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[发明专利]正入射式共面电极光电芯片及其制备方法-CN201811587557.4在审
发明人：杨彦伟;刘宏亮;刘格;邹颜 -专利权人：深圳市芯思杰智慧传感技术有限公司
申请日： 2018-12-25 - 公布日： 2019-04-19 - 主分类号： H01L31/0232 文献下载
摘要：本发明涉及光通信传输技术领域，具体涉及一种正入射式共面电极光电芯片及其制备方法；一种正入射式共面电极光电芯片，芯片上开设主光槽，主光槽向芯片的任一表面方向开口并贯穿芯片的吸收层；芯片的正面上还设有收光区、第一电极和第二电极，第一电极位于收光区的外侧，第一电极和第二电极相互绝缘设置；以芯片的正面为入光侧，主光槽用于入射光的一部分射出，入射光的另一部分从收光区进入到吸收层内进行光电转换；故本发明提供的正入射式共面电极光电芯片既能够分光
芯片共面电极光电芯片正入射第一电极入射光收光区主光第二电极吸收层分光制备光通信传输表面方向光电转换光分路器光路系统绝缘设置光功率槽向射出开口监控贯穿

[实用新型]铌酸锂高频微型电光调制器芯片结构-CN201821772681.3有效
发明人：华平壤;姜城 -专利权人：派尼尔科技（天津）有限公司
申请日： 2018-10-30 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： G02F1/03 文献下载
摘要：本实用新型公开了铌酸锂高频微型电光调制器芯片结构，所述调制器芯片结构包括：共面行波电极、二氧化硅缓冲层、光波导层和铌酸锂晶体层；其中，所诉光波导层制备于所述铌酸锂晶体层上，所述共面行波电极位于所述铌酸锂晶体层的上表面，所述二氧化硅缓冲层位于所述铌酸锂晶体层的下表面；所述共面行波电极包括中心电极和两偏电极，所述中心电极位于所述两偏电极的中间位置。本实用新型的有益效果是，通过在波导底层加入二氧化硅绝缘层，可以减小微波损耗，提高电场作用效率，实现较低的半波电压，或减小器件的尺寸；利用薄膜化芯片，减小或去除行波电极与铌酸锂晶片之间二氧化硅缓冲层，可有效提高电光转换效率
铌酸锂晶体行波电极二氧化硅缓冲层减小本实用新型电光调制器光波导层芯片结构中心电极偏电极铌酸锂二氧化硅绝缘层电光转换效率调制器芯片铌酸锂晶片半波电压电场作用微波损耗薄膜化上表面下表面波导去除制备芯片

[发明专利]一种电容式RF MEMS开关-CN201410139807.3无效
发明人：杨俊民 -专利权人：苏州锟恩电子科技有限公司
申请日： 2014-04-09 - 公布日： 2014-07-23 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：一种电容式RF MEMS开关，包括衬底、位于衬底上的缓冲介质层、接地线、共面波导传输线、锚点、绝缘介质层、弹性折叠梁、上电极，所述接地线、共面波导传输线、锚点设于缓冲介质层上，所述绝缘介质层覆于所述共面波导传输线上，所述弹性折叠梁一端与锚点连接，一端与上电极连接，所述上电极与所述绝缘介质层留有间隙，所述弹性折叠梁弯曲形状为n形、弯曲个数为2个、套数为2个；所述上电极分为驱动电极板和电容上极板，所述驱动电极板和电容上极板之间通过双直梁连接
一种电容 rf mems 开关

[发明专利]一种弹性微桥式RF MEMS开关-CN201410147457.5无效
发明人：杨俊民 -专利权人：苏州锟恩电子科技有限公司
申请日： 2014-04-14 - 公布日： 2014-07-23 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：一种弹性微桥式RF MEMS开关，包括衬底、位于衬底上的缓冲介质层、接地线、共面波导传输线、锚点、绝缘介质层、弹性折叠梁、上电极，所述接地线、共面波导传输线、锚点设于缓冲介质层上，所述绝缘介质层覆于所述共面波导传输线上，所述上电极分为驱动电极板和电容上极板，所述驱动电极板位于所述电容上极板两侧，所述驱动电极板和电容上极板之间通过双直梁连接；所述弹性折叠梁一端与锚点连接，一端与驱动电极板侧面连接，所述弹性折叠梁弯曲形状为
一种弹性微桥式 rf mems 开关

[发明专利]一种共面式内置电容及其制造方法-CN201010617318.6无效
发明人：陈冲;刘德波;彭勤卫;孔令文 -专利权人：深南电路有限公司
申请日： 2010-12-31 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： H01G4/06 文献下载
摘要：本发明适用于印制电路板领域，提供了一种共面式内置电容及其制造方法，所述电容包括：下层电容电极、上层电容电极；以及位于所述下层电容电极与所述上层电容电极之间的介电层，所述介电层由介电材料采用喷墨打印技术喷印而成本发明实施例采用喷墨打印技术喷印介电层，降低了介电层的厚度，增强了介电层的均匀度，从而提高了共面式内置电容的单位电容密度并且减小了电容公差值；采用磁控溅射技术溅射导电种子层，增强了介电层与电容电极之间的结合力，防止介电层与电容电极之间相互扩散，从而提高了共面式内置电容的可靠性，满足未来电子器件向小型化、多功能化方向发展的需要。
一种共面式内置电容及其制造方法

[实用新型]一种弹性微桥式RF MEMS开关-CN201420178308.0有效
发明人：杨俊民 -专利权人：苏州锟恩电子科技有限公司
申请日： 2014-04-14 - 公布日： 2014-10-29 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：一种弹性微桥式RF MEMS开关，包括衬底、位于衬底上的缓冲介质层、接地线、共面波导传输线、锚点、绝缘介质层、弹性折叠梁、上电极，所述接地线、共面波导传输线、锚点设于缓冲介质层上，所述绝缘介质层覆于所述共面波导传输线上，所述上电极分为驱动电极板和电容上极板，所述驱动电极板位于所述电容上极板两侧，所述驱动电极板和电容上极板之间通过双直梁连接；所述弹性折叠梁一端与锚点连接，一端与驱动电极板侧面连接，所述弹性折叠梁弯曲形状为
一种弹性微桥式 rf mems 开关

[实用新型]一种电容式RF MEMS开关-CN201420168547.8有效
发明人：杨俊民 -专利权人：苏州锟恩电子科技有限公司
申请日： 2014-04-09 - 公布日： 2014-10-29 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：一种电容式RF MEMS开关，包括衬底、位于衬底上的缓冲介质层、接地线、共面波导传输线、锚点、绝缘介质层、弹性折叠梁、上电极，所述接地线、共面波导传输线、锚点设于缓冲介质层上，所述绝缘介质层覆于所述共面波导传输线上，所述弹性折叠梁一端与锚点连接，一端与上电极连接，所述上电极与所述绝缘介质层留有间隙，所述弹性折叠梁弯曲形状为n形、弯曲个数为2个、套数为2个；所述上电极分为驱动电极板和电容上极板，所述驱动电极板和电容上极板之间通过双直梁连接
一种电容 rf mems 开关

[发明专利]一种电极共面LED基板及其制备方法-CN202110654758.7在审
发明人：李国强 -专利权人：河源市众拓光电科技有限公司
申请日： 2021-06-11 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： H01L33/38 文献下载
摘要：本发明提供一种电极共面LED基板及其制备方法，该电极共面LED基板包括：绝缘衬底；贯穿所述绝缘衬底的P型引出电极和N型引出电极；以及位于所述绝缘衬底一侧的导电粘结层。制备方法包括以下步骤：在所述绝缘衬底上制备贯穿所述绝缘衬底的电极通道；在所述电极通道内形成P型引出电极一和N型引出电极一；在所述绝缘衬底一侧形成粘结层。本发明可实现LED芯片电极制备于同侧，避免了以往制作电极而损失一部分发光面积，有效提升了芯片的光输出功率。
一种电极 led 及其制备方法

[发明专利]一种双环电极共面放电等离子体发生装置-CN201711180889.6有效
发明人：李建;童洪辉;王坤;但敏;金凡亚 -专利权人：核工业西南物理研究院;成都理工大学工程技术学院
申请日： 2017-11-23 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本发明属于低温等离子体技术领域，具体涉及一种双环电极共面放电等离子体发生装置。本装置由电源和埋藏在介质层内的双环形电极单元紧密排列而成；所述双环形电极单元包括内环电极和外环电极，内环电极和外环电极均埋藏在介质层内一定深度，内环电极接地，外环电极连接高压电源的高频、高电压电极，多个双环形电极单元组合后可以产生大面积均匀等离子体，在所述的内环电极和外环电极之间的介质层表面，在高电压作用下产生共面放电等离子体，等离子体分布均匀。
一种电极放电等离子体发生装置

[实用新型]一种双环电极共面放电等离子体发生装置-CN201721581779.6有效
发明人：李建;童洪辉;王坤;但敏;金凡亚 -专利权人：核工业西南物理研究院;成都理工大学工程技术学院
申请日： 2017-11-23 - 公布日： 2018-06-22 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本实用新型属于低温等离子体技术领域，具体涉及一种双环电极共面放电等离子体发生装置。本装置由电源和埋藏在介质层内的双环形电极单元紧密排列而成；所述双环形电极单元包括内环电极和外环电极，内环电极和外环电极均埋藏在介质层内一定深度，内环电极接地，外环电极连接高压电源的高频、高电压电极，多个双环形电极单元组合后可以产生大面积均匀等离子体，在所述的内环电极和外环电极之间的介质层表面，在高电压作用下产生共面放电等离子体，等离子体分布均匀。
内环电极外环电极放电等离子体电极单元双环形发生装置双环电极介质层埋藏低温等离子体技术等离子体分布均匀等离子体本实用新型高电压电极介质层表面高压电源紧密排列接地高电压电源

[发明专利]新型聚合物调制器共面波导电极设计方法-CN201110001375.6无效
发明人：张晓霞;刘宏明;文玥;黄春阳;沈杰;朱燕 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2011-01-06 - 公布日： 2011-06-15 - 主分类号： G02F1/065 文献下载
摘要：新型聚合物调制器共面波导电极设计方法，属于光通信技术领域，涉及集成光学和光波导技术。利用具有较低介电常数和较低损耗因子的有机聚合物设计脊型光波导结构，并且满足单模传输条件。本发明采用共面波导电极实现了速率和阻抗的同时匹配。
新型聚合物调制器波导电极设计方法

[发明专利]一种共面电极的边发射半导体激光器-CN201610948459.3在审
发明人：赵泽平;刘宇;张一鸣;张志珂;刘建国;祝宁华 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2016-10-26 - 公布日： 2017-01-18 - 主分类号： H01S5/32 文献下载
摘要：一种共面电极的边发射半导体激光器，包括一衬底、两个N电极和一个P电极，所述P电极位于两个N电极中间，其中，两个N电极的顶面与所述P电极的上表面位于同一水平面。本发明通过将边发射的半导体激光器的N极制备在衬底的上表面，通过绝缘材料将N极与P极制备在同一平面，形成共面电极结构；相比于异面电极结构的激光器，减小了N极与P极的纵向距离，有效地减小了激光器芯片的寄生电容和寄生电阻，提高了芯片的调制速率，同时更容易实现芯片的测试和封装工作；本发明可直接采用倒装焊技术，避免金丝的使用，减小封装中的寄生电感；本发明的共面电极的边发射半导体激光器结构适用于高速光电子发射器件中。
一种电极发射半导体激光器

[发明专利]一种基于表面半导体工艺的射频微机电开关及其制备方法-CN201610772249.3在审
发明人：李志东;董鹏;陈瑞;边旭明;段斌;赵宏忠 -专利权人：北京航天微电科技有限公司
申请日： 2016-08-30 - 公布日： 2017-01-04 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：射频微机电开关由衬底、电极接触孔、驱动电极、隔离电阻和钝化层、共面波传输线、共面波导地线、锚点、悬臂梁结构、上接触点、弓形结构、通孔等组成。射频微机电开关的制备方法主要包括:衬底清洗、驱动电极制备、隔离电阻制备、共面波导传输线图形制备、牺牲层制备、钝化层制备及悬臂梁结构制备、牺牲层结构释放等工艺步骤，使制造过程简单易控，提高生产成品率，同时改善射频微机电开关的机械特性和电学性能指标
一种基于表面半导体工艺射频微机开关及其制备方法

[外观设计]三电极共面型叉指电极（2）-CN202030654533.8有效
发明人：罗天奎;奚亚男 -专利权人：广州钰芯传感科技有限公司
申请日： 2020-10-30 - 公布日： 2021-04-06 - 主分类号： 13-03 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：三电极共面型叉指电极（2）。2.本外观设计产品的用途：用于气体分子的电化学检测。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状与图案的结合。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
电极共面型叉指

[发明专利]一种推力可调、可多次启动电控固体推进剂火箭发动机-CN201611165061.9在审
发明人：王新强;邓康清;庞爱民;余小波;李洪旭;向进;杨育文;张志军;王鹍鹏;朱雯娟;王相宇 -专利权人：湖北航天化学技术研究所
申请日： 2016-12-16 - 公布日： 2018-01-30 - 主分类号： F02K9/34 文献下载
摘要：一种推力可调、可多次启动电控固体推进剂火箭发动机，包括燃烧室、弹簧、移动绝缘板、电控固体推进剂药柱、共面电极、绝热层、喷管和接线柱；电控固体推进剂药柱的装药结构为圆管型，利用弹簧的弹力作用推动药柱；共面电极与电控固体推进剂药柱燃烧端面接触；所述的共面电极包括两个完全相同的多孔电极，所述两多孔电极分别接电源两端，在两多孔电极之间加载一定电压，发动机可实现点火；切断电源，发动机主动熄火；发动机可实现连续性多次启动。通过改变加载在两多孔电极之间的电压大小，可实现对发动机推力的主动、实时控制。本发明可取代液体姿轨控及末修发动机，应用于航天器要求发动机具有多次启动、推力可调的动力装置或辅助动力装置。
一种推力可调多次启动固体推进火箭发动机