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[外观设计]托盘支撑筒-CN202330284244.7有效
发明人：赵鹏;曹毅;蒋家旺 -专利权人：芯三代半导体科技(苏州)有限公司
申请日： 2023-05-15 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： 08-08 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：托盘支撑筒。2.本外观设计产品的用途：用于制备化合物半导体材料或其他薄膜材料的设备（如碳化硅、氮化镓外延设备）中作为衬底托盘的主体支撑使用。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
托盘支撑

[外观设计]衬底托盘-CN202330284189.1有效
发明人：赵鹏;曹毅;蒋家旺 -专利权人：芯三代半导体科技(苏州)有限公司
申请日： 2023-05-15 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：衬底托盘。2.本外观设计产品的用途：用于制备化合物半导体材料或其他薄膜材料的设备（如碳化硅、氮化镓外延设备）中作为衬底托盘的主体支撑使用。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
衬底托盘

[发明专利]一种红外测温系统、校正方法及碳化硅外延设备-CN202310705348.X有效
发明人：蒲勇;蒋家旺;郑英杰;赵鹏;卢勇;施建新 -专利权人：芯三代半导体科技（苏州）有限公司
申请日： 2023-06-14 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G01J5/00 文献下载
摘要：本申请公开一种红外测温系统、校正方法及碳化硅外延设备。该红外测温系统包括测温部件、光学器件以及导光部件，该测温部件包括聚光筒，其内设置有光探测器件及凸透镜，该聚光筒的一端具有开口部；该导光部件呈中空设置，其一端具有光入射口，与光入射口相对的另一端具有光出射口，该光出射口侧设置有遮光部件，且光出射口对着凸透镜；光学器件配置于凸透镜与光出射口之间；测温时被测发热体发出的光经导光部件的光入射口及光出射口后，穿过所述光学器件进入所述聚光筒内的所述凸透镜并经所述凸透镜聚焦到所述光探测器，所述光探测器基于接收的光信号转化成电信号，以得到测量温度。该红外测温系统抗干扰能力强且测量精度高。
一种红外测温系统校正方法碳化硅外延设备

[实用新型]一种自锁夹紧装置及碳化硅外延设备-CN202320454053.5有效
发明人：郑英杰;蒋家旺;韩跃斌 -专利权人：芯三代半导体科技（苏州）有限公司
申请日： 2023-03-11 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： C30B25/02 文献下载
摘要：本申请公开一种自锁夹紧装置及碳化硅外延设备。该自锁夹紧装置包括：待锁紧组件，所述待锁紧组件沿压紧方向上开设有通孔，所述待锁紧组件对应通孔位置处设置有锁紧调整块；驱动件，所述驱动件上连接设置有推杆，所述推杆穿设在所述通孔和所述锁紧调整块内，所述锁紧调整块靠近所述推杆轴心的一侧设置有倾斜面；所述推杆周向套设有锁紧套，所述推杆与所述锁紧套间隙配合，所述推杆包括有直杆部和让位槽部，所述让位槽部设置向推杆中心凹陷形成让位槽；所述锁紧套周向开设有安装孔，所述安装孔内设置有圆球。通过上述方式，本申请能够在驱动件处于无动力状态下依旧保证待锁紧组件的锁紧状态，实现待锁紧组件的自锁，锁紧效果好。
一种夹紧装置碳化硅外延设备

[发明专利]一种管路连接组件-CN202210531504.0有效
发明人：郑英杰;蒲勇;施建新;赵鹏;蒋家旺 -专利权人：芯三代半导体科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-05-16 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： F16L23/00 文献下载
摘要：本申请提出一种管路连接组件。该管路连接组件包括：第一连接部件，其中部设置有第一容纳腔，且内壁为球形弧面；第二连接部件，其中部设置有第二容纳腔，且内壁为球形弧面，第二连接部件连接于第一连接部件；第一密封件，其为半球形平台，外壁为球形弧面，中部设置有第一通孔及第一容置腔体，第一密封件设置于第一容纳腔内；第二密封件，其为半球形，外壁为球形弧面，中部设置有第二通孔及第二容置腔体，第二密封件设置于第二容纳腔内；第一连接部件、第二连接部件、第一密封件与第二密封件的球形弧面半径相同；第一对接管，其连接于第一连接部件或第一密封件；及第二对接管，其连接于第二连接部件或第二密封件。使两端管路在不同轴或不同角度方向上对接。
一种管路连接组件

[发明专利]一种碳化硅外延设备用加热器定位治具及使用方法-CN202310281979.3在审
发明人：卢勇;蒲勇;施建新;赵鹏;蒋家旺 -专利权人：芯三代半导体科技（苏州）有限公司
申请日： 2023-03-22 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： C30B25/10 文献下载
摘要：本申请公开一种碳化硅外延设备用加热器定位治具及使用方法。该定位治具包括提手组件、底板、滚轮组件、支撑组件、支撑平台，电极定位块及压紧部件；底板上设置有底部定位块，底板上设置有安装孔，该支撑组件包括复数支撑杆，该支撑杆的侧端嵌入该安装孔，另一侧连接支撑平台。该底板上有滚轮组件。电极定位块放置于支撑平台上，用于定位电极。该提手部件的两侧具有固定部，其用于与电极的第二端，且固定部间的距离与电极的两个第二端间的距离相同或大致相同，这样，固定部分别与电极的第二端固定后，通过提手部件取出对应的加热器，能保证加热器与电极之间的位置关系，且避免转运途中加热器受力不均匀。该方式提高加热器组件的维护或更换效率。
一种碳化硅外延备用加热器定位使用方法

[实用新型]一种用于检测旋转石墨托盘平面度和同心度的测量装置-CN202223436827.6有效
发明人：程金彪;蒋家旺 -专利权人：芯三代半导体科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-12-21 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： G01B21/30 文献下载
摘要：本申请公开一种用于检测旋转石墨托盘平面度和同心度的测量装置。该测量装置，包括：X向调整杆、Y向调整杆、Z向调整杆及传感器，所述X向调整杆通过调整杆固定部件固定Y向调整杆，其用于放置于反应腔的顶部侧，所述Z向调整杆可滑动的固定于X向调整杆或Y向调整杆上，且所述Z向调整杆上安装有传感器固定部件，所述传感器固定部件上安装有传感器，所述传感器为测距传感器。该测量装置支持移动测量，不论是生产现场，或是在客户端，都可以简单便捷地实现量测，且操作简单。
一种用于检测旋转石墨托盘平面同心测量装置

[发明专利]一种光纤高温计用高温校准炉及温度校正方法-CN202211659458.9在审
发明人： 蒋家旺;刘中良;蒲勇 -专利权人：芯三代半导体科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-12-22 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： G01J5/53 文献下载
摘要：本申请公开一种光纤高温计用高温校准炉及校正方法。该高温校准炉包括：电阻丝炉膛模块包括：外壳，其内具有收纳下炉膛、中炉膛及上炉膛的容置腔体，该中炉膛的截面呈H形，下炉膛及上炉膛分别有匹配的凸起，中炉膛的中部具有沿其轴向贯穿的通孔；电阻丝镶嵌在中炉膛中且呈螺旋形设置，电阻丝的两端经引线电性连接外壳上的电阻丝接线端子；测温管设置于下炉膛的顶面，且沿中炉膛的中轴线设置，测温管内设置有沿其轴向设置的热电偶固定杆，热电偶固定杆的端部设置有电性连接至电控模块的温控器的热电偶；沿上炉膛的轴向中线设置有连通测温管的出温筒，且出温筒对着光纤高温计。该高温校准炉能节约校正时间且易操作。
一种光纤高温校准温度校正方法

[发明专利]晶圆承载装置-CN202211138854.7在审
发明人：郑英杰;蒲勇;韩跃斌;赵鹏;蒋家旺 -专利权人：材料科学姑苏实验室;芯三代半导体科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-09-19 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域，公开一种晶圆承载装置。其中晶圆承载装置包括托盘、防飞盘组件和驱动件，托盘上设置有用于容置晶圆的放置凹槽，托盘背离放置凹槽的一侧设置有环形凸台，环形凸台的内侧设置有沟槽；防飞盘组件设置于托盘背离放置凹槽的一侧，防飞盘组件内设置有流体通道，流体通道内活动设置有至少三个卡接件，至少三个卡接件均匀间隔设置于放置凹槽的周向；驱动件用于驱动防飞盘组件和托盘旋转；当防飞盘组件和托盘旋转时，卡接件能移动至流体通道的端部并与沟槽卡接。本发明的防飞盘组件能在旋转过程中，有效地避免托盘相对于防飞盘组件的脱出，同时保证托盘相对于防飞盘组件的同心度，对晶圆的承载更加可靠、精准。
承载装置

[实用新型]一种法兰辅助安装装置-CN202222160120.0有效
发明人： 蒋家旺;郑英杰;蒲勇;施建新 -专利权人：材料科学姑苏实验室;芯三代半导体科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-08-17 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： F16L23/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种法兰辅助安装装置，属于法兰安装工具技术领域。法兰辅助安装装置用于法兰的安装，法兰包括两个法兰盘和设置于两个法兰盘之间的密封垫片，法兰辅助安装装置包括两个可拆卸连接的半弧形的定位块和定位支撑部。两个定位块连接后能够围设形成圆环，两个定位块的内壁能够贴合卡接于法兰盘的外壁。每个定位块的内壁均设置有定位支撑部，定位支撑部的厚度H1小于两个法兰盘连接后之间的间隙H2。定位块的内壁卡接在法兰盘的外壁后，定位支撑部能够将密封垫片和法兰盘同心定位。本实用新型能够在法兰连接的过程中对密封垫片与法兰盘进行同心定位，操作更方便，能够提高安装效率。
一种法兰辅助安装装置

[实用新型]一种具有冷却功能的法兰组件-CN202221193429.3有效
发明人：郑英杰;蒲勇;施建新;赵鹏;蒋家旺 -专利权人：芯三代半导体科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-05-17 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： F16L23/02 文献下载
摘要：本申请提出一种具有冷却功能的法兰组件，包括：第一对接法兰，其一侧设有第一安装端及第二安装端，且第一安装端与第二安装端之间具有间隙，第一安装端连接第一内层管路，第二安装端连接第一外层管路，且第一安装端与第二安装端之间设置有第一通孔；第二对接法兰，其一侧设有第三安装端及第四安装端，且第三安装端与第四安装端之间具有间隙，第三安装端与第二内层管路连接，第四安装端与第二外层管路连接，且第三安装端与第四安装端之间设置有第二通孔；第一对接法兰与第二对接法兰通过连接件连接，且第一通孔与第二通孔互相连通。这样内部管路与外部法兰盘间形成了冷却水的通路，并省去外部冷却水路，有利于整体设备的优化。
一种具有冷却功能法兰组件

[发明专利]一种用于气相生长装置的升降机构-CN202210461873.7在审
发明人：卢勇;蒲勇;施建新;赵鹏;蒋家旺 -专利权人：芯三代半导体科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-04-28 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： B66F7/08 文献下载
摘要：本申请公开一种用于气相生长装置的升降机构。该升降机构包括，旋转装置、固定座、摆动组件、摆动支架、导轨、支架及顶升部件，旋转装置固定于固定座的一侧，旋转装置的输出端连接摆动组件，且摆动组件设有第一连接端，所述第一连接端用于匹配穿入摆动支架的槽内，所述摆动支架的远离槽侧安装有支架，支架的一侧配置有第二连接端，所述第二连接端用于与配置于固定座上的导轨匹配连接，且支架上安装有顶升部件，基于旋转装置的驱动带动摆动组件旋转，带动第一连接端以所述旋转装置的输出端为中心旋转，且所述第一连接端在所述槽内滑动的同时带动支架沿导轨移动，使得顶升部件上升或下降。在到达最低点和最高点前实现缓慢降速保证设备的稳定。
一种用于相生装置升降机构

[外观设计]加热器部件（半导体材料制备装置用）-CN202130846117.2有效
发明人：赵鹏;蒲勇;卢勇;黄名海;蒋家旺 -专利权人：材料科学姑苏实验室;芯三代半导体科技(苏州)有限公司
申请日： 2021-12-21 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： 23-03 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：加热器部件（半导体材料制备装置用）。2.本外观设计产品的用途：本产品在用于制备化合物半导体材料或其他薄膜材料的设备中作为加热器的部件通电使用。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。
加热器部件半导体材料制备装置

[发明专利]一种高标准农田评估用遥感影像采集设备-CN202111581279.3在审
发明人：方明;高扬;罗勇;蒋家旺 -专利权人：六安市空间数据应用有限公司;安徽省地质矿产勘查局313地质队
申请日： 2021-12-22 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： B64C39/02 文献下载
摘要：本发明属于遥感影像采集技术领域，尤其是一种高标准农田评估用遥感影像采集设备，包括无人机主体，所述无人机主体的底部两侧均固定安装有缓冲杆且顶部固定安装有电机与无线接收器，两个缓冲杆的底部均固定安装有两个缓冲块且均与无人机主体之间开设有连接孔，两个连接孔内均活动安装有竖杆，两个竖杆的顶端固定安装有同一个活动板且底端均固定安装有联动齿条，所述活动板的顶部固定安装有两个三角块。本发明结构简单、使用方便、所述的高标准农田评估用遥感影像采集设备，便于对影像采集装置进行拆卸清洗，且缓冲防护效果好。
一种标准农田评估遥感影像采集设备

[实用新型]一种用于自动碎纸机的清纸板剔钉结构-CN202021642769.0有效
发明人：杨志行;蒋家旺 -专利权人：宁波福科电子有限公司
申请日： 2020-08-10 - 公布日： 2021-07-27 - 主分类号： B02C18/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于自动碎纸机的清纸板剔钉结构，包括成型有进纸槽的壳体，所述进纸槽第一侧用于放置待碎纸张，第二侧连通至自动碎纸机的刀头组件，所述进纸槽内设置有用于将表层的待碎纸张从进纸槽第一侧送至进纸槽第二侧的送纸机构，所述送纸机构上方还设置有清纸板，该清纸板与所述进纸槽第一侧相对应的侧边设置有至少一个与待碎纸张的订书钉相配合的凸缘，该凸缘用于将表层的待碎纸张沿待碎纸张的订书钉位置撕裂，以使该表层的待碎纸张与其他待碎纸张分离。本实用新型解决了具有订书钉的废纸文件在进入自动进纸机构时纸张可以自动分离的问题，从而实现自动碎纸机在处理具有订书钉的废纸文件时的连续进纸和碎纸操作。
一种用于自动碎纸机纸板结构

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