[发明专利]一种硅片载片框及硅片镀膜系统

权利要求书

1.一种硅片载片框，包括石墨舟（2）和支撑板（1），其特征在于，还包括：

第一支撑杆（3）和第二支撑杆（4），用于设置在炉体（15）中；

第一滑套（11）和第二滑套（6），分别滑动连接在所述的第一支撑杆（3）和第二支撑杆（4）上，

其中

所述第一滑套（11）和第二滑套（6）固定连接在所述的支撑板（1）底侧，所述第一滑套（11）和第二滑套（6）上分别固定连接有第一滑块（12）和第二滑块（13）；

所述第一支撑杆（3）中开设有第一中空腔（301），所述第一中空腔（301）中滑动连接有带有第一密封板（302）的第一推动杆（303），所述第一推动杆（303）与所述的第一滑块（12）固定相连，所述第一密封板（302）、第一推动杆（303）和第一滑块（12）上开设有连通的第一通气孔（304）；

所述第二支撑杆（4）中开设有第二中空腔（402），所述第二中空腔（402）中滑动连接有带有第二密封板（401）的第二推动杆（403），所述第二推动杆（403）与所述的第二滑块（13）固定相连，所述第二密封板（401）、第二推动杆（403）和第二滑块（13）上开设有相互连通的第二通气孔（404）；

U型中空卡杆（7），固定连接在支撑板（1）上，所述石墨舟（2）卡在所述的U型中空卡杆（7）上，

其中

所述第一通气孔（304）两端分别与第一中空腔（301）和U型中空卡杆（7）连通，所述第二通气孔（404）两端分别与第二中空腔（402）和U型中空卡杆（7）连通；

进气管（305），固定连接在所述的第一支撑杆（3）上，且进气管（305）与所述的第一中空腔（301）连通；

排气管（405），固定连接在所述的第二支撑杆（4）上，且排气管（405）与所述的第二中空腔（402）连通；

所述第一推动杆（303）上套有弹簧，所述弹簧两端分别与第一密封板（302）和第一中空腔（301）的内壁相连。

2.根据权利要求1所述的一种硅片载片框，其特征在于，所述进气管（305）上连接有控制阀。

3.根据权利要求2所述的一种硅片载片框，其特征在于，所述第一通气孔（304）上设有压力阀。

4.根据权利要求1所述的一种硅片载片框，其特征在于，所述第一支撑杆（3）和第二支撑杆（4）上均开设有与第一滑块（12）和第二滑块（13）对应的滑槽（5）。

5.根据权利要求1所述的一种硅片载片框，其特征在于，还包括气体发生套（14），用于套在所述炉体（15）的端头，所述气体发生套（14）用于盛放蒸发液体，所述气体发生套（14）排气端与所述的进气管（305）相连，所述气体发生套（14）的回流端与所述的排气管（405）相连。

6.根据权利要求5所述的一种硅片载片框，其特征在于，所述进气管（305）上固定套接有加热器（306），所述排气管（405）上固定套接有冷凝器（406），所述进气管（305）和排气管（405）上均连接有单向阀。

7.根据权利要求1所述的一种硅片载片框，其特征在于，所述U型中空卡杆（7）两端侧壁通过夹紧弹簧（703）连接有夹紧片（702），所述夹紧片（702）用于夹紧所述的石墨舟（2）。

8.硅片镀膜系统，包括支架（17），所述支架（17）中固定连接有炉体（15），所述炉体（15）一端固定连接有汽相管（18），所述炉体（15）另一端盖有盖门（19），还包括权利要求6所述的硅片载片框，其特征在于，所述第一支撑杆（3）和第二支撑杆（4）固定连接在支架（17）上，且所述的第一支撑杆（3）和第二支撑杆（4）插于所述的炉体（15）中。

9.根据权利要求8所述的硅片镀膜系统，其特征在于，所述气体发生套（14）固定套接在炉体（15）的汽相管（18）的一端，所述加热器（306）和冷凝器（406）分别位于支架（17）的两侧。