[实用新型]一种高效钝化膜沉积气体驱动装置

权利要求书

1.一种高效钝化膜沉积气体驱动装置，其特征在于：包括运输车(1)、真空泵(2)、压力计(3)、阀门(4)和过滤机构(5)，所述运输车(1)上设置有对接管(6)，所述压力计(3)和所述阀门(4)皆安装在所述对接管(6)上，所述真空泵(2)连接所述对接管(6)，且所述阀门(4)位于所述真空泵(2)和所述压力计(3)之间，所述过滤机构(5)安装在所述运输车(1)上，且所述过滤机构(5)与所述真空泵(2)连通。

2.根据权利要求1所述的一种高效钝化膜沉积气体驱动装置，其特征在于，所述过滤机构(5)包括过滤仓(51)、两个过滤器(52)和排气阀(53)，所述过滤仓(51)安装在所述运输车(1)上，两个所述过滤器(52)分别连通所述过滤仓(51)的进气口(7)和出气口(8)，位于所述进气口(7)处的所述过滤器(52)与所述真空泵(2)连通，所述排气阀(53)安装位于所述出气口(8)处的所述过滤器(52)上。

3.根据权利要求2所述的一种高效钝化膜沉积气体驱动装置，其特征在于，所述过滤仓(51)为橡胶气囊。

4.根据权利要求1所述的一种高效钝化膜沉积气体驱动装置，其特征在于，所述对接管(6)的端部设置有密封垫(9)。

5.根据权利要求1所述的一种高效钝化膜沉积气体驱动装置，其特征在于，所述对接管(6)的端部设置有电磁铁(10)。

6.根据权利要求1所述的一种高效钝化膜沉积气体驱动装置，其特征在于，所述运输车(1)上安装有移动电源(11)，所述移动电源(11)给所述真空泵(2)供电。