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[发明专利]基板处理装置及基板处理方法-CN201680058403.9有效
发明人：宫崎邦浩;古矢正明;林航之介;山崎克弘;齐藤裕树;古川长树 -专利权人：芝浦机械电子株式会社
申请日： 2016-09-30 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： H01L21/306 文献下载
摘要：一种处理至少形成有氮化膜和氧化膜的基板的基板处理装置，所述基板处理装置具有：磷酸水溶液贮留部，其将磷酸水溶液贮留；磷酸水溶液供给部，其通过磷酸水溶液供给配管将磷酸水溶液供给至所述磷酸水溶液贮留部；二氧化硅添加剂供给部，其通过二氧化硅添加剂供给配管将二氧化硅添加剂供给至所述磷酸水溶液贮留部；水供给部，其通过水供给配管将水供给至所述磷酸水溶液贮留部；和处理部，其通过贮留在所述磷酸水溶液贮留部中的所述磷酸水溶液来处理所述基板；所述二氧化硅添加剂供给配管连接在所述水供给配管的中途，即使是使用了二氧化硅添加剂的处理，也可以用适当的二氧化硅浓度来实行基板处理。
处理装置方法

[发明专利]一种具有沙粒感的牙膏用二氧化硅及其制备方法-CN202110309737.1有效
发明人：侯灿明;胡非;马逸敏;张文证;谭昊存 -专利权人：广州市飞雪材料科技有限公司;金三江（肇庆）硅材料股份有限公司
申请日： 2021-03-23 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： C01B33/18 文献下载
摘要：本发明属于二氧化硅技术领域，具体涉及一种具有沙粒感的牙膏用二氧化硅及其制备方法。本发明提供的具有沙粒感的牙膏用二氧化硅的制备工艺为：以硫酸钠溶液为反应底液，硫酸溶液和硅酸钠溶液反应制得酸性硅溶胶，然后加入聚乙二醇后继续同时加入硅酸钠溶液和硫酸溶液，反应完全后继续加入硅酸钠溶液调节pH本发明提供的具有沙粒感的牙膏用二氧化硅通过改变反应工艺、干燥工艺使得二氧化硅具有质脆而疏松多孔的结构，制得的牙膏在刷牙过程中二氧化硅孔坍塌，形成沙粒感而不会出现牙膏反粗、磨损牙釉质、损伤牙龈等现象。
一种具有沙粒牙膏二氧化硅及其制备方法

[发明专利]聚合物包覆二氧化硅复合微粒子的制备方法-CN200710052722.1无效
发明人：王重辉;许婷;杨小军 -专利权人：武汉理工大学
申请日： 2007-07-12 - 公布日： 2007-12-19 - 主分类号： C09C3/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种聚合物包覆二氧化硅复合微粒子的制备方法。聚合物包覆二氧化硅复合微粒子的制备方法，其特征在于它包括如下步骤：1)按氨基类硅烷偶联剂的使用量为亲水性二氧化硅的2～20重量％，选取氨基类硅烷偶联剂、亲水性二氧化硅；按含有羧基的共聚物的羧基与氨基类硅烷偶联剂的氨基摩尔比为：1∶1～2∶1，选取含有羧基的共聚物；2)将氨基类硅烷偶联剂配制成水溶液或有机溶液；将含有羧基的共聚物配制成溶液或乳液；3)首先使用含有氨基类硅烷偶联剂的水溶液或有机溶液直接在搅拌下对二氧化硅进行均匀喷雾混合或浸润混合；再将含有羧基的溶液或乳液与经过氨基类硅烷偶联剂处理过的二氧化硅的混合；干燥除水，获得聚合物包覆二氧化硅复合微粒子。本发明得到的聚合物包覆二氧化硅复合微粒子具有优异疏水性能。
聚合物二氧化硅复合微粒子制备方法

[发明专利]一种纳米二氧化硅的制备方法-CN201110329215.4有效
发明人：杨三可;解田;李子燕;隋岩峰;刘松林;杨丽萍;冯胜波;曾祥明;骆吉林;李白玉 -专利权人：瓮福（集团）有限责任公司
申请日： 2011-10-26 - 公布日： 2012-06-20 - 主分类号： C01B33/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种纳米二氧化硅的制备方法，该方法是向氟硅酸铵溶液中加入十二烷基硫酸钠作为表面活性剂，通入氨水溶液，氟硅酸铵溶液进行氨化反应，氨水的加入量为理论量的110%～150%；反应为常温，严格控制搅拌速度、氨水的加入速度和反应时间，陈化时间控制在60min～150min之间，加入聚丙烯溶液作为助滤剂，搅拌后，进行固液分离；二氧化硅沉淀洗涤、干燥后进行煅烧处理，得到中粒径38～55nm之间的二氧化硅粉体。本发明用氟硅酸铵和氨水为原料制备纳米二氧化硅，以十二烷基硫酸钠作为表面活性剂，提高了二氧化硅的表面活性，严格控制反应条件，制备出性能优异的二氧化硅产品，保证了二氧化硅粉体结晶的完整性。
一种纳米二氧化硅制备方法

[发明专利]纳米二氧化硅的单分子层表面改性方法-CN201910271404.7在审
发明人：孙蓉;李刚;朱朋莉;何亚川;赵涛 -专利权人：深圳先进技术研究院
申请日： 2019-04-04 - 公布日： 2019-07-16 - 主分类号： C09C1/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种纳米二氧化硅的单分子层表面改性方法，其包括：提供纳米二氧化硅材料并对所述纳米二氧化硅材料进行高温烘干处理；将高温烘干处理后的纳米二氧化硅材料加入到硅烷偶联剂溶剂中，搅拌分散后形成混合溶液；对所述混合溶液进行高温回流反应工艺，冷却后依次经过离心洗涤工艺和干燥工艺处理，制备获得单分子层表面改性的纳米二氧化硅。本发明提供的改性方法能够获得单分子层改性表面改性的纳米二氧化硅，其不仅能够降低改性时偶联剂的用量，而且更好地改善改性的纳米二氧化硅作为填料在树脂中的分散性从而使得复合材料具有更优良的综合性能。
纳米二氧化硅改性单分子层表面改性高温烘干混合溶液硅烷偶联剂单分子层反应工艺改性表面干燥工艺高温回流搅拌分散离心洗涤综合性能复合材料分散性偶联剂树脂溶剂制备冷却

[发明专利]二氧化硅气凝胶改性岩棉制品及其制备方法-CN202010357135.9在审
发明人：马国栋;谢红;王慧茹;陈占虎;杨佳;孟辉江;郭丹丹 -专利权人：河北三楷深发科技股份有限公司
申请日： 2020-04-29 - 公布日： 2020-08-07 - 主分类号： C04B26/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种二氧化硅气凝胶改性岩棉制品及其制备方法，岩棉保温制品由岩棉丝和掺入岩棉丝的二氧化硅气凝胶组成，二氧化硅气凝胶为岩棉保温制品重量的1～10％。制备过程为：将改性二氧化硅气凝胶均匀的分散于酚醛树脂溶液中，带有二氧化硅气凝胶的酚醛树脂胶液经管道传输至喷嘴处，在成纤过程中改性二氧化硅气凝胶随酚醛树脂溶液均匀的分散于岩棉丝中，经集棉、传送、打褶、加压本发明在岩棉制品制备过程中加入二氧化硅气凝胶，有效降低了外墙保温用岩棉制品的导热系数，提高了岩棉制品的保温效果。
二氧化硅凝胶改性棉制及其制备方法

[发明专利]一种三唑酮缓释体系及其制备方法-CN201810376625.6有效
发明人：陈铧耀;黄国志;周红军;周新华;徐华 -专利权人：仲恺农业工程学院
申请日： 2018-04-25 - 公布日： 2021-04-06 - 主分类号： A61K47/69 文献下载
摘要：本发明涉及一种三唑酮缓释体系及其制备方法，包括以下步骤：(1)制备聚多巴胺修饰的介孔二氧化硅：混合介孔二氧化硅、盐酸多巴胺，搅拌溶解，然后过滤，所得固体即为聚多巴胺修饰的介孔二氧化硅；(2)制备金属离子与聚多巴胺修饰的介孔二氧化硅：在聚多巴胺修饰的介孔二氧化硅中加入金属离子溶液，搅拌，然后过滤，所得固体即为金属离子与聚多巴胺修饰的介孔二氧化硅；(3)将步骤(2)获得的金属离子与聚多巴胺修饰的介孔二氧化硅真空活化后，浸入三唑酮溶液中
一种三唑酮缓释体系及其制备方法

[发明专利]一种具有防腐作用的湿式牙膏用二氧化硅及其制备方法-CN201910679956.1有效
发明人：赵国法;郑松玲;王宪伟;庹文喜;王义品 -专利权人：金三江（肇庆）硅材料股份有限公司
申请日： 2019-07-26 - 公布日： 2020-03-24 - 主分类号： C01B33/193 文献下载
摘要：本发明属于二氧化硅制备技术领域，具体涉及一种具有防腐作用的湿式牙膏用二氧化硅及其制备方法。本发明制备方法包括：S1往反应罐中加入硫酸钠溶液和硅酸钠溶液，滴加硫酸溶液，乳化点出现时停止加酸，加入热水；S2加入硫酸溶液调节pH值，加入苯甲酸盐，同时加入硅酸钠溶液和硫酸溶液，硅酸钠溶液加完后停止加酸；S3同时加入硅酸钠溶液和硫酸溶液，硅酸钠溶液加完后停止加酸；S4加入硫酸溶液调节终点pH值，制得二氧化硅浆液；S5二氧化硅浆液经压滤洗涤后搅拌成浆状，通过湿法研磨成纳米级料浆，制得二氧化硅。本发明湿式牙膏用二氧化硅具有良好的牙膏增稠和防腐作用，可降低牙膏制作成本，简化牙膏生产工艺，具有良好的应用前景。
一种具有防腐作用牙膏二氧化硅及其制备方法

[发明专利]二氧化硅－二氧化钛溶胶的制法及应用-CN201310332167.3无效
发明人：陈郁文 -专利权人：京程科技股份有限公司
申请日： 2013-08-01 - 公布日： 2015-02-11 - 主分类号： C01B33/14 文献下载
摘要：本发明揭示一种制造二氧化硅－二氧化钛溶胶的方法，可用于作为涂布于玻璃上的涂料，本发明并揭示其在去污、自洁、超亲水性及抗反射上的应用。本发明揭示以四氯化钛或硫酸钛为原料，先将钛原料在低温中(0-30℃)加入酸性水溶液再加入碱性溶液制成氢氧化钛，经过离心、水洗后，去除离子，再加入酸性水溶液与二氧化硅水溶胶，此时二氧化钛的固体重量与水的比例为0.01%至3%，二氧化硅与二氧化钛的重量比为0.01比1至10比1之间；此溶液在60至100℃间反应一段时间后，即形成稳定透明的二氧化硅－-二氧化钛纳米溶胶，溶液为中性，其可喷镀或浸镀方法用在玻璃载体上，此二氧化硅－二氧化钛薄膜在玻璃上具有强的去污、自洁、超亲水性、增加透光率及抗反射的功效。
二氧化硅氧化溶胶制法应用

[发明专利]改善TiN薄膜连续性的表面处理方法-CN202010877282.9有效
发明人：郝燕霞 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2020-08-27 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： H01L21/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种改善TiN薄膜连续性的表面处理方法，包括如下步骤：步骤S1，在硅衬底上生长二氧化硅层；步骤S2，利用含有强氧化剂的溶液对所述二氧化硅层的表面进行处理；步骤S3，在处理后的二氧化硅层的表面生长本发明提出采用含有强氧化剂的溶液处理二氧化硅表面，通过溶液的强氧化性使二氧化硅表面不饱和‑OH键作用成稳定的Si‑O‑Si桥键，在表面形成SiOx的致密钝化层，阻止了氧元素从二氧化硅跃迁到TiN中，从而保证了
改善 tin 薄膜连续性表面处理方法

[发明专利]一种轻质碳酸钙二氧化硅复合材料的制备方法-CN202010470749.8有效
发明人：王宪伟;郑松玲;庹文喜;王义品;蒋建华 -专利权人：金三江（肇庆）硅材料股份有限公司
申请日： 2020-05-28 - 公布日： 2020-12-15 - 主分类号： C01F11/18 文献下载
摘要：本发明属于二氧化硅技术领域，具体涉及一种轻质碳酸钙二氧化硅复合材料的制备方法。本发明提供的轻质碳酸钙二氧化硅复合材料的制备方法包括碳酸钙反应和二氧化硅反应两步，通过煅烧后的氧化钙与水反应生成氢氧化钙，氢氧化钙与碳酸钠反应生成轻质碳酸钙，在此基础上利用硅酸钠溶液与硫酸溶液反应生成二氧化硅，从而制得以碳酸钙为内核，外层包覆二氧化硅的复合材料。本发明提供的轻质碳酸钙二氧化硅复合材料采用二氧化硅包覆碳酸钙材料，提高了碳酸钙的耐酸性，降低了碳酸钙的RDA值，应用于牙膏中可以保护牙齿，去除牙釉质的顽固污渍。
一种碳酸钙二氧化硅复合材料制备方法

[发明专利]一种利用氯硅烷残液制备二氧化硅和磷酸及其钠盐的方法-CN201911063927.9在审
发明人：宋连香;胡育;刘建刚;王应红 -专利权人：乐山师范学院
申请日： 2019-11-04 - 公布日： 2020-01-17 - 主分类号： C01B33/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用氯硅烷残液制备二氧化硅和磷酸及其钠盐的方法，包括：将氯硅烷残液和磷酸钠盐饱和溶液混合，并通过改变磷酸钠盐饱和溶液的加量调节混合后得到的二氧化硅前驱物悬浊液的pH值；将二氧化硅前驱物悬浊液过滤，将得到的滤饼水洗至pH值为6‑8，然后将滤饼干燥，制得二氧化硅，将得到的滤液浓缩结晶，分离晶体和溶液，得到的晶体为磷酸钠盐，得到的溶液为磷酸。本发明避免了盐酸溶液的大量挥发对环境的污染、设备的腐蚀及人员的伤害，降低设备成本，维护了生产人员健康。本发明可以根据需要调整生产工艺，获得二氧化硅和磷酸及其盐或者二氧化硅和盐酸溶液，得到产品多样，应用范围广。
二氧化硅磷酸钠盐磷酸二氧化硅前驱物饱和溶液盐酸溶液氯硅烷悬浊液残液滤液浓缩结晶应用范围广分离晶体降低设备滤饼干燥人员健康挥发加量滤饼钠盐生产工艺制备过滤腐蚀伤害污染维护生产

[发明专利]一种无定型二氧化硅的电化学制备方法-CN201811015632.X在审
发明人：张全生;闵凡奇;周敦凡;张绍乙;张绍凡 -专利权人：上海应用技术大学
申请日： 2018-08-31 - 公布日： 2018-12-11 - 主分类号： C25B1/00 文献下载
摘要：本发明属于无机材料技术领域，具体地说是一种无定型二氧化硅的电化学制备方法，包括以下步骤：以廉价硅酸钠溶液为硅源，采用阳离子膜电解法制备二氧化硅前驱体；将电解后得到的二氧化硅前驱体烘干直至无溶液存在，然后进行研磨；将研磨后的二氧化硅前驱体进行多次离心过滤，使pH值接近中性，以除去剩余的H⁺和硅酸钠，干燥研磨后即得纯度高、无杂相的无定型二氧化硅；本发明不仅消除了Na⁺的影响，且反应时间短，一步就可以制备出无定型二氧化硅，并利用二氧化硅不溶于水的特性经过洗涤研磨，最终所得的二氧化硅产物纯度高、无杂相，解决了二氧化硅制备过程中设备要求高、能耗高，以及最终所得的产物纯度低、产量小等技术问题
无定型二氧化硅研磨二氧化硅前驱体电化学制备制备二氧化硅产物二氧化硅制备反应时间短硅酸钠溶液不溶于水产物纯度多次离心二氧化硅设备要求无机材料阳离子膜电解法硅酸钠烘干硅源电解洗涤过滤能耗

[发明专利]耐磨擦型二氧化硅及其制备方法和应用-CN202211433666.7有效
发明人：邹坚涛;郑松玲;何金鑫;张云龙 -专利权人：金三江（肇庆）硅材料股份有限公司
申请日： 2022-11-16 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： C01B33/193 文献下载
摘要：本发明公开了一种耐磨擦型二氧化硅及其制备方法和应用。本发明的耐磨擦型二氧化硅的制备方法包括以下步骤：1)向硅酸钠溶液加入碳酸钙，得到含硅酸钠包覆碳酸钙粒子的浆料；2)向硫酸钠溶液加入含硅酸钠包覆碳酸钙粒子的浆料，并通过分批加入酸，得到多孔的二氧化硅；3)向步骤2)中的多孔的二氧化硅中充填凝胶，得到耐磨擦型二氧化硅。本发明方法制得的耐磨擦型二氧化硅包括多孔的二氧化硅骨架和含水的凝胶填充物质，且具有丰富的孔结构。本发明提供了一种成本低、工艺简单、过程可控、可规模化生产的磨擦型二氧化硅的制备方法，该方法制得的磨擦型二氧化硅具有稳定性好，对其他物体的磨损程度可控、清洁力好的优势，适合作为牙膏的磨料。
耐磨二氧化硅及其制备方法应用

[发明专利]制备二氧化硅微粒的方法-CN200980152453.3无效
发明人： J·D·格伦农;J·奥玛莫高 -专利权人：爱尔兰国家大学科克学院
申请日： 2009-11-26 - 公布日： 2011-12-07 - 主分类号： C09C1/30 文献下载
摘要：本发明涉及二氧化硅核-壳微粒的制备，所述二氧化硅核-壳颗粒通过在碱性pH条件下，在分散于混合表面活性剂溶液中的无孔二氧化硅颗粒表面上由二氧化硅前体生长多孔二氧化硅壳来制备。任选可对颗粒进行碱蚀刻以扩大二氧化硅壳中孔的孔径。制备出具有有序介孔层的核-壳二氧化硅颗粒。
制备二氧化硅微粒方法