[发明专利]一种顶栅结构的碳纳米管场效应晶体管及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202310962495.5 申请日: 2023-08-01
公开(公告)号: CN116940130A 公开(公告)日: 2023-10-24
发明(设计)人: 吴胜利;侯振非;牛刚;李洁 申请(专利权)人: 西安交通大学
主分类号: H10K10/46 分类号: H10K10/46;H10K71/60;H10K71/40;H10K85/20
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 朱海临
地址: 710049 陕*** 国省代码: 陕西;61
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明属于效应晶体管技术领域,涉及一种顶栅结构的碳纳米管场效应晶体管,在硅基衬底的上表面设有碳纳米管薄膜;在碳纳米管薄膜表面设置有漏极电极与源极电极;位于漏极电极与源极电极之间的碳纳米管薄膜通过刻蚀形成CNT沟道层;CNT沟道层的上表面设有介电层;介质层,位于介电层、漏极电极和源极电极上表面;介质层中部设顶栅电极;介质层与顶栅电极不接触的表面部分分散金属颗粒。在栅极两侧沟道区域形成两个载流子N+区域,沟道区为P区域,形成了由N+PN+区组成的导电沟道,使碳纳米管能带向下弯曲,电子势垒减小,空穴势垒增加,抑制空穴传输,由双极性器件调控为N型载流子传输器件,抑制碳纳米管晶体管的双极性。
搜索关键词: 一种 结构 纳米 场效应 晶体管 及其 制备 方法
【主权项】:
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  • 本发明公开了一种有机场效应晶体管存储器,包括自上而下依次设置的源漏电极层、有机半导体蒸镀层、可溶性半导体层、电荷存储层、自组装层和栅绝缘层,以及作为衬底的栅电极层,所述栅绝缘层位于所述栅电极层上面。本发明还公开一种有机场效应晶体管存储器制备方法。本发明提供的一种有机场效应晶体管存储器及其制备方法,能够有效改善TIPS‑Pentacene和PS混合溶液相分离后的生长形貌,提高器件良品率和迁移率等性能。
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  • 凌海峰;陈捷锋;刘玉玉;李玥;邵振;金展翔;解令海 - 南京邮电大学
  • 2023-03-22 - 2023-06-30 - H10K10/46
  • 本发明公开一种基于芴基小分子的有机场效应晶体管存储器及其制备方法,属于信息存储技术领域。该存储器的电荷捕获层是由芴基小分子材料3Ph‑TrH通过溶液加工的方式制成单一薄膜后构成,小分子材料3Ph‑TrH的螺环结构有效的增加了空间位阻,起到抑制电荷泄漏的效果,具有优异的空穴捕获能力和电子捕获能力,使得存储器件表现出双极性存储(42.8V)、高稳定性、良好耐受性等优异性能,该单分子薄膜器件的迁移率达到了0.35cm2V‑1s‑1,开关比超过105,维持性能较高;此外,该存储器件的制备工艺简单,可大大降低生产成本,有利于该类器件的推广和应用。
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