[实用新型]一种晶圆机械手校正治具

权利要求书

1.一种晶圆机械手校正治具，其特征在于，包括驱动装置(1)、放置台(5)，所述驱动装置(1)上设置有机械手(2)，所述机械手(2)一端设置有抓取端(3)，所述抓取端(3)上有晶圆(4)，所述放置台(5)内设置限制件(6)，所述放置台(5)内设置有液压伸缩杆(7)，所述放置台(5)上顶部设置有安置区(8)，所述放置台(5)顶部位于安置区(8)外侧设置有校正缺口(9)，所述放置台(5)内设置有弧形安装腔(10)，所述放置台(5)内位于弧形安装腔(10)下方设置有安装槽(11)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆机械手校正治具，其特征在于：所述弧形安装腔(10)共有两组且相互对应，每组所述弧形安装腔(10)底部开设有三组安装槽(11)，所述安装槽(11)与弧形安装腔(10)之间相连通。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆机械手校正治具，其特征在于：所述液压伸缩杆(7)稳定安装在安装槽(11)内，所述液压伸缩杆(7)底部固定连接在安装槽(11)底部。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆机械手校正治具，其特征在于：所述限制件(6)共有两组，两组所述限制件(6)分别安插在弧形安装腔(10)内且顶端略伸出放置台(5)顶端。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆机械手校正治具，其特征在于：所述限制件(6)底端固定连接在液压伸缩杆(7)顶部输出端。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆机械手校正治具，其特征在于：两组所述限制件(6)之间在放置台(5)顶端形成安置区(8)，两组所述限制件(6)两侧之间形成校正缺口(9)。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆机械手校正治具，其特征在于：所述校正缺口(9)与机械手(2)的宽度相适配，所述校正缺口(9)的中心位置对应安置区(8)的中心位置。