[实用新型]半导体加工用晶元体自动上片机有效

专利信息
申请号: 202320630918.9 申请日: 2023-03-27
公开(公告)号: CN219696426U 公开(公告)日: 2023-09-15
发明(设计)人: 李周飞 申请(专利权)人: 上海见远自动化科技有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/67
代理公司: 上海索源知识产权代理有限公司 31431 代理人: 李燕
地址: 201800 上海市嘉定*** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 实用新型涉及半导体加工设备技术领域,尤其涉及半导体加工用晶元体自动上片机。其主要针对现如今在对晶元体进行点焊加工时,大多通过人工手动上料,使得工作人员操作不步骤较多,并且需要频繁进行上料,导致晶元体加工速度缓慢,增加工作人员劳动力的问题,提出如下技术方案:包括基座,所述基座的顶部安装有工作箱与支撑台,所述工作箱与支撑台之间设置有存储晶元体的存储机构,所述支撑台的一侧壁体上安装有操控存储机构驱动的通用控制器。本实用新型实现自动上料,节省工作人员劳动体力,使得上料速度提升,并且达到对上料后的晶元体进行位置上的固定,为后续加工提供便利。
搜索关键词: 半导体 工用 晶元体 自动 上片
【主权项】:
暂无信息
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