[发明专利]一种晶圆清洗的测速轮制动方法及晶圆清洗装置在审
| 申请号： | 202310398564.4 | 申请日： | 2023-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN116292674A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 申兵兵;李长坤 | 申请（专利权）人： | 华海清科股份有限公司 |
| 主分类号： | F16D55/02 | 分类号： | F16D55/02;F16D65/18;F16D66/02;F16D66/00;B08B1/00;B08B1/02;B08B13/00;H01L21/67;F16D121/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300350 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种晶圆清洗的测速轮制动方法及晶圆清洗装置，包括：通过电磁制动器对测速轮进行制动，其中，所述电磁制动器包括定子、转子、线圈绕组和摩擦片；向所述线圈绕组中通入不同方向的脉冲电流，使得线圈绕组充磁或消磁；所述线圈绕组充磁后吸引转子向所述定子方向移动直至与所述摩擦片接触摩擦制动；所述线圈绕组消磁后，所述定子复位并与所述摩擦片脱离，解除对所述测速轮的制动限制。本发明通过脉冲电流对线圈绕组进行磁化，使得线圈绕组产生恒定的磁场，电磁制动器在对测速轮维持制动状态或维持解除状态时无需持续通电，进而减小了线圈绕组的发热量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 测速 制动 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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