[发明专利]一种应用于移动机器人的晶圆盒开盒装置

权利要求书

1.一种应用于移动机器人的晶圆盒开盒装置，其特征在于，包括位于移动机器人上的载台（1）以及位于载台（1）一侧的开盒机构（2），在载台（1）上设有用于进行晶圆盒下部定位固定的定位机构（3）；所述开盒机构（2）包括对称位于定位机构（3）左右两侧的开盒臂（4），开盒臂（4）的内侧设有用于和晶圆盒的盒盖配合的夹头（5），所述开盒臂（4）之间通过同步驱动机构（6）带动同步进行转动，实现晶圆盒的开盒，在开盒臂（4）上设有用于带动夹头（5）沿开盒臂（4）的臂长方向移动的调节机构（7）。

2.根据权利要求1所述的一种应用于移动机器人的晶圆盒开盒装置，其特征在于，所述开盒臂（4）采用中空结构，夹头（5）一端位于开盒臂（4）的外部，另一端伸入开盒臂（4）内部与调节机构（7）的驱动端相连接；在开盒臂（4）上设有用于与夹头（5）滑动调节相配合的导向槽（9）。

3.根据权利要求2所述的一种应用于移动机器人的晶圆盒开盒装置，其特征在于，所述调节机构（7）包括固定在夹头（5）端部的滑块（8），滑块（8）与开盒臂（4）之间滑动连接，在滑块（8）上螺纹穿设有螺纹杆（10），螺纹杆（10）的轴线方向与滑块（8）滑动的方向相一致，在螺纹杆（10）的端部连接有驱动组件，通过驱动组件带动两个开盒臂（4）内的螺纹杆（10）同步转动，进行夹头（5）位置的调节。

4.根据权利要求3所述的一种应用于移动机器人的晶圆盒开盒装置，其特征在于，所述驱动组件包括转轴（11），转轴（11）沿垂直于螺纹杆（10）的方向设置，转轴（11）的两端通过锥齿轮组（12）与螺纹杆（10）配合连接，转轴（11）通过可离合的齿轮副与同步驱动机构（6）的转动部相配合，齿轮副的其中一个齿轮固定在同步驱动机构（6）的转动部上，记为固定齿轮（13），另一个齿轮滑动设置在转轴（11）上，记为滑动齿轮（14），转轴（11）上设有与滑动齿轮（14）的内圈配合进行转矩传递的转矩肋条（15），滑动齿轮（14）沿转矩肋条（15）的方向进行滑动。

5.根据权利要求1所述的一种应用于移动机器人的晶圆盒开盒装置，其特征在于，所述同步驱动机构（6）包括端部与开盒臂（4）之间固定连接的第二转轴（16）以及带动第二转轴（16）转动的动力源（17），所述第二转轴（16）与动力源（17）的驱动端相连接，动力源（17）通过第二转轴（16）带动开盒臂（4）转动，进行晶圆盒的开盒操作。

6.根据权利要求1所述的一种应用于移动机器人的晶圆盒开盒装置，其特征在于，所述夹头（5）靠近晶圆盒的一端转动设有滚轮（18），在开盒臂（4）转动进行晶圆盒开盒过程中，通过滚轮（18）与晶圆盒的盒盖配合。

7.根据权利要求1所述的一种应用于移动机器人的晶圆盒开盒装置，其特征在于，所述定位机构（3）包括位于晶圆盒四周的前对位块（19）、后对位块（20）、左对位块（21）和右对位块（22），所述前对位块（19）位于载台（1）靠近开盒机构（2）的一侧并与载台（1）固定连接，后对位块（20）、左对位块（21）和右对位块（22）均穿设在载台（1）上，下端通过设置在载台（1）底部的联动机构带动同步进行移动。

8.根据权利要求7所述的一种应用于移动机器人的晶圆盒开盒装置，其特征在于，所述联动机构设置在平行固定在载台（11）底部的支撑底板（23）上，开盒机构（2）固定安装在支撑底板（23）上；所述联动机构包括电机（24）、滚珠丝杠（25）、联动架（26）以及连杆（27），所述电机（24）轴线方向与前对位块（19）和后对位块（20）的连线方向相同，电机（24）的驱动端与滚珠丝杠（25）的螺杆相连接，联动架（26）与滚珠丝杠（25）的螺母相连接，在电机（24）带动螺杆转动时，联动架（26）沿螺杆的轴线方向前后移动；后对位块（20）设置在联动架（26）背离电机（24）的一端；左对位块（21）和右对位块（22）对称位于联动架（26）的左右两侧，通过连杆（27）与联动架（26）相连接，在左对位块（21）和右对位块（22）的下方设有用于辅助移动的辅助底座（28）。