[实用新型]一种晶圆机械手校正治具有效
| 申请号： | 202223562460.2 | 申请日： | 2022-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN219075693U | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 杨亮亮;陈洪立;俞智勇;梁少敏 | 申请（专利权）人： | 江苏希太芯科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J9/16 | 分类号： | B25J9/16;B25J13/00 |
| 代理公司： | 北京智行阳光知识产权代理事务所(普通合伙) 11738 | 代理人： | 谭波 |
| 地址： | 226300 江苏省南通市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型属于治具技术领域，尤其为一种晶圆机械手校正治具，包括驱动装置、放置台，驱动装置上设置有机械手，机械手一端设置有抓取端，抓取端上有晶圆，放置台内设置限制件，放置台内设置有液压伸缩杆，放置台上顶部设置有安置区，放置台顶部位于安置区外侧设置有校正缺口，放置台内设置有弧形安装腔，放置台内位于弧形安装腔下方设置有安装槽，液压伸缩杆稳定安装在安装槽内，液压伸缩杆底部固定连接在安装槽底部。本实用新型设置限制件、液压伸缩杆、安置区、校正缺口，校正过程中不需要另外的附件，只需调整限制件限制机械手后对驱动装置与机械手之间的转动连接位置进行调整即可达到校正的效果，操作流程简单，操作便捷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 机械手 校正 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏希太芯科技有限公司，未经江苏希太芯科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202223562460.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种轮胎压机油缸
- 下一篇：一体化净水超滤膜设备
