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- [发明专利]基板处理装置和基板处理方法-CN202211262351.0在审
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孙源湜;吴世勋;金袗圭;郑仁基;俞廷协
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细美事有限公司
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2022-10-14
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2023-04-18
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H01L21/687
- 提供基板处理装置和基板处理方法，该装置包括：具有加工空间的加工容器；在加工空间中支承基板并旋转基板的支承单元；将加工液供应到由支承单元支承的基板的液体供应单元；以及加热基板的加热单元。支承单元包括：旋转自旋卡盘的驱动器；安装在自旋卡盘上以与之一起旋转的卡盘销；在卡盘销与基板的侧部接触的接触位置与卡盘销与基板的侧部间隔开的打开位置之间移动卡盘销的卡盘销移动单元。卡盘销移动单元包括：联接到卡盘销并与之一起旋转的第一驱动模块和面向第一驱动模块且不与自旋卡盘一起旋转的第二驱动模块，第一驱动模块包括第一磁性体，第二驱动模块包括面向第一磁性体的第二磁性体和在竖直方向上驱动第二磁性体的驱动构件
- 处理装置方法
- [发明专利]加工装置-CN202010474556.X在审
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山口佳隆
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株式会社迪思科
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2020-05-29
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2020-12-04
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H01L21/67
- 提供加工装置，在具有构成为能够与被加工物的大小或形状对应地安装多种卡盘工作台的卡盘工作台的加工装置中，提高生产性。加工装置包含：保持单元，其保持被加工物；加工单元，其对保持单元所保持的被加工物进行加工；加工进给单元，其对保持单元进行加工进给；以及控制单元，其对加工进给单元进行控制，保持单元具有对被加工物进行保持的卡盘工作台和将卡盘工作台支承为装卸自如的基台，基台构成为能够与被加工物的大小或形状对应地安装多种卡盘工作台，当选择安装于基台的卡盘工作台时，控制单元设定包含与安装于基台的卡盘工作台的种类对应的加工进给单元的加速度在内的加工进给条件，按照与卡盘工作台对应的加工进给条件来控制加工进给单元
- 加工装置
- [实用新型]一种两卡盘切管机-CN202121443006.8有效
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于银;冯治
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济南鼎点数控设备有限公司
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2021-06-28
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2022-02-01
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B23K26/38
- 本实用新型涉及切管机技术领域，尤其涉及一种两卡盘切管机，包括：机床床身、尾料床身、后卡盘单元和前卡盘单元，其中：所述机床床身的右端与尾料床身左端对接后连接，且机床床身、尾料床身中固定有两条贯穿该床身且相互平行设置的滑轨所述后卡盘单元和前卡盘单元均滑动连接在该滑轨上，且后卡盘单元位于机床床身上。所述尾料床身的上方固定有升降式的切割头，且切割头靠近尾料床身的左端设置，所述前卡盘单元能够滑动至切割头的左侧或右侧。本实用新型的这种两卡盘切管机采用了前卡盘可移动的方式，可以有效减少尾料长度，同时可以适应一些特殊长度的管材，因此这种两卡盘切管机相较于传统的两卡盘切管机有效提高了对管材的利用率。
- 一种卡盘切管机
- [发明专利]一种金属制品表面喷涂机-CN202211374432.X在审
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朱文兵
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如皋赐杰环保科技有限公司
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2022-11-04
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2022-12-23
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B05B13/02
- 本发明适用于金属表面处理装置领域，提供了一种金属制品表面喷涂机，包括底座，底座上中部设置有框架，框架上设置有喷涂单元，还包括：输送单元，输送单元设置在底座上且位于框架内，输送单元沿底座的长度方向设置；卡盘和驱动单元，所述驱动单元设置在框架上两侧，卡盘位于驱动单元的输出端，驱动单元用于带动两侧的卡盘对向移动或者使得两侧卡盘同步且同向转动，输送单元上的金属制品位于两侧卡盘之间，所述卡盘朝向输送单元的一面为锥面结构，所述喷涂单元上设置有竖直方向或者横向移动的喷涂头其有益效果是：能够更小地空间位置实现板件的翻转，方便进行双面喷涂处理，而且卡盘与板件接触面小，不会损坏喷涂层。
- 一种金属制品表面喷涂
- [实用新型]半导体清洗设备-CN202223170269.3有效
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王豪
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杭州富芯半导体有限公司
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2022-11-29
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2023-04-07
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H01L21/687
- 本公开提供了一种半导体清洗设备，包括机体、设于机体上的卡盘组件和用于驱动卡盘组件转动的卡盘驱动机构，卡盘组件包括卡盘本体和卡销，卡销能够随卡盘本体转动，并能够相对卡盘本体在卡紧位和释放位之间移动，以固定或释放置于卡盘本体上的晶圆，设备还包括：检测单元，设于机体上，检测单元能够在第一位置和第二位置之间移动，在第一位置，检测单元能够对位于检测位置的卡销上的缺口的大小进行检测；控制电路，与卡盘驱动机构和检测单元电连接，用于控制卡盘组件转动，以及检测单元移动，以使卡销依次移动至检测位置，检测单元移动至第一位置。
- 半导体清洗设备
- [发明专利]不良电极卷绕装置-CN201180037784.X无效
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杉原勉
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小松NTC株式会社
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2011-08-01
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2013-04-17
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B65H19/30
- 该电极卷绕装置包括：可开闭的一对卡盘（33），其用于卷绕不良电极；操纵驱动单元（39），其打开和关闭卡盘（33）；旋转驱动单元（40），其使卡盘（33）旋转；以及往复驱动装置（41），其使卡盘（33）在待机位置和工作位置之间往复移动该电极卷绕装置按照如下方式进行操作：当将要排出不良电极时，往复驱动装置（41）使卡盘（33）从待机位置移动到工作位置；在工作位置，操纵驱动单元（39）关闭卡盘（33）以将不良电极保持在卡盘之间；旋转驱动单元（40）使卡盘（33）旋转以将不良电极卷绕在卡盘（33）的外周面上；然后从卡盘（33）排出卷起的不良电极。
- 不良电极卷绕装置
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