[发明专利]一种应用于移动机器人的晶圆盒开盒装置在审
申请号: | 202310608950.1 | 申请日: | 2023-05-29 |
公开(公告)号: | CN116619443A | 公开(公告)日: | 2023-08-22 |
发明(设计)人: | 曹旭东;孙俊杰 | 申请(专利权)人: | 江苏道达智能科技有限公司 |
主分类号: | B25J19/00 | 分类号: | B25J19/00;B25J11/00 |
代理公司: | 南京睿之博知识产权代理有限公司 32296 | 代理人: | 杨晓玲 |
地址: | 211106 江苏省南京市江宁经济技术*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种应用于移动机器人的晶圆盒开盒装置,包括位于移动机器人上的载台以及位于载台一侧的开盒机构,在载台上设有用于进行晶圆盒下部定位固定的定位机构;所述开盒机构包括对称位于定位机构左右两侧的开盒臂,开盒臂的内侧设有用于和晶圆盒的盒盖配合的夹头,所述开盒臂之间通过同步驱动机构带动同步进行转动,实现晶圆盒的开盒,在开盒臂上设有用于带动夹头沿开盒臂的臂长方向移动的调节机构;通过设置在移动机器人的开盒装置在晶圆盒搬运过程中自动实现对晶圆盒开盒操作,提高生产效率,同时避免人工的参与,能够保持产线的清洁,保证生产质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 应用于 移动 机器人 晶圆盒开 盒装 | ||
【主权项】:
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