|
钻瓜专利网为您找到相关结果 10053884个,建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]一种二维运动平台-CN202210117093.0在审
-
张振夺;陈强;刘鑫
-
深圳市德沃先进自动化有限公司
-
2022-02-07
-
2022-05-13
-
H02K41/02
- 本发明涉及半导体封装制造技术领域,提供了一种二维运动平台,包括底座、X向运动平台、Y向运动平台、工作运动平台、X向驱动直线电机以及Y向驱动直线电机。X向及Y向驱动直线电机可分别驱动X向运动平台及Y向运动平台线性运动,并最终驱动工作运动平台在XY平面内做二维线性运动,本发明的二维线性平台的直线电机定子通过柔性装置安装到运动平台底座上,从而减小了直线电机定子对运动平台底座的冲击力,减小运动平台的振动,提升了运动平台运行的稳定性和定位精度;本发明可明显降低电机定子对运动平台底座的冲击,减小运动平台及底座的振动,使得运动平台运行更加稳定,停止时稳定时间明显加快,振动时间缩短,定位精度提高
- 一种二维运动平台
- [发明专利]二维纳米柔性运动平台-CN201410564477.2有效
-
张震;王鹏;闫鹏
-
清华大学
-
2014-10-21
-
2015-03-25
-
G12B9/10
- 本发明公开了一种二维纳米柔性运动平台。所述二维纳米柔性运动平台包括:基座;终端平台,所述终端平台位于所述基座的边沿的内侧;X向驱动器和Y向驱动器;第一X向柔性解耦件和第一柔性解耦件,所述第一X向柔性解耦件沿X向延伸且分别与所述终端平台和所述X向驱动器相连,所述第一柔性解耦件具有折弯部且分别与所述基座和所述X向驱动器相连;以及第二柔性解耦件和第一Y向柔性解耦件,所述第二柔性解耦件具有折弯部且分别与所述基座和所述Y向驱动器相连,所述第一Y向柔性解耦件沿根据本发明实施例的二维纳米柔性运动平台兼具厘米级大行程和纳米级精度的优点。
- 二维纳米柔性运动平台
- [发明专利]二维纳米柔性运动平台-CN201410265441.4有效
-
张震;王鹏;闫鹏;张盼
-
清华大学;北京航空航天大学
-
2014-06-13
-
2017-02-15
-
G12B9/10
- 本发明公开了一种二维纳米柔性运动平台。所述二维纳米柔性运动平台包括基座;终端平台,所述终端平台位于所述基座的边沿的内侧;X向驱动器和Y向驱动器;第一X向柔性解耦件和第一Y向柔性解耦件,所述第一X向柔性解耦件沿X向延伸且分别与所述终端平台和所述X向驱动器相连,所述第一Y向柔性解耦件沿Y向延伸且分别与所述基座和所述X向驱动器相连;以及第二X向柔性解耦件和第二Y向柔性解耦件,所述第二X向柔性解耦件沿X向延伸且分别与所述基座和所述Y向驱动器相连,所述第二根据本发明实施例的二维纳米柔性运动平台具有运动精度高等优点。
- 二维纳米柔性运动平台
|