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[发明专利]半导体生产设备-CN202111003147.2在审
发明人：邱岳金 -专利权人：邱岳金
申请日： 2021-08-30 - 公布日： 2022-01-11 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明公开了半导体生产设备包括固定架，所述固定两侧均固定连接安装架，两个所述安装架靠近固定架侧固定连接电机架，两个所述电机架内壁固定连接驱动电机，两个所述驱动电机输出轴均固定连接第一齿轮，两个所述安装架远离固定架侧内壁均转动连接主轴本发明通过设置固定架和夹具配合使用，通过夹具固定多组半导体，后驱动电机带动主轴旋转，主轴带动多个副轴一起旋转，这样带动多个半导体同时旋转，多个半导体在旋转过程中相互无影响，在烘干装置配合下，提高了烘干速率
半导体生产设备

[外观设计]半导体生产设备-CN202130517119.7有效
发明人：吴彩庭;刘欣;罗骞;毛朝斌;孔倩茵 -专利权人：季华恒一(佛山)半导体科技有限公司
申请日： 2021-08-10 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： 15-09 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：半导体生产设备。2.本外观设计产品的用途：半导体生产的设备，尤其是衬底外延生产设备。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
半导体生产设备

[发明专利]半导体生产系统-CN201210559043.4无效
发明人：苏育家 -专利权人：光达光电设备科技（嘉兴）有限公司
申请日： 2012-12-20 - 公布日： 2013-05-01 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本发明涉及一种半导体生产系统，所述半导体生产系统包括生产设备和生产设备控制系统，所述生产设备控制系统用于控制所述生产设备进行半导体生产工艺，所述生产设备控制系统进一步包括无线通信模块，所述无线通信模块用于与移动终端设备通信本发明的半导体生产系统能够方便工艺人员了解半导体生产系统的状态。
半导体生产系统

[实用新型]半导体生产系统-CN201220713019.7有效
发明人：苏育家 -专利权人：光达光电设备科技（嘉兴）有限公司
申请日： 2012-12-20 - 公布日： 2013-07-10 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种半导体生产系统，所述半导体生产系统包括生产设备和生产设备控制系统，所述生产设备控制系统用于控制所述生产设备进行半导体生产工艺，所述生产设备控制系统进一步包括无线通信模块，所述无线通信模块用于与移动终端设备通信本实用新型的半导体生产系统能够方便工艺人员了解半导体生产系统的状态。
半导体生产系统

[发明专利]监控退火设备出现小颗粒尺寸缺陷的方法-CN201410469249.7在审
发明人：何理;许向辉 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2014-09-15 - 公布日： 2014-12-24 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供一种监控退火设备出现小尺寸颗粒缺陷的方法，用于在半导体设备进行工艺监控，包括；提供监控用半导体衬底以及生产用半导体衬底，所述监控用半导体衬底没有图形；将所述监控用半导体衬底以及生产用半导体衬底按照相同的半导体工艺流程在所述半导体设备中进行半导体工艺；在半导体工艺之后，将所述监控用半导体衬底上形成氧化层；基于形成有氧化层的监控用半导体衬底进行缺陷扫描判断，获得所述半导体设备的小尺寸颗粒缺陷的情况。
监控退火设备出现颗粒尺寸缺陷方法

[发明专利]一种半导体生产设备的产能管理方法、系统及设备-CN202210101541.8在审
发明人：王晓;宁泽宇;朱志翔 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2022-01-27 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： G06Q10/06 文献下载
摘要：本申请公开了一种半导体生产设备的产能管理方法、系统及设备，用以提高估算半导体生产设备产能的准确性。本申请预先将所述半导体生产设备进行划分，使得所述半导体生产设备包括至少一个主生产模块，以及至少一个子生产模块，本申请提供的所述半导体生产设备的产能管理方法包括：获取所述主生产模块的数量和状态，以及所述子生产模块的数量和状态；根据所述主生产模块的数量和状态，以及所述子生产模块的数量和状态，确定所述半导体生产设备的生产效率；其中，所述状态具体是指处于工作状态或停机状态。
一种半导体生产设备产能管理方法系统

[发明专利]一种半导体设备的监控方法、装置及系统-CN201910927544.5在审
发明人：汪世军;邢家川;张万龙;王晓峰 -专利权人：深圳赛意法微电子有限公司
申请日： 2019-09-27 - 公布日： 2020-01-31 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体设备的监控方法、装置及系统，应用于监控装置，所述监控方法包括：获取所述半导体生产设备的状态数据，其中，所述半导体生产设备设置有信号采集器及RAAS接口；根据所述状态数据控制显示屏显示对应的状态图标，其中，所述状态图标具有显示特征，以通过所述显示特征识别所述半导体生产设备的当前运行状态。本发明所提供的监控方法通过利用监控装置获取半导体生产设备的状态数据，并根据状态数据控制显示屏显示于状态数据对应的状态图标，以通过状态图标所对应的显示特征识别对应半导体生产设备的运行状态，从而可以通过显示屏及时获知一个或多个半导体生产设备的生产状态，以便及时作出相应半导体生产设备管理措施。
半导体生产设备状态数据状态图标显示特征控制显示屏监控装置运行状态监控半导体设备信号采集器装置及系统管理措施生产状态获知显示屏应用

[发明专利]半导体生产线的监控方法及系统-CN200610119133.6无效
发明人：伊德尔;洪启德;陈泰祥 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2006-12-05 - 公布日： 2008-06-11 - 主分类号： G05B19/04 文献下载
摘要：一种半导体生产线的监控方法，包括：获取生产线中各个半导体设备的状态信息；建立所述各个半导体设备的状态信息和其相应的信息标识的链接；通过对所述信息标识的识别获得所述各个半导体设备的状态信息；本发明还提供一种半导体生产线得监控系统，包括：数据获取装置，用于获取生产线中各个半导体设备的状态信息；数据处理装置，用于生成所述生产线上的半导体设备的状态信息的信息标识，并在所述状态信息和其相应的信息标识之间建立链接。本发明生产线的监控方法和系统可监测整个生产线的各个设备的状态信息的问题。
半导体生产线监控方法系统

[发明专利]一种半导体生产设备产能管理方法、系统及设备-CN202210027602.0在审
发明人：王晓 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2022-01-11 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： G06Q10/06 文献下载
摘要：本申请公开了一种半导体生产设备产能管理方法、系统及设备，用以模拟多种半导体设备的生产时间，并且具有待加工原材料计算的准确性，简化了生产设备产能管理系统的维护步骤，便于建立精简的半导体生产全流程仿真系统。所述半导体生产设备的生产流程包括一个或多个子流程，所述方法包括：获取待生产的产品数量、子流程对应的加工时间，以及子流程中对应生产设备的生产效率；利用所述待生产的产品数量、所述加工时间，以及所述生产效率，计算所述半导体生产设备的产能。
一种半导体生产设备产能管理方法系统

[发明专利]半导体设备的远程群组控制系统-CN201911198868.6在审
发明人：黄扬君;周法福 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2019-11-25 - 公布日： 2020-03-27 - 主分类号： H04L29/08 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体设备的远程群组控制系统，该群组控制系统包括：服务器、至少一个客户端，其中，客户端通过第一预设协议与服务器通信连接，服务器通过第二预设协议与至少一个半导体设备群组通信连接，半导体设备群组中包括至少一个半导体设备；服务器用于获取半导体设备群组中各个半导体设备的运行状态参数，并将运行状态参数发送给客户端；客户端用于显示运行状态参数。上述远程群组控制系统可独立地基于半导体设备群组的架构实现对半导体设备的监控和管理功能，提升了半导体制造厂的生产效率，提高了半导体制造厂的生产线平衡和及时交付能力，降低了半导体制造厂的生产费用。
半导体设备远程控制系统

[实用新型]一种半导体生产系统-CN201820937950.0有效
发明人：李静远;李楠;邱俊杰 -专利权人：佛山宝芯智能科技有限公司
申请日： 2018-06-15 - 公布日： 2019-02-05 - 主分类号： H01L21/56 文献下载
摘要：本实用新型属于半导体封装设备领域，其公开了一种半导体生产系统，包括依次连接的第一半导体机台、第一固化设备、第二半导体机台、第二固化设备，所述的第一半导体机台、第一固化设备之间设有第一暂存机，所述的第二半导体机台、第二固化设备之间设有缓存机；所述的第一半导体机台为固晶机，所述的第二半导体机台为点胶机或molding机。本实用新型的目的在于提供一种设备可替换性强、系统模块化程度高的半导体生产系统。
半导体机台固化设备半导体生产系统本实用新型半导体封装设备系统模块化可替换性依次连接点胶机固晶机缓存机暂存机

[发明专利]一种动态模拟半导体生产系统废气处理的方法及装置-CN202310152028.6有效
发明人：程星华;杨光明;卢芳慧;曹东;李卫佳;缪怡君;赵晓妍;解敏 -专利权人：中国电子工程设计院有限公司
申请日： 2023-02-22 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本发明公开了一种动态模拟半导体生产系统废气处理的方法及装置，方法包括如下步骤：采集目标半导体生产工艺，以及半导体生产系统中的设备布局信息；确定生产目标半导体的目标机台组、目标机台和生产物流路径；获取第一生产节拍和第二生产节拍，结合目标半导体的生产物流路径，给出目标机台及目标机台组所产生的废气数据；获取目标机台组的废气处理信息和第三生产节拍，结合时间控制指令，给出针对半导体生产系统废气处理的动态模拟。将生产设备和腔体进程、生产节拍等参数囊括，实现了半导体生产系统废气处理动态模拟，为设备选型、管路设计、动能用量提供更精准的参考。
一种动态模拟半导体生产系统废气处理方法装置

[发明专利]用于半导体生产设备的净化气-CN01802037.2无效
发明人：大野博基;大井敏夫;吉田修二;大平学;田中耕太郎 -专利权人：昭和电工株式会社
申请日： 2001-07-17 - 公布日： 2002-12-18 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明涉及(1)用于半导体生产设备的净化气,通过以一特定比例使SF6和F2、NF3中的一种或两种以及惰性气体混合获得该气体;(2)用于半导体生产设备的净化气,该气体以一特定比例混合SF6和F2、NF3中的一种或两种以及惰性气体和含氧气体得到;(3)使用所述气体净化半导体生产设备的方法;(4)包括使用所述净化气的净化步骤的生产半导体器件的方法。使用本发明用于半导体生产设备的蚀刻速率高的净化气,可以以优异的性价比对半导体生产设备进行纯化并维其运行。
用于半导体生产设备净化

[发明专利]半导体设备生产效率的评估方法及装置-CN202110759816.2有效
发明人：王剑平;王晓;操津津 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2021-07-05 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： G06Q10/0639 文献下载
摘要：本申请提供了一种半导体设备生产效率的评估方法及装置，所述半导体设备生产效率的评估方法包括：提供一半导体设备，所述半导体设备包括至少一个生产子单元；获取所述半导体设备分批次生产多个晶圆的生产参数，并根据所述生产参数确定连续批次的生产结束时间之间的时间间隔；获取每批次中每一晶圆进出每一生产子单元的进出时间，并根据所述进出时间分别确定所述每批次中所有晶圆在所述每一生产子单元中的停留时间；统计所述停留时间和所述时间间隔之间的占比，评估所述半导体设备的生产效率上述技术方案能够快速的定位出瓶颈子单元，并且能够直观的反映出限制设备生产效率的生产单元以及其他生产单元所能够提升的范围。
半导体设备生产效率评估方法装置

[发明专利]生产报表的更新方法、生产控制系统、装置、介质和设备-CN202110824172.0在审
发明人：王剑平;蒋治纬;王晓;李忠雄;王柏皓;孙克武;余露;操津津 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2021-07-21 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G06F16/23 文献下载
摘要：本公开提供了一种生产报表的更新方法、生产控制系统、装置、介质和设备，涉及半导体制造技术领域。该半导体生产报表的更新方法是基于实时得到的目标生产数据对已有的半导体生产报表进行实时更新，而无需每次都重新建立新的半导体生产报表，更新效率高；同时，本公开实施例中的目标生产数据是基于由半导体在各生产设备上的最大停留时间与当前时刻确定的目标时间区间，在历史生产数据库中查询得到的，而无需每次都重新获取大量的重复历史数据，可以在保证半导体生产报表准确性的前提下大大减小数据量，从而提高数据处理效率与半导体生产报表的更新效率。
生产报表更新方法控制系统装置介质设备

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