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[实用新型]一种可控进刀量的旋风切削装置-CN201920371324.4有效
发明人：梁海洋;周光;孙学雷;孙学领;张志海 -专利权人：无锡恒信北石科技有限公司
申请日： 2019-03-22 - 公布日： 2019-11-22 - 主分类号： B23D79/00 文献下载
摘要：一种可控进刀量的旋风切削装置，其特征在于：包括中空液压卡盘、拉管、调节套管和调节驱动单元，刀座安装于中空液压卡盘的卡爪，拉管与中空液压卡盘固定连接，通过拉管沿中空液压卡盘的轴线方向移动调节卡爪的相对位置，调节套管与拉管套接设置并且通过轴承与拉管配合，调节驱动单元用于驱动调节套管沿中空液压卡盘的轴线方向移动。其既能避免拉管转动对调节套管的干涉，又能在调整驱动单元的驱动下带动拉管沿中空液压卡盘的轴线方向移动，进而实现转动工作状态下对切刀进刀量的实时调整。
中空液压卡盘拉管套管轴线方向移动驱动单元进刀量旋风切削装置可控转动本实用新型锥形螺杆泵驱动实时调整转子加工全金属刀座卡爪切刀套接轴承干涉配合

[发明专利]激光加工装置-CN201110035671.8有效
发明人：星野仁志;上野宽海;能丸圭司 -专利权人：株式会社迪思科
申请日： 2011-02-10 - 公布日： 2011-09-21 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：具备：保持被加工物的卡盘台；激光线照射单元，向保持在卡盘台上的被加工物照射具有透射性的波长的脉冲激光线；加工进给单元，使卡盘台与激光线照射单元相对地进行加工进给，激光线照射单元包括脉冲激光线振荡单元和聚光器，聚光器对脉冲激光线振荡单元振荡产生的脉冲激光线进行会聚而照射到保持在卡盘台上的被加工物，聚光器将脉冲激光线振荡单元振荡产生的脉冲激光线会聚到沿保持在卡盘台上的被加工物的厚度方向错开的多个聚光点，脉冲激光线振荡单元振荡产生的脉冲激光线的脉宽被设定得比由多个聚光点形成的变质层的生成时间短
激光加工装置

[发明专利]一种多模态道路压电发电装置-CN202110433246.8有效
发明人：何丽鹏;余刚;姜帅;王仕诚;申子宇;何兆宸;韩濡俊;闫卓楠 -专利权人：长春工业大学
申请日： 2021-04-22 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： H02N2/18 文献下载
摘要：本发明公布了一种多模态道路压电发电装置，由壳体、盘体、d31发电单元、d33发电单元悬臂梁、滑块、弹簧、连杆、卡盘、d15发电单元和弹性体组成；所述壳体开设有螺纹孔，盘体开设有螺纹孔和圆孔，滑块开设有滑道，连杆开设有凹槽，卡盘由磁铁和连接球组成，d15发电单元是由短弹簧、压电片和剪切板组成，d31发电单元由薄板、基板和压电片组成；所述连杆与盘体相配合，弹簧套在连杆上，卡盘与连杆的凹槽相配合，卡盘的连接球与滑块的滑道相配合，弹性体紧靠滑块安装，d15发电单元和d31发电单元一端与弹性体相配合另一端与壳体相安装，d33发电单元悬臂梁靠近卡盘的磁铁安装；最后壳体与盘体通过螺纹相配合，达到装配整个发电装置的目的。
一种多模态道路压电发电装置

[实用新型]电芯短路检测装置及圆柱形纽扣式电芯制片卷绕机-CN201921469413.9有效
发明人：曹海霞;乔冠阳;杨春超;梁振辉 -专利权人：珠海华冠科技股份有限公司
申请日： 2019-09-04 - 公布日： 2020-07-31 - 主分类号： G01R31/392 文献下载
摘要：本实用新型提供一种电芯短路检测装置及圆柱形纽扣式电芯制片卷绕机，电芯短路检测装置包括底座、两个检测单元和两个驱动单元，底座上设置有两条导轨和支承座，支承座位于两条导轨之间，检测单元包括卡盘、导电棒和滑动座，卡盘的卡爪上均设置有夹紧块，卡盘驱动所有夹紧块围成容纳腔，导电棒安装在卡盘上，导电棒位于容纳腔内，导电棒与每块夹紧块邻接，卡盘安装在滑动座上，滑动座可滑动地安装在导轨上，两个检测单元的导电棒相向地设置，一个驱动单元的输出端与一个检测单元的滑动座连接，驱动单元驱动检测单元沿导轨滑动。
短路检测装置圆柱形纽扣式电芯制片卷绕

[发明专利]切削装置-CN201510163297.8有效
发明人：松山敏文;杨云峰 -专利权人：株式会社迪思科
申请日： 2015-04-08 - 公布日： 2019-05-31 - 主分类号： H01L21/301 文献下载
摘要：该切削装置具备：卡盘工作台，其具有保持被加工物的保持面；切削单元，其利用切削刀片来切削在该卡盘工作台上保持的被加工物；切入进给单元，其使该切削单元相对于该卡盘工作台在切入方向上相对地移动；以及设置单元，其使该切削刀片与该卡盘工作台的表面接触，通过电导通来检测切入方向的基准位置，该切削装置的特征是，该卡盘工作台包含：导电性的主体部，其具有与该保持面齐平的设置部；以及绝缘基座，其支承该主体部，通过陶瓷涂层对该绝缘基座的表面进行了绝缘处理
切削装置

[实用新型]一种具有重型零件自动牵转机构的外圆磨床-CN202020317596.9有效
发明人：杨黎曙;张茂林;蒙开聪;贾昊 -专利权人：富信成机械有限公司
申请日： 2020-03-13 - 公布日： 2020-11-10 - 主分类号： B24B5/04 文献下载
摘要：一种具有重型零件自动牵转机构的外圆磨床，包括床身，驱动装置，工件锁紧单元，拨动单元。所述工件锁紧单元包括固定安装件，活动安装件，工件锁紧装置，以及轴承。所述拨动单元包括安装块，以及拨动杆。所述工件锁紧装置包括环形卡盘，锁紧件。所述环形卡盘包括环形卡盘主体，锁紧件安装通孔。所述锁紧件包括锁紧件主体，驱动柄，以及一个设置在所述锁紧件主体上的通孔。所述锁紧件主体为凸轮。当所述锁紧件主体向所述环形卡盘的圆心方向转动时，所述环形卡盘的内径减小且将工件锁紧。
一种具有重型零件自动转机磨床

[发明专利]卡盘校温装置及卡盘校温方法-CN201911366523.7在审
发明人：刘建;李华 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2019-12-26 - 公布日： 2020-04-24 - 主分类号： G01K15/00 文献下载
摘要：本发明提供一种卡盘校温装置及方法，该卡盘校温装置用于对卡盘中的第一温度传感器组进行校准；包括支架、第二温度传感器组、温控器和校温单元；卡盘包括一承载面，支架可拆卸的安装在卡盘上；第二温度传感器组设置在支架上，用于采集承载面的温度值；温控器分别与第一温度传感器组、第二温度传感器组和校温单元连接，用于接收来自第一温度传感器组的温度值、以及接收第二温度传感器组的温度值，并将两者皆传输至校温单元；校温单元用于根据第一温度传感器组的温度值、第二温度传感器组的温度值，获得第一温度传感器组的温度值与第二温度传感器组的温度值之间的关联关系，对卡盘中的第一温度传感器组进行校准。通过本发明提高了卡盘校温的准确性。
卡盘装置方法

[发明专利]一种键合设备、键合波的检测方法及系统-CN201910380534.4有效
发明人：刘洋 -专利权人：武汉新芯集成电路制造有限公司
申请日： 2019-05-08 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： H01L21/603 文献下载
摘要：本发明提供一种键合设备、键合波的检测方法及系统，其中键合设备包括上卡盘、顶针和下卡盘，在上卡盘的第二表面上设置有多个光感装置，每个光感装置包括光发射单元和光接收单元，在光感装置下设置有贯通上卡盘的光通路，各光感装置的光发射单元可以用于沿相应的光通路发射垂直与上卡盘的第一表面的光线，光接收单元可以用于接收沿相应的光通路返回的反射光，在上卡盘吸附第一晶圆时，各光感装置获得的反射光的光强度变化状态可以反映第一晶圆和上卡盘的相对位置
一种设备键合波检测方法系统

[发明专利]加工装置-CN202110037152.9在审
发明人：竹村优汰;田中诚 -专利权人：株式会社迪思科
申请日： 2021-01-12 - 公布日： 2021-08-03 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：加工装置具有卡盘工作台、加工单元、加工进给单元、拍摄单元以及控制单元，控制单元包含：控制部，其在加工单元对卡盘工作台所保持的晶片的与所有分割预定线对应的区域进行了加工之后，使加工进给单元进行动作而使卡盘工作台相对地移动，从而将该卡盘工作台定位于拍摄单元的正下方并使拍摄单元对晶片进行拍摄；以及报告生成部，其根据分别对实施了加工的与所有分割预定线对应的区域中的两个以上的不同区域进行拍摄而得的图像，导出与各区域中的加工状态相关的信息
加工装置

[实用新型]龙门式管材平板切割机-CN201820032738.X有效
发明人：徐莉 -专利权人：江苏正合重工有限公司
申请日： 2018-01-09 - 公布日： 2018-08-28 - 主分类号： B23K7/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种龙门式管材平板切割机，包括切割组件、板材切割机构、管材切割机构和横梁，横梁设有横向驱动单元，切割组件连接于横梁，切割组件安装座设有升降驱动单元；横向驱动单元包括第一齿轮、第一齿条、第一电机和第一轨道；板材切割机构包括机架、机台以及纵向驱动单元；纵向驱动单元包括第二齿轮、第二齿条、第二轨道和第二电机；管材切割机构包括上料轨道、端部卡盘、移动卡盘和上料驱动单元；端部卡盘和移动卡盘皆包括夹持件、夹持件安装座和卡盘本体
平板切割机切割组件管材龙门式横梁横向驱动单元纵向驱动单元本实用新型板材切割管材切割移动卡盘安装座夹持件齿轮齿条卡盘电机加工机台升降驱动单元数控切割机管类产品卡盘本体切割加工驱动单元上料轨道数控切割轨道操控对管上料装夹灵活

[实用新型]一种适用于五恒空调的中间换热单元装置-CN202221148054.9有效
发明人：黄峰 -专利权人：陕西润安思变智能科技有限公司
申请日： 2022-05-13 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： F24F13/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种适用于五恒空调的中间换热单元装置，涉及空调中间换热单元技术领域，用于解决现在在拆卸板式换热器时未对管道进行及时封闭，进而造成内部液体流出损坏装置内电子元件的问题，封堵组件包括第一卡盘和第二卡盘，第一卡盘与短管一连接，第二卡盘与短管二连接，第一卡盘通过软管连接有第三卡盘，第二卡盘通过软管连接有第四卡盘，第三卡盘的一侧开设有通孔，且通孔内壁设置有螺纹，第四卡盘的一侧螺纹连接有通管，通管远离第四卡盘的一端与通孔螺纹连接
一种适用于空调中间单元装置

[发明专利]处理半导体衬底的设备以及处理半导体衬底的方法-CN201610784906.6在审
发明人：徐暐智;庄凯麟;简渊基;杨政辉;刘俊秀 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2016-08-31 - 公布日： 2017-04-26 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明的实施例提供了处理半导体衬底的设备，包括卡盘、夹持器、液体供给系统以及正压单元。卡盘具有主面和在卡盘上形成的至少一个孔。夹持器能够将半导体衬底保持在主面上面的位置处。正压单元配置为将气流提供至卡盘上方的空间。本文还公开了处理半导体衬底的方法。
处理半导体衬底设备以及方法

[发明专利]基板处理设备-CN202110974667.1在审
发明人：李钟澯;朴周怜;韩松怡;南成旼 -专利权人： PSK有限公司
申请日： 2021-08-24 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：前述基板处理设备包括外壳、包括支撑基板的卡盘的支撑单元、气体供应单元、及面向由卡盘支撑的基板的上表面的介电板，前述介电板的中心区域的下表面的高度与前述介电板的边缘区域的下表面的高度不同，且前述卡盘的中心区域的上表面的高度与前述卡盘的边缘区域的上表面的高度不同
处理设备

[发明专利]一种感光膜旋转涂布装置-CN201510568212.4在审
发明人：任海 -专利权人：四川虹视显示技术有限公司
申请日： 2015-09-08 - 公布日： 2017-03-15 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种感光膜旋转涂布装置，包括以真空吸附方式支撑基板的卡盘，设于基板上方的喷嘴以及固定在卡盘的底部用于驱动卡盘旋转的旋转轴，还包括设于基板外围，固定在卡盘上，用于阻断、集结没在基板上面涂布而脱离基板散开的感光膜的阻隔单元，所述阻隔单元的外围还设有壳体；阻隔单元包括水平部和侧壁部，侧壁部为面向基板呈凹状，面向壳体呈凸状的曲线结构，越往上越接近卡盘的中心，侧壁部的上端呈倒三角形。
一种感光旋转装置

[发明专利]一种静电卡盘及其等离子体处理室-CN201310630080.4在审
发明人：梁洁;万磊 -专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
申请日： 2013-11-29 - 公布日： 2015-06-03 - 主分类号： H01J37/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种静电卡盘及其等离子体处理室，在静电卡盘的绝缘层下方均匀设置若干个温度控制单元，每个温度控制单元能独立进行温度调节，同时每个温度控制单元内包括加热测温电路，使得每个温度控制单元在进行温度调节的同时还能准确得知其温度的上升下降情况，电路简化，结构简单，有效控制了静电卡盘表面的温度均匀，保证了刻蚀工艺的稳定性。
一种静电卡盘及其等离子体处理

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