[发明专利]一种碳化硅外延设备用加热器定位治具及使用方法在审
| 申请号： | 202310281979.3 | 申请日： | 2023-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN116427021A | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 卢勇;蒲勇;施建新;赵鹏;蒋家旺 | 申请（专利权）人： | 芯三代半导体科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/10 | 分类号： | C30B25/10;C30B29/36 |
| 代理公司： | 苏州智品专利代理事务所(普通合伙) 32345 | 代理人： | 唐学青 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市中国(江苏)*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开一种碳化硅外延设备用加热器定位治具及使用方法。该定位治具包括提手组件、底板、滚轮组件、支撑组件、支撑平台，电极定位块及压紧部件；底板上设置有底部定位块，底板上设置有安装孔，该支撑组件包括复数支撑杆，该支撑杆的侧端嵌入该安装孔，另一侧连接支撑平台。该底板上有滚轮组件。电极定位块放置于支撑平台上，用于定位电极。该提手部件的两侧具有固定部，其用于与电极的第二端，且固定部间的距离与电极的两个第二端间的距离相同或大致相同，这样，固定部分别与电极的第二端固定后，通过提手部件取出对应的加热器，能保证加热器与电极之间的位置关系，且避免转运途中加热器受力不均匀。该方式提高加热器组件的维护或更换效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 外延 备用 加热器 定位 使用方法 | ||
【主权项】：
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