[发明专利]压电层叠体、压电元件及压电层叠体的制造方法在审
| 申请号： | 202310141311.9 | 申请日： | 2023-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN116648131A | 公开（公告）日： | 2023-08-25 |
| 发明（设计）人： | 望月文彦;小林宏之;向山明博 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | H10N30/50 | 分类号： | H10N30/50;H10N30/853;H10N30/093;H10N30/076;C23C14/34;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 张志楠;褚瑶杨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及压电层叠体、压电元件及压电层叠体的制造方法，获得一种长期可靠性优异的压电层叠体及压电元件。所述压电层叠体依次具备下部电极层、及包含含Pb钙钛矿型氧化物的压电膜，所述压电膜中，包含作为构成元素的氧超过自然丰度的质量数为18的氧原子 |
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| 搜索关键词： | 压电 层叠 元件 制造 方法 | ||
【主权项】：
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