[发明专利]一种MEMS器件及其制备方法在审
| 申请号： | 202310452243.8 | 申请日： | 2023-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN116534789A | 公开（公告）日： | 2023-08-04 |
| 发明（设计）人： | 陆晓龙;徐达武;郭嘉 | 申请（专利权）人： | 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;G01C19/00;G01P15/00;B81B7/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京磐华捷成知识产权代理有限公司 11851 | 代理人： | 翟海青 |
| 地址： | 312000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种MEMS器件及其制备方法，方法包括：提供器件基底，所述器件基底包括MEMS结构区和包围所述MEMS结构区的键合区；在所述器件基底的第一表面上的所述键合区形成键合金属环结构；形成保护层，以至少覆盖所述键合金属环结构用于和盖帽基底接合的接合面；对所述器件基底进行至少一次清洗处理；至少部分地去除所述保护层，以露出所述接合面；提供盖帽基底，将所述盖帽基底和所述器件基底通过所述键合金属环结构进行键合。本发明的方法能够在键合金属环结构表面形成保护层，避免了在多次清洗过程中损伤键合金属环结构，从而提高了器件的可靠性和良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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