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[发明专利]用于波长选择开关中双功能光束指向控制的硅上液晶元件-CN201911409079.2有效
发明人： P.D.罗尔达;P.科尔伯恩;S.麦克劳克林 -专利权人：朗美通经营有限责任公司
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： G02F1/1362 文献下载
摘要：一种光装置，可以包括单体光束指向控制引擎。装置可以包括双重M×N波长选择开关(WSS)，其包括第一M×N WSS和第二M×N WSS。第一M×N WSS可以包括单体光束指向控制引擎的第一板区间，以执行第一光束的第一光束指向控制，其中第一光束指向控制是插入/分出端口光束指向控制；和单体光束指向控制引擎的第二板区间，以执行第二光束的第二光束指向控制，其中第二光束指向控制是共用端口光束指向控制。第一M×N WSS可以包括第一光学元件，其对准单体光束指向控制引擎，以相对于第一光束或第二光束中的另一个引导第一光束或第二光束中的一个，使得第一光束被沿与第二光束不同的方向引导。
用于波长选择开关功能光束指向控制液晶元件

[发明专利]一种光束指向控制方法-CN201510724567.8在审
发明人：赵军普;杨英;张鑫;王德恩;张晓璐;薛峤;袁强;王渊承;邓学伟;邓武;代万俊;周维;胡东霞;黄小霞;郭怀文;张崑;钟伟;贾怀庭;张帆 -专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请日： 2015-10-29 - 公布日： 2016-03-23 - 主分类号： G05D25/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种光束指向控制方法，属于激光器光束控制技术领域，采集光束近场图像，从所述近场图像中提取光束指向信息并将其进行量化，得到光束指向偏差信息，根据所述光束指向偏差信息，实现闭环控制，本发明具有实现光束指向信息的实时诊断
一种光束指向控制方法

[实用新型]一种光束指向快速预校准装置-CN202121579010.7有效
发明人：明昌福;明廷锋;陈虎 -专利权人：武汉海云鸿翼科技有限公司
申请日： 2021-07-13 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： G01S7/497 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光束指向快速预校准装置。水平板设置在调平装置上；在水平板上有通孔；指向筒与水平板连接，指向筒与通孔贯通；光束由反射台反射经过通孔从指向筒射出。其中，水平板用于提供基准水平面，并承载指向筒；指向筒用于约束光束按预定指向传播，从而能够对光束指向进行快速校准，省时省力。本实用新型提供的光束指向快速预校准装置结构简单、使用方便。
一种光束指向快速校准装置

[发明专利]分光检测系统和光束指向检测与稳定系统-CN202310425344.6在审
发明人：马程鹏;匡翠方;徐良;丁晨良;魏震 -专利权人：之江实验室;浙江大学
申请日： 2023-04-18 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： G01J1/42 文献下载
摘要：本申请提供一种分光检测系统和光束指向检测与稳定系统。分光检测系统用于检测光束指向控制组件出射的光束的性质，包括分光检测组件和控制器。分光检测组件包括分光组件和检测组件，分光组件用于反射和透射光束，检测组件用于接收光束反射形成的反射光束，检测反射光束的性质。控制器连接于检测组件和光束指向控制组件之间，控制器用于根据反射光束的性质，确定光束调整量，控制光束指向控制组件根据光束调整量调制光源发出的光束。本申请提供的分光检测系统通过设置控制器根据检测组件检测得到的光束性质，控制光束指向控制组件调制光源发出的光束，降低光束在长距离传播的过程中的偏移和光学器件引入的指向误差，提高光束的稳定性。
分光检测系统光束指向稳定

[发明专利]用于测量表面上的特征结构的方法、测量组件、用于制造结构的方法和指向器-CN201380030991.1有效
发明人： T·W·诺维科 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2013-06-14 - 公布日： 2017-05-31 - 主分类号： G01S17/06 文献下载
摘要：一种用于测量表面(16)上的特征结构(14A)的测量组件(12)，包括度量系统(18)、移动器组件(19)、指向器(22)和控制系统(24)。所述度量系统(18)产生测量光束(26)，并且所述移动器组件(19)选择性地调整测量光束(26)的方向。所述指向器(22)是手持型的并且产生指向器光束(22A)，所述指向器光束(22A)可以选择性地指向所述表面(16)以在所述表面(16)上形成指向器光斑(36)。此外，所述控制系统(24)控制移动器组件(19)移动测量光束(26)的方向直到测量光束(26)近似指向指向器光斑(36)。
用于测量表面上特征结构方法组件制造指向

[发明专利]一种光束控制装置-CN201710553949.8有效
发明人：徐伟科 -专利权人：徐伟科
申请日： 2017-07-09 - 公布日： 2020-09-29 - 主分类号： G02F1/00 文献下载
摘要：一种光束控制装置，由光束指向部件和电磁场控制部件组成。电磁场控制部件具有球形空腔，光束指向部件外形为球形，并位于该球形空腔中，并可相对转动。两者之间的空隙填充有润滑液。光束指向部件具有磁矩或者电偶极矩，控制器通过控制电磁场控制部件的球形空腔中的磁场或者电场，给光束指向部件施加力矩，控制光束指向部件的指向，从而控制光束指向部件的出射光束的方向。本发明通过整合光、机、电、磁、材料和控制领域的技术突破，实现了可以极小型化的、具有极大偏转角度的光束控制方案，为自由空间光通讯、激光扫描、无人驾驶、激光射束驱动、空间定位等等领域提供了全新的终端技术。
一种光束控制装置

[发明专利]一种能量与光束指向稳定控制的再生放大器及其控制方法-CN202011008051.0有效
发明人：张鹏;石玉森;汤晓云;姜有恩;王江峰;曾沛颖;范薇;李学春 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2020-09-23 - 公布日： 2022-01-28 - 主分类号： H01S3/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种能量与光束指向稳定控制的再生放大器，由光束耦合系统、谐振腔和腔外光束指向控制系统组成，谐振腔内包含有腔内光束指向控制放大组件，用于控制再生放大器的能量稳定，腔外光束指向控制系统用于控制再生放大器光束指向稳定本发明还公开了一种利用该再生放大器实现能量与光束指向稳定的控制方法，通过标定和实时检测谐振腔内激光放大头位置处的模式光束的实时质心位置、模式光束的实时近场质心位置和模式光束的实时远场质心位置，并调节电控反射镜的角度，实现对再生放大器能量和光束指向的实时稳定控制。本发明可应用于重复频率高功率激光系统，能够实现谐振腔位于第Ⅱ稳定区的、能量与光束指向稳定的大模场再生放大器，具有高稳定性、高控制精度等优点。
一种能量光束指向稳定控制再生放大器及其方法

[实用新型]多视角浮空投影器-CN202221650840.9有效
发明人：陈锡勳 -专利权人：怡利电子工业股份有限公司
申请日： 2022-06-28 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： G02B30/56 文献下载
摘要：本实用新型公开一种多视角浮空投影器，包含多个指向性光源、显示面板以及成像凹面镜。多个指向性光源投射多道指向性光束照亮显示面板形成多道指向性影像光束；反射镜将指向性影像光束反射至成像凹面镜，多道指向性影像光束分别被成像凹面镜反射至多个不同视角的观看区域，形成多个浮空投影实像。其中，多道指向性光束照射在同一个显示面板几乎相同的区域，或多道指向性影像光束照射在同一个成像凹面镜几乎相同的区域，多个观看区域有较大的视角差异。
视角投影

[实用新型]光束指向检测装置-CN200920252052.2有效
发明人：安振杰;谈小虎;张云兴 -专利权人：核工业理化工程研究院华核新技术开发公司
申请日： 2009-12-28 - 公布日： 2010-09-15 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光束指向检测装置，包括缩束镜片组、分光镜片、反射镜、聚焦镜片、CCD I、成像镜组、CCD II、数据采集卡和计算机等。本实用新型结构简单、操作方便，可以有效地检测由于温度变化，反射镜机械结构蠕变、地基、支撑框架的微振动和振荡器输出光束漂移等因素所造成的在激光长距离传输过程中光束发生漂移。
光束指向检测装置

[发明专利]半导体激光阵列的光束指向性补偿装置及光学系统-CN202011357179.8有效
发明人：曹银花;孟娇;刘友强;秦文斌;郭照师 -专利权人：北京工业大学
申请日： 2020-11-26 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： H01S5/02253 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体激光阵列的光束指向性补偿装置及光学系统。该光束指向性补偿装置包括分别对应于所述半导体激光阵列中的多个发光单元的多个透镜单元，其中，每个所述透镜单元具有彼此不平行的入射面和出射面，并且根据对应的所述发光单元的光束指向角，每个所述透镜单元的所述入射面和所述出射面之间形成不同的夹角该光束指向性补偿装置可以对每个发光单元的光束指向性进行针对性地补偿，从而可以有效地补偿发光单元的指向性，得到强度分布均匀的远场光斑，提高光束质量。
半导体激光阵列光束指向补偿装置光学系统

[实用新型]相干合束装置-CN202320644516.4有效
发明人：罗先刚;张飞;李兰婷;刘永健;蒲明博 -专利权人：天府兴隆湖实验室
申请日： 2023-03-28 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： H01S5/40 文献下载
摘要：该装置包括：多光束产生组件，用于产生至少两束光；调节组件，用于调节光束的指向和位置；光束合成组件，用于将经过调节的至少两束光合成一束合束光；调节组件设置于多光束产生组件与光束合成组件间；该装置还包括检测组件和控制器，检测组件用于检测合束光的指向和位置，控制器用于接收检测组件输出的指向和位置信息，根据接收的指向和位置信息生成新的调节参数传输给调节组件，调节组件用于根据接收调节参数调节光束的指向和位置，以提高合束光的重合度该装置可同时检测合束光的指向和位置，还可以根据指向和位置信息，对光束进行实时精调，快速提高合束精度。
相干束装

[发明专利]一种四自由度激光指向控制系统及其控制方法-CN202011540777.9有效
发明人：于德洋;潘其坤;李鑫鹏;郭劲;陈飞;孙俊杰;张阔;张鲁薇 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2020-12-23 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： G01B11/26 文献下载
摘要：本申请公开了一种四自由度激光指向控制系统及其控制方法，包括：CO2激光器，用于发出激光光束；指向调节模块，包括第一压电陶瓷偏摆镜和第二压电陶瓷偏摆镜，用于调节激光光束的指向；分光模块，用于将激光光束分成第一光束和第二光束；第一光束轰击锡靶；第二光束传输至指向位置监测模块；指向位置监测模块，包括第一相机和第二相机，用于分别对激光指向的近场光斑位置和远场光斑位置进行测量；工控机，用于根据第一相机、第二相机中的光斑位置与预定位置的偏差，解算施加给指向调节模块的驱动信号，以实时调整第一压电陶瓷偏摆镜和第二压电陶瓷偏摆镜的水平与俯仰角度。这样可以实现对激光指向的准直稳定控制，显著降低光束的抖动情况。
一种自由度激光指向控制系统及其控制方法

[发明专利]一种光束指向主动修正系统及方法-CN202210821695.4在审
发明人：林栩凌;吴铠岚;吴金贵;郭忠凯;王芸;彭博;谈宜东;王小勇;郑永超 -专利权人：北京空间机电研究所
申请日： 2022-07-12 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： G01C25/00 文献下载
摘要：一种光束指向主动修正系统及方法，针对空间激光干涉测量任务中光束指向偏移的问题，属于空间激光干涉技术领域。本发明提出将四象限探测器测与压电陶瓷驱动相结合的光束指向主动修正方法，通过四象限探测器测得差分波前相位探测信号，借此反馈调节由压电陶瓷驱动的快反镜，进而达到修正光束指向的目的。该方法在保证测量精度的同时，稳定性更高，噪声更低，有效地降低了光束指向变化给测量结果带来的影响。
一种光束指向主动修正系统方法

[发明专利]光刻机光束监测系统的标定装置及标定方法-CN201310307284.4有效
发明人：黄立华;王俊;侯莉颖;彭雪峰;任冰强;曾爱军;黄惠杰 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2013-07-19 - 公布日： 2013-10-23 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种光刻机光束监测系统的标定装置及标定方法，装置由照明单元、指向偏移引入单元、光束位置偏移引入单元和控制单元构成，利用平行平板引入光束位置偏差和双圆光楔引入指向偏差，分别调节平行平板和光楔对光束监测系统进行标定本发明具有系统结构简单、操作方便、能有效、快速地对光束监测系统的光束位置和指向测量光路进行标定。
光刻光束监测系统标定装置方法

[发明专利]一种多路照明光束指向调节装置及方法-CN202211226039.6在审
发明人：王勋;董理治;吴丰阳;荆建行;戴勋义;刘洋;吴琳;刘明川;向文鼎;刘文劲;陈善球;江颖 -专利权人：航天科工微电子系统研究院有限公司
申请日： 2022-10-09 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种多路照明光束指向调节装置，包括K个激光器、扩束装置、能动光学反射镜(FSM)、平面镜阵列、分光镜以及夏克‑哈特曼波前传感器；所述K个激光器分别产生照明光束；扩束装置用于分别对照明光束进行扩束；FMS分别对应调节扩束后各个照明光束的指向；平面镜阵列将经FMS调节指向的各个照明光束合成为阵列光束；分光镜接收阵列光束，对照明光全反射进行照明；对指示光全透并进入夏克‑哈特曼波前传感器；夏克‑哈特曼波前传感器通过指示光测量各照明光束的指向角度本发明利用FSM实现对各光束指向角度控制，实现多路照明并通过夏克‑哈特曼波前传感器形成闭环控制，有效保证控制精度，整体结构更加紧凑，系统更加可靠。
一种照明光束指向调节装置方法

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