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- [发明专利]一种二氧化硅薄膜片回收方法-CN201410276440.X在审
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吕耀安;翟继鑫
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无锡宏纳科技有限公司
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2014-06-19
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2014-09-03
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H01L21/02
- 本发明提供了一种二氧化硅薄膜片的回收方法,其包括以下步骤:1)选取做过监控工艺的二氧化硅薄膜片;2)将选取的二氧化硅薄膜片放入酸溶液中浸泡15-20分钟;3)将二氧化硅薄膜片取出后用去离子水冲洗并甩干;4)将二氧化硅薄膜片放入加温到70℃的氨水:双氧水=4:1的溶液中,持续20-25分钟后取出;5)将二氧化硅薄膜片取出用去离子水冲洗甩干后,待用。上述回收方法采用加温后的氨水和双氧水混合溶液可以将互溶的部分腐蚀,并使残留物脱落,后经去离子水冲洗而完全去除。确保回收后的二氧化硅薄膜片无残留,提高了二氧化硅薄膜片的利用率。
- 一种二氧化硅薄膜回收方法
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