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- [实用新型]晶圆导送设备-CN201320352501.7有效
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陈典廷;柯益隆;马庄
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帆宣系统科技股份有限公司
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2013-06-19
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2013-12-18
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H01L21/677
- 本实用新型公开了一种晶圆导送设备，包括：一单轴式机械手臂，设于晶圆制程室的内部空间一侧，且该单轴式机械手臂呈可旋转、伸缩与升降型态；一晶圆入料载具及一晶圆出料载具，分别设于单轴式机械手臂的相对二端；一双轴式机械手臂，设于该晶圆制程室内部空间的另一侧，且与单轴式机械手臂呈间隔对应的配置关系，该双轴式机械手臂为可旋转、伸缩与升降型态；一定位加热整合装置，设于单轴式机械手臂与双轴式机械手臂之间；至少二晶圆加工台，设于双轴式机械手臂的至少一端，该晶圆加工台用以对晶圆进行预定加工制程；晶圆导送设备可令晶圆导送流程获得更精细的分工，达到晶圆导送速度大幅提升、有效增进晶圆制程效率的目的。
- 晶圆导送设备
- [实用新型]一种单轴切条机-CN201921918831.1有效
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聂子良;李春海
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广东派沃新能源科技有限公司
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2019-11-08
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2020-10-20
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B28C1/18
- 本实用新型提供了一种单轴切条机，其特征在于包括刮泥刀、单轴圆刀、压泥装置和长料斗，所述单轴圆刀、压泥装置和长料斗平行设置，所述长料斗的底部沿轴向设有出料开口，所述压泥装置设置在长料斗内部，所述单轴圆刀设置在出料开口下方一侧，所述刮泥刀上的齿刀与单轴圆刀上的齿刀槽匹配设置，所述刮泥刀设置在单轴圆刀的下方。通过内部设置的压泥装置和单轴圆刀的配合，可快速的实现切条操作，同时通过将出料口的开度设置为可调，在正常工作时，根据切条的需要调节开口，在出现含有较大型杂物或杂物累积出现卡死时，可直接调节板与圆刀间的距离
- 一种单轴切条机
- [实用新型]一种双质体圆振筛-CN202022092814.6有效
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许杰
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河南威猛振动设备股份有限公司
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2020-09-22
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2021-05-25
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B07B1/28
- 本实用新型公开了一种双质体圆振筛，包括筛体、单轴激振器、筛板、端部传动、电机、传振弹簧和传振框架，所述传振框架安装与筛体的内部，所述传振弹簧安装在传振框架内，传振弹簧设置于单轴激振器的侧面，传振弹簧位于单轴激振器与传振框架之间分别与单轴激振器和传振框架连接，所述筛体的侧面设置有电机，电机通过端部传动与单轴激振器固定连接，所述单轴激振器的底部连接有减震弹簧，减震弹簧与支腿连接。本实用新型在筛体和常规的圆振筛振幅相同时，它的第一质体单轴激振器的振幅就会相对较小，进而需要的电机的功率也就较小，就更节能，使得筛体同等振幅下，电机功率较常规圆振筛较小，长期使用，能耗低，更节能。
- 一种质体圆振筛
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