[发明专利]一种应用于移动机器人的晶圆盒开盒装置

说明书

本发明公开了一种应用于移动机器人的晶圆盒开盒装置，包括位于移动机器人上的载台以及位于载台一侧的开盒机构，在载台上设有用于进行晶圆盒下部定位固定的定位机构；所述开盒机构包括对称位于定位机构左右两侧的开盒臂，开盒臂的内侧设有用于和晶圆盒的盒盖配合的夹头，所述开盒臂之间通过同步驱动机构带动同步进行转动，实现晶圆盒的开盒，在开盒臂上设有用于带动夹头沿开盒臂的臂长方向移动的调节机构；通过设置在移动机器人的开盒装置在晶圆盒搬运过程中自动实现对晶圆盒开盒操作，提高生产效率，同时避免人工的参与，能够保持产线的清洁，保证生产质量。

技术领域

本发明涉及晶圆加工技术领域，具体涉及一种应用于移动机器人的晶圆盒开盒装置。

背景技术

在现有的半导体晶圆生产厂中，晶圆盒需要固定在某个位置再有人工完成开盒动作后，搬运到设备上完成生产任务，由于放置、开盒、搬运的操作，增加生产步骤，影响生产效率，同时晶圆加工注重生产环境的洁净度，人工参与容易产生粉尘，影响产品的品质。

发明内容

技术目的：针对现有晶圆生产产线，晶圆盒开盒、搬运效率低，同时人工参与，容易影响生产环境的不足，本发明公开了一种无需人工参与操作，能够在晶圆盒搬运过程中，同步自动完成开盒的移动机器人的晶圆盒开盒装置。

技术方案：为实现上述技术目的，本发明采用了如下技术方案：

一种应用于移动机器人的晶圆盒开盒装置，包括位于移动机器人上的载台以及位于载台一侧的开盒机构，在载台上设有用于进行晶圆盒下部定位固定的定位机构；所述开盒机构包括对称位于定位机构左右两侧的开盒臂，开盒臂的内侧设有用于和晶圆盒的盒盖配合的夹头，所述开盒臂之间通过同步驱动机构带动同步进行转动，实现晶圆盒的开盒，在开盒臂上设有用于带动夹头沿开盒臂的臂长方向移动的调节机构。

优选地，本发明的开盒臂采用中空结构，夹头一端位于开盒臂的外部，另一端伸入开盒臂内部与调节机构的驱动端相连接；在开盒臂上设有用于与夹头滑动调节相配合的导向槽。

优选地，本发明的调节机构包括固定在夹头端部的滑块，滑块与开盒臂之间滑动连接，在滑块上螺纹穿设有螺纹杆，螺纹杆的轴线方向与滑块滑动的方向相一致，在螺纹杆的端部连接有驱动组件，通过驱动组件带动两个开盒臂内的螺纹杆同步转动，进行夹头位置的调节。

优选地，本发明的驱动组件包括转轴，转轴沿垂直于螺纹杆的方向设置，转轴的两端通过锥齿轮组与螺纹杆配合连接，转轴通过可离合的齿轮副与同步驱动机构的转动部相配合，齿轮副的其中一个齿轮固定在同步驱动机构的转动部上，记为固定齿轮，另一个齿轮滑动设置在转轴上，记为滑动齿轮，转轴上设有与滑动齿轮的内圈配合进行转矩传递的转矩肋条，滑动齿轮沿转矩肋条的方向进行滑动。

优选地，本发明的同步驱动机构包括端部与开盒臂之间固定连接的第二转轴以及带动第二转轴转动的动力源，所述第二转轴与动力源的驱动端相连接，动力源通过第二转轴带动开盒臂转动，进行晶圆盒的开盒操作。

优选地，本发明的夹头靠近晶圆盒的一端转动设有滚轮，在开盒臂转动进行晶圆盒开盒过程中，通过滚轮与晶圆盒的盒盖配合。

优选地，本发明的定位机构包括位于晶圆盒四周的前对位块、后对位块、左对位块和右对位块，所述前对位块位于载台靠近开盒机构的一侧并与载台固定连接，后对位块、左对位块和右对位块均穿设在载台上，下端通过设置在载台底部的联动机构带动同步进行移动。

优选地，本发明的联动机构设置在平行固定在载台底部的支撑底板上，开盒机构固定安装在支撑底板上；所述联动机构包括电机、滚珠丝杠、联动架以及连杆，所述电机轴线方向与前对位块和后对位块的连线方向相同，电机的驱动端与滚珠丝杠的螺杆相连接，联动架与滚珠丝杠的螺母相连接，在电机带动螺杆转动时，联动架沿螺杆的轴线方向前后移动；后对位块设置在联动架背离电机的一端；左对位块和右对位块对称位于联动架的左右两侧，通过连杆与联动架相连接，在左对位块和右对位块的下方设有用于辅助移动的辅助底座。