[发明专利]一种半导体二极管晶圆自动抛光换片装置在审
| 申请号： | 202310335827.7 | 申请日： | 2023-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN116276550A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 孙化;杨立峰;程武 | 申请（专利权）人： | 深圳市怡海智芯科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B27/00 | 分类号： | B24B27/00;B24B41/00;B24B49/00;B24B57/02;B24B57/00;B24B55/00;B24B55/06 |
| 代理公司： | 深圳众邦专利代理有限公司 44545 | 代理人： | 张啸 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区西丽街道松坪山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种半导体二极管晶圆自动抛光换片装置，其包括上下料机械装置、抛光模块和机架，机架设有紧急制动模块，上下料机械装置和抛光模块均安装在机架上，抛光模块包括旋转工作组件和安在旋转工作组件外周侧的抛光装置，旋转工作组件设有与驱动电机连接的旋转工作台，沿着旋转工作台转动方向，抛光装置上设有上料工位、粗抛光工位、化学机械精抛光工位和下料工位，上下料机械装置包括上料模块和下料模块，抛光装置包括粗抛光模块和化学机械精抛光模块。本发明的半导体二极管晶圆自动抛光换片装置，通过旋转工作组件，使粗抛光模块、化学机械精抛光模块在感应检测器的配合下进行工作，提高晶圆的几何尺寸精度，降低了成本，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 二极管 自动 抛光 装置 | ||
【主权项】：
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