射基波光信号；根据所述第二光信号，提取膜厚信息光信号，所述膜厚信息光信号包括带有所述待测样品对应位置处的膜厚信息的光信号；将所述第一光信号去除掉所述膜厚信息光信号，得到所述待测样品对应位置处的缺陷二次谐波信号；对所述缺陷二次谐波信号进行缺陷参数提取，得到所述待测样品对应位置处的缺陷参数。能够解决膜厚的波动会影响二次谐波，从而影响二次谐波对于样品缺陷的表征，降低缺陷参数提取的精度的问题。
一种二次谐波测量方法测量仪器

[发明专利]一种膜厚测试和均匀性调节方法-CN202211525105.X有效
发明人：陈立;郑学军;李俊杰;李新栓;寇立;薛闯;桂丹;孙桂红;祝海生;黄乐 -专利权人：湘潭宏大真空技术股份有限公司
申请日： 2022-11-30 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种膜厚测试和均匀性调节方法，包括：步骤S1：在待测样品上选定多个测试点；步骤S2：获取多个测试点的反射率或透过率光谱图；步骤S3：选定参考波长、参考光谱和波长点。步骤S4：通过光学模拟软件模拟光谱曲线和光谱曲线对应的膜厚，得出膜厚和选定的波长点对应的反射率或透过率之间的推算公式；步骤S5：根据推算公式计算选定的波长点下所有测试点的膜厚。本发明克服了大批量或大尺寸样品膜厚测试耗时长、膜厚检测时样品破坏性等问题，通过获得的膜厚和波长的推算公式可快速获得所有测试点的膜厚，膜厚测试耗时大大缩短，给膜厚的均匀性调节留出了足够的时间。
一种测试均匀调节方法

[发明专利]膜厚测定装置及膜厚测定方法-CN202180091886.3在审
发明人：大塚贤一;井口和也;中村共则 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2021-11-04 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明的膜厚测定装置是测定制造工序中的样品的膜的厚度的膜厚测定装置，具备：透镜，其将在制造工序中产生且在样品的一面反射的光(等离子体光)聚光；倾斜分色镜，其在规定的波长域透过率及反射率根据波长而变化，并且将由透镜聚光的光通过透过及反射来进行分离；区域传感器，其对通过倾斜分色镜而分离的光进行拍摄；以及控制装置，其基于来自拍摄了光的区域传感器的信号而推定样品的膜厚，求出样品的一面的膜厚分布，在样品反射的光包含：倾斜分色镜的规定的波长域中包含的波长的光
测定装置方法

[发明专利]一种基于特频光照识别技术的交联聚乙烯管壁厚测量方法-CN202310269903.9在审
发明人：朱彤;潘涛;朱清国 -专利权人：河北日泰新型管材有限公司
申请日： 2023-03-20 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明提供了应用于管壁厚测量领域的一种基于特频光照识别技术的交联聚乙烯管壁厚测量方法，该测量方法通过截取同类型不同壁厚的交联聚乙烯管作为测量样品，采集同一强度特频光源穿过不同样品管壁时的光照强度衰弱数据，并对比样品管壁实际测量数据，经服务器处理后构建交联聚乙烯管的壁厚测量模型，使得后续壁厚测量过程中，只需通过透光识别模组采集管道内光源透过管壁后的照亮强度，对比预先建立的测量模型，即可通过透光强弱变化快速得出壁厚数据，通过管道的移动使得测量点不断改变，有利于对管道壁厚进行持续稳定的全面测量，有效地提升了管道壁厚测量的高效便捷性。
一种基于光照识别技术交联聚乙烯管壁测量方法

[实用新型]用于地质勘探的土质样品储存装置-CN202020182749.3有效
发明人：翟黎明;李争;权军明 -专利权人：翟黎明
申请日： 2020-02-19 - 公布日： 2020-09-25 - 主分类号： B62B3/10 文献下载
摘要：提供一种用于地质勘探的土质样品储存装置，包括箱体，箱体内腔底部通过隔板分隔成多个小格，每个小格中设有减震厚垫，减震厚垫上设有与土质样品瓶底部适配的凹槽，箱体内腔中部设有对土质样品瓶中部进行限位的限位架，箱体上部设有箱盖，土质样品瓶上部盖有瓶盖，箱盖上对应每个土质样品瓶的位置而设有单瓶进出口，单瓶进出口通过单瓶进出盖盖合，单瓶进出盖上设有将箱体内对应的土质样品瓶的瓶盖压住的旋动压紧装置。本实用新型通过下部减震厚垫、中部限位环以及上部旋动压紧装置进行限位，有效防止土质样品瓶晃动碰撞，通过单瓶进出盖的设置，使箱体中每个土质样品瓶的放置以及进出独立设置，相互不影响，保证每个土质样品瓶的储存稳定可靠
用于地质勘探土质样品储存装置

[发明专利]一种中间涂层最小膜厚的确定方法-CN202310522556.6在审
发明人：陈林;熊芬;王冉冉;兰维;吴俊雄 -专利权人：东风汽车集团股份有限公司
申请日： 2023-05-06 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G01N21/31 文献下载
摘要：本申请公开了一种中间涂层最小膜厚的确定方法，涉及涂层厚度确定技术领域，其包括：制作具有不同中间涂层膜厚的油漆漆膜样品，分别测量每个油漆漆膜样品于预设波段的紫外可见光的透过率；获取设定波长的透过率、以及各波长区间的平均透过率；分别获取每个油漆漆膜样品下，设定波长的透过率与各平均透过率的平均值，构建中间涂层膜厚模型，并获取模型参数；根据设定波长的透过率最大限制、各波长区间的透过率最大限制、以及模型参数，分别获取设定波长、以及各波长区间对应的最小膜厚，并以各最小膜厚中的最大值与安全系数的乘积，作为中间涂层的最小膜厚。本申请，不仅最小膜厚的确定过程简单，极大地减少了确定时间，节约确定成本。
一种中间涂层最小确定方法

[发明专利]一种膜厚测试装置及膜厚测试方法-CN201510226235.7有效
发明人：王锦谦;王路;张玉军 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2015-05-06 - 公布日： 2018-06-05 - 主分类号： G01B7/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种膜厚测试装置及膜厚测试方法，属于膜厚测试技术领域。底板和压电薄膜层，采集单元包括多个均匀分布在压电薄膜层上且相互间隔的采集电路，采集电路用于采集压电薄膜层中与采集电路相对应的位置发生形变时产生的电流信号，处理单元用于根据各个采集电路采集到的电流信号计算待测薄膜样品的膜厚本发明通过采用带有压电薄膜层的平面压头与待测薄膜样品表面按压接触，使得平面压头不会像探针一样对待测薄膜样品表面造成损伤，而且，该膜厚测试装置还包括多个均匀分布在压电薄膜层上且相互间隔的采集电路，使得膜厚测试装置能同时探测多个位置的膜厚
膜厚测试压电薄膜层采集电路平面压头薄膜样品表面采集单元处理单元膜厚电流信号计算采集底板按压接触薄膜样品测试效率电流信号形变探针损伤探测

[发明专利]一种检测并消除热处理硅晶圆应力缺陷的方法-CN202310945124.6在审
发明人：吴泓明;钟佑生;黄郁璿;孙楠;冯晨萁 -专利权人：郑州合晶硅材料有限公司
申请日： 2023-07-31 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种检测并消除热处理硅晶圆应力缺陷的方法，包括以下步骤：S1.取测试样品，模拟硅晶圆生产热处理工艺参数进行热处理，使样品表面生长氧化层，选取监测点对样品不同位置氧化层膜厚进行监测，同时对样品是否发生应力缺陷进行监测；S2.调节热处理工艺参数，使样品边缘和pinmark位置产生应力缺陷，分别将样品边缘和pinmark位置产生应力缺陷时的监测点膜厚差值作为上限值和下限值；S3.采用步骤S1的热处理工艺参数对硅晶圆产品进行热处理生产时，选取同样的监测点对膜厚进行监测，当监测点膜厚差值不在上限值和下限值之间时，及时调节热处理工艺参数，避免应力缺陷产生，提高了热处理硅晶圆良率。
一种检测消除热处理硅晶圆应力缺陷方法

[发明专利]短脉冲激光超声精确测厚方法及装置-CN02100479.X无效
发明人：潘新宇;龚旗煌;陈徐宗 -专利权人：北京大学
申请日： 2002-02-05 - 公布日： 2004-02-04 - 主分类号： G01B17/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种短脉冲激光超声精确测厚方法及装置，测厚方法是利用超快的短脉冲激光束在待测样品前表面激发声波，声波传到后表面时，引起样品后表面发生形变，另一束从样品后表面反射的探测光会由于这次形变而发生第一次偏转；声脉冲到达后表面后又从后表面向前表面反射，再从前表面反射回后表面，完成一个反射周期，这时探测光就会探测到时间上有一定延迟的第二次偏转；两次偏转的时间差乘以声波在样品中的传播速度，再除以二就是样品的厚度实现测厚方法的测厚装置由光源、分光系统、聚焦系统和接收系统组成。用本发明的方法和装置可以对非常薄的单层样品的厚度，以及厚度的差值进行测量。
脉冲激光超声精确方法装置

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