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- [发明专利]一种单晶体生长炉的热屏装置-CN202310364691.2在审
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郑义三;崔时荣;沈福哲;李丞济
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安徽联效科技有限公司
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2023-04-07
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2023-05-09
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C30B15/00
- 本发明涉及单晶体制备领域,具体说是一种单晶体生长炉的热屏装置,包括单晶体生长炉、机体外壳、绝热材料、坩埚、加热器、晶锭、热屏以及循环冷却系统,解决了现有的生长炉内部设置的热屏在对制备不同直径大小的晶锭时,通常需要对整个热屏结构体进行变更,这不仅会提高安装人员施工难度,增加安装人员的劳动强度,还会延长更换热屏时耗,从而降低单晶体的制备效率,同时在生产力方面也是低效的;除此之外,在长期的使用过程中发现,热屏装置虽然有利于单晶体热量的释放,以提高其生长效率,但是热屏本身并不能够主动散热,使得实际生产过程中单晶体温度梯度的增大效果不明显,相应的单晶体生长速度的提升幅度也有限的问题。
- 一种单晶体生长装置
- [发明专利]一种碳化硅单晶生长方法及碳化硅单晶-CN202211312028.X在审
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谢雪健;王兴龙;徐现刚;陈秀芳;胡小波
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山东大学
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2022-10-25
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2023-01-06
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C30B23/00
- 本发明属于晶体生长技术领域,提供了一种碳化硅单晶生长方法及碳化硅单晶。其中,该方法包括选用设定粒径的碳化硅粉料作为碳化硅单晶生长的原料,均匀摊铺在加热容器底部,将碳化硅籽晶粘接在加热容器顶部;将加热容器放入单晶生长设备后,密封单晶生长设备,对单晶生长设备内部进行抽真空处理;对抽真空处理后的单晶生长设备的内部进行加热,向单晶生长设备内充入载气至预设生长压力,当加热至设定生长温度后,保温预设时间进行晶体生长;其中生长压力与碳化硅粉料粒度有关,粉料粒度越大,生长压力越小;当晶体生长完成后,对单晶生长设备的内部进行降温,向单晶生长设备内充入载气至预设冷却压力,自然冷却晶体,得到碳化硅单晶。
- 一种碳化硅生长方法
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