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[发明专利]MEMS压力传感器的封装结构及方法-CN202211151572.0有效
发明人：刘同庆 -专利权人：无锡芯感智半导体有限公司
申请日： 2022-09-21 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： G01L9/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种MEMS压力传感器的封装结构及方法，所述MEMS压力传感器的封装结构包括：膜片，与底座形成密封腔体，所述密封腔体内部设有传感介质及压力传感芯片，当外界压力增大时，所述膜片向所述密封腔体的内侧弯曲，以使所述密封腔体收缩并通过传感介质向压力传感芯片传递压力；封盖，设于所述底座上并悬置于所述膜片的远离所述密封腔体的一侧；连接于所述膜片的第一电极和连接于所述封盖的第二电极，当所述封盖和所述膜片通过对应电极接入电压时，所述封盖与所述膜片之间产生用于平衡过载压力的静电引力。本申请的封装结构可以避免密封腔体因压力过载而过渡收缩导致传感芯片损坏，从而实现过载保护。
mems 压力传感器封装结构方法

[发明专利]低温玻璃封装电气贯穿密封接头-CN201310629128.X无效
发明人：万学丽;陈琪;赵增辉;张培基;秦雪 -专利权人：大连深蓝泵业有限公司
申请日： 2013-12-26 - 公布日： 2014-03-12 - 主分类号： H02G15/34 文献下载
摘要：低温玻璃封装电气贯穿密封接头，金属连接法兰与中间压力监测腔腔体连接，金属连接法兰与中间压力监测腔腔体相对位置设有贯穿孔，金属导体通过贯穿孔贯穿金属连接法兰和中间压力监测腔腔体，金属导体与金属连接法兰和中间压力监测腔腔体贯穿位置的金属导体外分别套装绝缘体，金属连接法兰和中间压力监测腔腔体连接后内部形成中间压力监测腔，金属导体与金属连接法兰和中间压力监测腔腔体连接处中间压力监测腔侧设有玻璃密封。
低温玻璃封装电气贯穿密封接头

[实用新型]一种压力传感器的封装结构-CN201621474319.9有效
发明人：周健;陆小红;俞斌 -专利权人：无锡盛邦电子有限公司
申请日： 2016-12-29 - 公布日： 2017-08-29 - 主分类号： G01L1/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种压力传感器的封装结构，包括压力腔体外壳；所述压力腔体外壳下部安装有电路板底座；所述压力腔体外壳的外侧面为竖直状，内侧面的底部为由内至外、水平面逐级降低的倒置二级阶梯状；所述电路板底座的宽度大于第一级阶梯且小于第二级阶梯；所述电路板底座固定于所述第一级阶梯的水平面；在所述电路板底座和所述压力腔体外壳之间通过连接材料相连接。本实用新型所述的结构，最大限度的增大了压力腔体外壳和电路板底座之间的连接面积，也即增大了压力腔体外壳和电路板底座之间的结合力，可将压力外壳和电路底座紧密密封。
一种压力传感器封装结构

[发明专利]一种双层反应腔体结构-CN202011281050.3在审
发明人：林佳继;庞爱锁;刘群;张武 -专利权人：拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司
申请日： 2020-11-16 - 公布日： 2021-02-19 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及半导体和太阳能光伏电池技术领域，具体涉及一种双层反应腔体结构，旨在解决现有技术中反应腔使用寿命受限形成的问题，其技术要点在于：包括内层腔体及外层腔体，所述内层腔体与所述外层腔体同轴设置，并且长度相等，所述内层腔体位于所述外层腔体内侧，所述外层腔体长度方向两端分别设置有炉口法兰及炉尾法兰，用于固定所述内层腔体及外层腔体。通过内外两层腔体的设置，使得外层腔体用于抽真空承受压力，所述内层腔体用于承接薄膜生长，不承受真空压力，使用过程中，外层腔体无镀膜层的影响，内层腔体不承受真空压力，可以有效地提升双层反应腔体的使用寿命。
一种双层反应结构

[发明专利]超常压化学气相沉积装置-CN201410122524.8有效
发明人：甘志银;胡少林 -专利权人：甘志银
申请日： 2014-03-31 - 公布日： 2018-03-06 - 主分类号： C23C16/52 文献下载
摘要：本发明公开了一种超常压化学气相沉积装置，主要包括外壳、保压腔体、反应腔体外壳、反应腔体。本发明采用设置保压腔体和反应腔体的双腔体结构，可以通过压力调节和设置使反应腔体相对保压腔体处于负压状态，即使反应腔体相对于保压腔体成为真空腔体，这样可以保留现有气相沉积装置反应腔体的真空密封设计，主要对保压腔体和保压外壳进行压力容器设计，极大简化超常压化学气相沉积装置设计，另外压力外壳和保压腔体的设置也在一定程度给反应腔体增加了一道保护屏障，而且保压腔体中的气体可以使用相对反应气体更为安全的气体，提高了设备安全性能。
常压化学沉积装置

[发明专利]一种压力传感器-CN201010506096.0有效
发明人：陈春宇;宋红敏;刘长青;陈伯汀 -专利权人：浙江三花股份有限公司
申请日： 2010-09-30 - 公布日： 2012-05-09 - 主分类号： G01L19/06 文献下载
摘要：本发明涉及传感器技术领域，尤其公开了一种压力传感器，包括压力芯体、传感器座，所述压力芯体与所述传感器座形成压力腔体，所述传感器座上设有与所述压力腔体连通的压力进口，被测系统压力与所述压力进口连通，还包括压力保护装置，该压力保护装置设于所述压力进口处，所述被测系统压力大于预设值时，压力保护装置将关闭所述压力进口。本发明提供的压力传感器，在压力腔体的压力进口处设有压力保护装置，当被测系统压力大于预设值时，所述压力保护装置将关闭压力进口，使得被测系统压力无法再进入压力腔体内。使得压力芯体得到有效保护，该压力传感器更耐用、可靠性更好、使用寿命更长。
一种压力传感器

[实用新型]一种抗压防变形的橡胶垫-CN201921338902.0有效
发明人：陈小冬;陈家斌;江君;陈屿婷 -专利权人：福建泉州市南安步盛汽配有限公司
申请日： 2019-08-17 - 公布日： 2020-08-14 - 主分类号： F16J15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种抗压防变形的橡胶垫，包括橡胶垫本体，所述橡胶垫本体包括抗压腔体和气孔，所述抗压腔体设有若干个，且均匀分布在所述橡胶垫本体内部，所述气孔设置在所述橡胶垫本体侧沿，贯穿所述橡胶垫本体侧沿，和所述抗压腔体相连通，在压力作用下，均匀分布的抗压腔体可以分散压力，且气孔的设置也可以配合抗压腔体分散压力，在压力接触时，气孔可以将空气导入抗压腔体内，防止橡胶垫变形。
一种抗压变形橡胶垫

[发明专利]用于搬送缓存腔体的压力控制系统及压力控制方法-CN201610924439.2在审
发明人：顾海龙;裴雷洪;严骏;石庆球 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2016-10-24 - 公布日： 2017-01-04 - 主分类号： G05D16/16 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于搬送缓存腔体的压力控制系统及压力控制方法。用于搬送缓存腔体的压力控制系统包括：安装在进入搬送缓存腔体的氮气流入管路中的流量控制器，用于控制经由氮气流入管路进入搬送缓存腔体的氮气流量。
用于缓存压力控制系统控制方法

[发明专利]一种CT扫描用多段测压水气交替采油实验装置及方法-CN201911410967.6在审
发明人：谷潇雨;刘易非;景成;付美涛;黎保廷;张益畅 -专利权人：西安石油大学
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2020-03-27 - 主分类号： E21B43/16 文献下载
摘要：本发明公开一种CT扫描用多段测压水气交替采油实验装置及方法，岩心样品设置于渗流腔体的内腔，两端分别设有渗流腔体前方堵头和渗流腔体后方堵头，岩心样品、渗流腔体前方堵头和渗流腔体后方堵头的外部包覆有岩石包覆套，渗流腔体的两端分别设有渗流腔体注入口和排液口；渗流腔体上设有围压阀门和围压排液阀，围压阀门上连接有注液泵；注水系统和注气系统均与渗流腔体注入口连接，渗流腔体排液口与计量系统连接；压力数据采集系统包括沿岩心样品长度方向分布的若干压力传感器，所述压力传感器用于检测岩心样品不同位置的压力。本发明可用于评价岩石内流体压力传导规律及其作用下的剩余油分布特征，为矿场采油工艺参数设计提供重要的实验依据。
一种 ct 扫描用多段测压水气交替采油实验装置方法

[实用新型]一种钢结构防火涂料性能测试装置-CN201920027541.1有效
发明人：贾万存;王成艳;宁亭 -专利权人：山东国科纳米技术股份有限公司
申请日： 2019-01-08 - 公布日： 2019-09-03 - 主分类号： G01N25/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种钢结构防火涂料性能测试装置，涉及钢结构防火涂料检测技术领域，包括测试腔体a和测试腔体b，测试腔体a在测试腔体b的外端，测试腔体a的外部设有隔热板，隔热板由隔热支架支撑，测温热电偶透过隔热板伸入到测试腔体a内部，隔热板外部设有腔内压力探测管和压力变送器，腔内压力探测管伸入到测试腔体a内部，腔内压力探测管与压力变送器相连接，在下压隔热板中心位置设有火管，火管的上端伸入到测试腔体b内部，伸入测试腔体b内部的火管上设有多个喷火口，测试腔体竖直侧壁上涂有涂料的样品，此种结构的钢结构防火涂料性能测试装置可以一次测试能同时测出涂料的膨胀性能和耐火性能，大大节约了时间，提升了测试效率高。
测试腔体隔热板钢结构防火涂料伸入性能测试装置腔内压力探测管火管压力变送器涂料检测技术领域本实用新型测温热电偶测试效率隔热支架耐火性能膨胀性能竖直侧壁上端喷火口外部外端测试节约支撑

[实用新型]一种CT扫描用多段测压水气交替采油实验装置-CN201922492066.8有效
发明人：谷潇雨;刘易非;景成;付美涛;黎保廷;张益畅 -专利权人：西安石油大学
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： E21B43/16 文献下载
摘要：本实用新型公开一种CT扫描用多段测压水气交替采油实验装置，岩心样品设置于渗流腔体的内腔，两端分别设有渗流腔体前方堵头和渗流腔体后方堵头，岩心样品、渗流腔体前方堵头和渗流腔体后方堵头的外部包覆有岩石包覆套，渗流腔体的两端分别设有渗流腔体注入口和排液口；渗流腔体上设有围压阀门和围压排液阀，围压阀门上连接有注液泵；注水系统和注气系统均与渗流腔体注入口连接，渗流腔体排液口与计量系统连接；压力数据采集系统包括沿岩心样品长度方向分布的若干压力传感器，所述压力传感器用于检测岩心样品不同位置的压力。本实用新型可用于评价岩石内流体压力传导规律及其作用下的剩余油分布特征，为矿场采油工艺参数设计提供重要的实验依据。
一种 ct 扫描用多段测压水气交替采油实验装置

[实用新型]气体混合设备-CN201821979457.1有效
发明人：李国强;林宗贤;吴孝哲 -专利权人：德淮半导体有限公司
申请日： 2018-11-28 - 公布日： 2019-10-15 - 主分类号： B01F5/06 文献下载
摘要：该实用新型涉及一种气体混合设备，包括：腔体，用于进行气体的混合；压力控制器，连通至所述腔体，用于调控腔体内的压力；温控单元，包括加热套，安装至所述腔体，用于调控腔体内的温度；至少两块导流板，卡设于所述腔体内，设置在所述腔体的入口和出口之间，将所述腔体的入口和出口隔开；所述导流板设置有通孔，用于供待混合的气体通过，连通所述腔体的入口和出口，且各导流板相对设置，每一导流板对应导流一种待混合的气体。本实用新型的气体混合设备具有压力控制器和温控单元，能够对腔体内的压力和温度进行调控，隔绝外界压强和温度对腔体内气体的混合的影响，保证混合气体的浓度的稳定性和一致性。
腔体导流板气体混合设备体内压力控制器温控单元连通调控出口本实用新型混合气体气体通过体内气体外界压强相对设置加热套导流隔开卡设通孔保证

[发明专利]差压传感器封装结构及电子设备-CN201910280377.X在审
发明人：李刚;唐行明;梅嘉欣;邵成龙 -专利权人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司
申请日： 2019-04-09 - 公布日： 2019-08-02 - 主分类号： G01L13/00 文献下载
摘要：一种差压传感器封装结构及电子设备，所述差压传感器封装结构包括：基板与外壳，所述外壳边缘固定于所述基板的正面，与所述基板之间形成第一腔体；压力传感元件，固定于所述基板正面且位于所述第一腔体内，所述压力传感元件具有第二腔体以及压力感应层，所述压力感应层位于所述第一腔体与所述第二腔体之间；所述第一腔体通过第一通孔与外部连通，所述第二腔体通过第二通孔与外部连通。
差压传感器第二腔体第一腔体基板压力传感元件压力感应层电子设备封装结构外部连通通孔传感器封装结构基板正面外壳边缘功耗体内

[发明专利]一种压力传感器-CN202111085998.6在审
发明人：谢英;孙成亮;刘炎 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2021-09-16 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： G01L1/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种压力传感器，涉及传感器技术领域，本发明的压力传感器,包括衬底层以及设置于衬底层上表面的压电堆叠结构，在衬底层上表面设置有凹槽，凹槽与压电堆叠结构之间形成密闭的第一腔体，在衬底层内部还形成有密闭的第二腔体，第二腔体与第一腔体间隔且位于第一腔体下，其中，第一腔体的压强大于第二腔体的压强。本发明提供的压力传感器，能够实现高灵敏度、高稳定性的测量，且可承受较大压力。
一种压力传感器

[实用新型]一种双层反应腔体结构-CN202022645565.9有效
发明人：林佳继;庞爱锁;刘群;李东林 -专利权人：拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司
申请日： 2020-11-16 - 公布日： 2021-07-30 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型为一种双层反应腔体结构，包括炉口、腔体以及炉尾；腔体设置于炉口以及炉尾之间；腔体包括内层腔体以及外层腔体，内层腔体设置于外层腔体的内部；外层腔体分别与炉口以及炉尾固定连接；内层腔体与炉口可拆式连接，内层腔体还与炉尾连接；通过设置内层腔体和外层腔体的结构，在内层腔体上形成膜，由外层腔体承受真空压力，实现膜应力和真空压力的分离，进而增强腔体的承受能力。
一种双层反应结构