[实用新型]一种高效钝化膜沉积气体驱动装置

摘要

本实用新型公开了一种高效钝化膜沉积气体驱动装置，属于气体驱动装置技术领域，包括运输车、真空泵、压力计、阀门和过滤机构，所述运输车上设置有对接管，所述压力计和所述阀门皆安装在所述对接管上，所述真空泵连接所述对接管，且所述阀门位于所述真空泵和所述压力计之间，所述过滤机构安装在所述运输车上，且所述过滤机构与所述真空泵连通；本实用新型通过将真空泵和过滤机构同时搭载在运输车上，形成一个可移动的气体驱动装置，使得装置整体使用起来非常灵活，同时也便于对装置进行检修与维护，在将对接管与管式炉连接后，真空泵从管式炉内抽出的空气在过滤机构的净化作用下排出，避免了对周围环境造成污染的情况。