[发明专利]一种硅片载片框及硅片镀膜系统

摘要

本发明公开了一种硅片载片框及硅片镀膜系统，属于硅片镀膜领域。一种硅片载片框，包括石墨舟和支撑板，还包括：第一支撑杆和第二支撑杆，用于设置在炉体中；第一滑套和第二滑套，分别滑动连接在所述的第一支撑杆和第二支撑杆上，其中所述第一滑套和第二滑套固定连接在所述的支撑板底侧，所述第一滑套和第二滑套上分别固定连接有第一滑块和第二滑块；本发明支撑板能够滑动，可以将支撑板滑动到炉体的开口处，然后将石墨舟放在支撑板上，已实现便于放置石墨舟，支撑板和石墨舟能够往复的运动，实现汽相与硅片更有效地接触，进一步提高沉积镀膜效果。