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[发明专利]带电粒子束装置-CN201811363931.2有效
发明人：富松聪;麻畑达也;佐藤诚;铃木将人 -专利权人：日本株式会社日立高新技术科学
申请日： 2018-11-16 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： H01J37/02 文献下载
摘要：提供带电粒子束装置，自动地重复进行摘出试样片并将其移设于试样片保持器的动作，该试样是通过基于离子束的试样的加工而形成的。带电粒子束装置具有计算机，该计算机对聚焦离子束照射光学系统进行控制，以使得在通过针保持试样片后，设定包含与试样的加工时的深度方向对应的试样片的厚度方向的底部在内的整形加工区域，对整形加工区域照射聚焦离子束而对试样片进行整形加工。
带电粒子束装置

[发明专利]截面加工观察装置及其方法、记录介质以及形状测定方法-CN201910163613.X有效
发明人：满欣;麻畑达也;佐藤诚 -专利权人：日本株式会社日立高新技术科学
申请日： 2019-03-05 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： G01B15/04 文献下载
摘要：提供截面加工观察装置及其方法、程序以及形状测定方法，提高试样的形状的测定精度。具有：保持试样的试样台；向试样照射聚焦离子束的聚焦离子束镜筒；在与照射聚焦离子束的方向垂直的方向上向试样照射电子束的电子束镜筒；检测二次电子或反射电子的电子检测器；照射位置控制部，根据作为示出针对试样的波束的照射目标位置的信息的照射目标位置信息来控制聚焦离子束和电子束的照射位置；工序控制部，按照照射位置控制部控制的每个照射位置，对朝向试样照射聚焦离子束以使试样的截面露出的截面露出工序和向截面照射电子束而取得截面的截面像的截面像取得工序进行控制；画质校正部，对在照射位置取得的所述截面像的画质进行校正。
截面加工观察装置及其方法记录介质以及形状测定

[发明专利]便携式信息终端、射束照射系统以及存储介质-CN201810258355.9有效
发明人：麻生拓笃;上本敦;麻畑达也;铃木将人 -专利权人：日本株式会社日立高新技术科学
申请日： 2018-03-27 - 公布日： 2022-02-15 - 主分类号： H01J37/02 文献下载
摘要：本发明提供便携式信息终端、射束照射系统以及存储介质。本发明的便携式信息终端能够在期望的位置进行第一操作项目的操作。该便携式信息终端是与通过向试样照射带电粒子束来对试样进行处理的带电粒子束照射装置分体的便携式信息终端，其具有显示控制部，该显示控制部使显示部显示包含GUI(Graphical User Interface：图形用户界面)的图像，该GUI是能够根据来自用户的操作来操作第一操作项目，该第一操作项目是能够在带电粒子束照射装置中进行操作的多个操作项目中的1个以上的一部分操作项目。
便携式信息终端照射系统以及存储介质

[发明专利]生体组织试样的观察方法-CN202110280412.5在审
发明人：满欣;麻畑达也 -专利权人：日本株式会社日立高新技术科学
申请日： 2021-03-16 - 公布日： 2021-10-12 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：提供生体组织试样的观察方法。能够容易地掌握存在于生体组织内的观察对象区域，并且，能够容易地从生体组织的试样块切出多个试样片。具有以下工序：树脂包埋工序，形成试样块；固定工序，将所述试样块切分成多个试样片，将各个试样片固定于试样片放置部件，形成多个观察试样；观察对象区域确定工序，确定进行精密观察的观察对象区域；坐标确定工序，按照各个所述观察试样确定所述观察对象区域在所述试样片上的坐标并进行登记；铣削工序，参照所述坐标，对所述试样片的所述观察对象区域照射以气体为离子源的离子束或中性粒子束，使位于所述试样片的内部的观察面露出；以及拍摄工序，通过扫描型电子显微镜取得所述观察面的SEM像。
组织试样观察方法

[发明专利]复合射束装置-CN201710789226.8有效
发明人： 麻畑达也 -专利权人：日本株式会社日立高新技术科学
申请日： 2017-09-05 - 公布日： 2021-09-21 - 主分类号： H01J37/28 文献下载
摘要：提供复合射束装置，其在利用集束离子束对试样进行截面加工之后利用其他射束对截面进行精加工时，能够抑制来自电子束镜筒的电场或磁场的泄漏所造成的影响或充电所造成的影响的。复合射束装置(100)具有：电子束镜筒(10)，其用于对试样(200)照射电子束(10A)；集束离子束镜筒(20)，其用于对试样照射集束离子束(20A)而形成截面；以及中性粒子束镜筒(30)，其加速电压设定得比集束离子束镜筒低，用于对试样照射中性粒子束(30A)而对截面进行精加工，电子束镜筒、集束离子束镜筒以及中性粒子束镜筒配置为各自的各照射束在照射点P上交叉。
复合束装

[发明专利]液体金属离子源和聚焦离子束装置-CN202010660895.7在审
发明人：小山喜弘;麻畑达也;清原正宽;杨宗翰 -专利权人：日本株式会社日立高新技术科学
申请日： 2020-07-10 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本发明提供一种液体金属离子源和聚焦离子束装置，能够长期间稳定地释放离子束。该液体金属离子源(50)具备：贮存室(10)，其对形成液体金属的离子材料(M)进行保持；针状电极(20)，其表面由从贮存室供给的离子材料覆盖；引出电极(22)，其使离子材料的离子从针状电极的前端释放；射束光圈(24)，其配置于引出电极的下游侧，对离子的束径进行限制；以及真空室(30)，其对这些进行收纳并保持为真空，该液体金属离子源(50)的特征在于，进一步具有氧化性气体导入部(40)，氧化性气体导入部与真空室连通而向针状电极的周围导入氧化性气体。
液体金属离子源聚焦离子束装置

[发明专利]带电粒子束照射装置和控制方法-CN202010985029.5在审
发明人：麻生拓笃;满欣;佐藤诚;麻畑达也 -专利权人：日本株式会社日立高新技术科学
申请日： 2020-09-18 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： H01J37/147 文献下载
摘要：本发明提供带电粒子束照射装置和控制方法，能够缩短观察多层试样中包含的多个观察对象层各自的物质或构造所需的时间。带电粒子束照射装置具备：会聚离子束镜筒，其对多层试样照射会聚离子束；电子束镜筒，其对多层试样照射电子束；电子检测器，其检测从多层试样产生的二次电子或反射电子；像形成部，其形成基于从电子检测器输出的信号的观察像；以及控制部，其控制会聚离子束镜筒来反复进行如下露出控制：利用会聚离子束朝向层叠方向使多层试样的截面露出，控制部在反复进行露出控制的过程中，每检测出观察对象层在多层试样的截面上露出时，控制电子束镜筒来进行如下观察控制：照射电子束而使像形成部形成多层试样的截面的观察像。
带电粒子束照射装置控制方法

[发明专利]粒子束照射装置-CN202010993810.7在审
发明人：麻生拓笃;满欣;佐藤诚;麻畑达也 -专利权人：日本株式会社日立高新技术科学
申请日： 2020-09-21 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： H01J37/22 文献下载
摘要：提供粒子束照射装置，进行基于多个检测器的观察时，能缩短多个检测器的亮度调整的时间。粒子束照射装置具有照射粒子束的照射部、检测第1粒子的第1检测部、检测第2粒子的第2检测部、像形成部和控制部，像形成部进行如下处理：形成基于第1检测部检测到第1粒子的第1信号的观察像；形成基于第2检测部检测到第2粒子的第2信号的观察像，控制部进行如下处理：计算形成的第1观察像的第1区域的亮度，第1区域的亮度与第1目标亮度不同时，根据第1目标亮度进行第1检测部的亮度调整作为第1亮度调整；计算形成的第2观察像的第2区域的亮度，第2区域的亮度与第2目标亮度不同时，根据第2目标亮度进行第2检测部的亮度调整作为第2亮度调整。
粒子束照射装置

[发明专利]样品自动制作装置-CN201580030690.8有效
发明人：上本敦;麻畑达也;佐藤诚;山本洋 -专利权人：日本株式会社日立高新技术科学
申请日： 2015-06-29 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本发明提供一种带电粒子束装置(10a)，具备计算机(21)，该计算机(21)至少基于样品片保持件(P)、机针(18)以及样品片(Q)的预先获取的多个带电粒子束的图像来控制多个带电粒子束照射光学系统、机针(18)以及气体供给部(17)，以使样品片(Q)移设至预定的样品片保持件(P)的位置。
样品自动制作装置

[发明专利]带电粒子束装置-CN202011007799.9在审
发明人：村木礼奈;上本敦;麻畑达也 -专利权人：日本株式会社日立高新技术科学
申请日： 2020-09-23 - 公布日： 2021-03-26 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：本发明提供带电粒子束装置，能够使自动MS稳定化。带电粒子束装置是从试样中自动地制作试样片的带电粒子束装置，具备：带电粒子束照射光学系统，其照射带电粒子束；试样载台，其载置试样而移动；试样片移设单元，其保持从试样中分离并摘出的试样片而进行输送；支架固定台，其保持用于移设试样片的试样片支架；以及计算机，其基于根据针对与对象物相关的位置的第1判定的结果而进行的针对位置的第2判定的结果、以及包括通过带电粒子束的照射而取得的图像在内的信息，进行位置的控制。
带电粒子束装置

[发明专利]带电粒子束装置-CN202011014963.9在审
发明人：村木礼奈;上本敦;麻畑达也 -专利权人：日本株式会社日立高新技术科学
申请日： 2020-09-24 - 公布日： 2021-03-26 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：本发明提供一种带电粒子束装置，能够使自动微采样高速化。带电粒子束装置是从试样自动地制作试样片的带电粒子束装置，具备：带电粒子束照射光学系统，其照射带电粒子束；试样台，其载置着所述试样移动；试样片移设单元，其保持并运送从所述试样分离及摘出的所述试样片；保持器固定台，其保持供移设所述试样片的试样片保持器；以及计算机，其根据学习第1信息而得到的机器学习的模型和第2信息来进行与第2对象物相关的位置的控制，其中，所述第1信息包含第1对象物的第1图像，所述第2信息包含通过所述带电粒子束的照射而取得的第2图像。
带电粒子束装置

[发明专利]会聚离子束装置-CN202011022919.2在审
发明人：石井晴幸;上本敦;麻畑达也 -专利权人：日本株式会社日立高新技术科学
申请日： 2020-09-25 - 公布日： 2021-03-26 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：提供如下的会聚离子束装置：能够针对会聚离子束的多个照射位置，分别自动且高精度地与共心高度对齐。会聚离子束装置具有电子束镜筒、会聚离子束镜筒、以及能够以倾斜轴为中心倾斜且能够沿高度方向移动的试样载台，其中，会聚离子束装置还具有：坐标取得单元，在试样上指定了照射会聚离子束的多个照射位置时，其取得各照射位置的平面坐标；移动量计算单元，其根据平面坐标，针对各照射位置计算使所述试样载台移动到共心高度以使所述共心高度与如下的交叉位置一致的移动量，所述交叉位置是电子束和会聚离子束一致的位置；以及试样载台移动控制单元，其针对各照射位置，根据移动量使试样载台移动到共心高度。
会聚离子束装置

[发明专利]带电粒子束装置和控制方法-CN202010211741.X在审
发明人：村木礼奈;麻畑达也;上本敦 -专利权人：日本株式会社日立高新技术科学
申请日： 2020-03-24 - 公布日： 2020-10-09 - 主分类号： H01J37/22 文献下载
摘要：提供带电粒子束装置和控制方法，使加工自动化。带电粒子束装置具有：图像一致度判定部，其判定如下的一致度是否为规定的值以上，该一致度表示通过扫描型电子显微镜观察试样的截面而得到的SEM图像即加工截面图像和预先登记的加工截面图像即判定基准图像一致的程度；以及判定后处理部，其根据图像一致度判定部的判定结果进行规定的处理。
带电粒子束装置控制方法

[发明专利]带电粒子束装置-CN201610086197.4有效
发明人：富松聪;佐藤诚;上本敦;麻畑达也 -专利权人：日本株式会社日立高新技术科学
申请日： 2016-02-15 - 公布日： 2020-09-04 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本发明提供带电粒子束装置，其自动重复这样的动作：取出通过利用离子束的试样的加工而形成的试样片并使其移设到试样片保持器。该带电粒子束装置具有计算机，该计算机使用由吸收电流图像形成的模板、和从二次电子图像取得的针的前端坐标，以使针接近试样片的方式控制针驱动机构，该吸收电流图像是将带电粒子束照射到针而得到的，该二次电子图像是将带电粒子束照射到针而得到的。
带电粒子束装置

[发明专利]带电粒子束装置和试样加工观察方法-CN201910898398.8在审
发明人：铃木秀和;麻畑达也 -专利权人：日本株式会社日立高新技术科学
申请日： 2019-09-23 - 公布日： 2020-04-28 - 主分类号： H01J37/26 文献下载
摘要：提供带电粒子束装置和试样加工观察方法，不用变更载台的尺寸便能够缩小电子束镜筒与试样之间的距离，从而得到高分辨率的SEM图像，并且能够得到正对试样的观察面的SEM图像。具有如下的工序：试样片形成工序，对所述试样照射聚焦离子束而从试样切出试样片；截面加工工序，利用试样片支承体对试样片进行支承，对试样片的截面照射聚焦离子束而进行截面的加工；试样片接近移动工序，利用试样片支承体对试样片进行支承，使试样片移动到比聚焦离子束的束光轴与电子束的束光轴的交点更接近电子束镜筒的位置；以及SEM图像取得工序，朝向试样片的所述截面照射电子束，从而取得截面的SEM图像。
带电粒子束装置试样加工观察方法

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